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薄膜设备招标采购
薄膜设备
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保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备变更公告
保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备招标变更公告
（招标编号：0730-2511080893/01）
一、内容
项目名称：保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备
项目编号：0730-2511080893/01
变更内容：应招标人要求，为扩大竞争，招标文件发售结束时间延期至2025年11月14日16时。
二、监督部门
本招标项目的监督部门为中国航空工业集团有限公司监
采购公告
北京朝阳
薄膜设备
2025-11-12
保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备项目公告
国航空制造技术研究院，招标项目资金已落实。 本项目已具备招标条件，现对保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备采购进行公开招标。
2.招标范围
（1）项目名称：保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备
（2）数量：1台
（3）交货期：合同生效后6个月内到货
（4）交货地点：中国航空制造技术研究院
3.投标人资格要求
（1）资质要求：
①在中华人民共和国境内注册，为独立法人或其他
采购公告
北京朝阳
薄膜设备
2025-11-04
保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备项目公告
国航空制造技术研究院，招标项目资金已落实。 本项目已具备招标条件，现对保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备采购进行公开招标。
2.招标范围
（1）项目名称：保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备
（2）数量：1台
（3）交货期：合同生效后6个月内到货
（4）交货地点：中国航空制造技术研究院
3.投标人资格要求
（1）资质要求：
①在中华人民共和国境内注册，为独立法人或其他
采购公告
北京朝阳
薄膜设备
2025-11-04
保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备招标公告
国航空制造技术研究院，招标项目资金已落实。 本项目已具备招标条件，现对保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备采购进行公开招标。
2.招标范围
（1）项目名称：保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备
（2）数量：1台
（3）交货期：合同生效后6个月内到货
（4）交货地点：中国航空制造技术研究院
3.投标人资格要求
（1）资质要求：
①在中华人民共和国境内注册，为独立法人或其他
采购公告
北京朝阳
薄膜设备
2025-11-04
[备案]2508-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备研发及真空纳米薄膜加工项目
-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备研发及真空纳米薄膜加工项目
属性 值
项目代码/项目名称 [备案]2508-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备研发及真空纳米薄膜加工项目
审批事项 企业投资项目备案
审批部门 无锡市新吴区数据局
部门区划 无锡市新吴区
审批结果 批复
批复文号 锡新数投备〔2025〕1133号
审批时间
拟建
薄膜设备
2025-10-17
2508-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备研发及真空纳米薄膜加工项目
8-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备研发及真空纳米薄膜加工项目
属性 值
项目代码/项目名称 2508-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备研发及真空纳米薄膜加工项目
备案机关 无锡高新区（新吴区）数据局
备案证号 锡新数投备〔2025〕1133号
备案时间 2025-10-17
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拟建
薄膜设备
2025-10-17
低介电阻挡层薄膜设备采购中标结果公告(1)
结果公告（1）
2025-10-15 机电产品招标投标电子交易平台
项目名称：低介电阻挡层薄膜设备采购
项目编号：0705-254002004003
招标范围：采购一台低介电阻挡层薄膜设备
招标机构：上海国际招标有限公司
招标人：上海华力微电子有限公司
开标时间：2025-10-10 14：00
公示时间：2025-10-11 11：55 - 2025-10-14
采购结果
上海浦东新
薄膜设备
2025-10-15
低介电阻挡层薄膜设备采购评标结果公示公告
【中国国际招标网】
项目名称：低介电阻挡层薄膜设备采购
招标项目编号：0705-254002004003
招标范围：采购一台低介电阻挡层薄膜设备
招标机构：上海国际招标有限公司
招标人：上海华力微电子有限公司
开标时间：2025-10-10 14：00
公示开始时间：2025-10-11 11：55
评标公示截止时间：2025-10-14 23：59
中标候
采购结果
上海浦东新
薄膜设备
2025-10-11
天津大学资产处电子束蒸发镀膜机采购项目竞争性磋商公告
重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商，拒绝参与政府采购活动，同时对信用信息查询记录和证据进行打印存档。
3.本项目的特定资格要求：（1）供应商须是在中华人民共和国注册，具有独立法人资格；提供营业执照或事业单位法人证书或民办非企业单位登记证书或社会团体法人登记证书或基金会法人登记证书；（2）供应商须提供经会计
采购公告
天津南开
薄膜设备
2025-09-25
低介电阻挡层薄膜设备采购 - 国际招标公告
金来源落实情况：本次招标所需的资金来源已经落实
项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号：0705-254002004003
招标项目名称：低介电阻挡层薄膜设备采购
项目实施地点：中国上海市
招标产品列表（主要设备）：
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩：（1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织
采购公告
上海浦东新
薄膜设备
2025-09-19
低介电阻挡层薄膜设备采购重新招标澄清或变更公告
【中国国际招标网】
招标项目编号：0705-254002004003
项目名称：低介电阻挡层薄膜设备采购
项目名称（英文）：Low K Block
招标人：上海华力微电子有限公司
招标机构：上海国际招标有限公司
招标方式：公开招标
招标结果：重新招标
采购公告
上海浦东新
薄膜设备
2025-09-19
低介电阻挡层薄膜设备采购国际招标(2)
薄膜设备采购
项目实施地点：上海市
招标产品列表（主要设备）：
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 低介电阻挡层薄膜设备 1台 用于12英寸集成电路生产企业的低介电阻挡层薄膜设备/Low K Block，满足55纳米或40纳米产品量产及研发需求
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩：（1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或
采购公告
上海浦东新
薄膜设备
2025-09-19
低介电阻挡层薄膜设备采购 - 国际招标公告(1)
金来源落实情况：本次招标所需的资金来源已经落实
项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号：0705-254002004003
招标项目名称：低介电阻挡层薄膜设备采购
项目实施地点：中国上海市
招标产品列表（主要设备）：
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩：（1）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；
采购公告
上海浦东新
薄膜设备
2025-09-11
【2402004003】上海华力微电子有限公司低介电阻挡层薄膜设备采购国际招标公告
项目实施地点：中国上海市
招标产品列表（主要设备）：
序
号
产品名称
数
量
简要技术规格
备
注
1
低介电阻挡层薄
膜设备
1
台
用于12英寸集成电路生产企业的低介电阻挡层薄膜设备/Low K Block，满足55纳米
或40纳米产品量产及研发需求
3
、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩：（1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法
采购公告
上海浦东新
薄膜设备
2025-09-11
关于“半导体核心零部件研发生产基地项目”事项的公示
司
3、建设地点：江苏省苏州市苏州太湖国家旅游度假区，光福镇太湖科技产业园田舍路以北，柴巷路以西
4、建设内容及规模：依托华东区半导体前沿企业客户半导体减薄机、硅外延机、刻蚀设备、薄膜设备、金刚丝硅片切割机、长晶设备、磨削一体机等核心零部件、半导体生产设备；延续母公司的全栈生产制造能力、生产工艺体系、多年产线设备投入，在半导体精密零部件的精度、质量与稳定性等指标领跑
拟建
江苏苏州
薄膜设备
2025-09-02
2508-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备制造及真空纳米薄膜加工
2508-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备制造及真空纳米薄膜加工
属性 值
项目代码/项目名称 2508-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备制造及真空纳米薄膜加工
备案机关 无锡高新区（新吴区）数据局
备案证号 锡新数投备〔2025〕943号
备案时间 2025-08-27
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拟建
薄膜设备
2025-08-27
[备案]2508-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备制造及真空纳米薄膜加工
14-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备制造及真空纳米薄膜加工
属性 值
项目代码/项目名称 [备案]2508-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备制造及真空纳米薄膜加工
审批事项 企业投资项目备案
审批部门 无锡市新吴区数据局
部门区划 无锡市新吴区
审批结果 批复
批复文号 锡新数投备〔2025〕943号
审批时间 202
拟建
薄膜设备
2025-08-27
环评公示——屹唐半导体薄膜设备研发项目环评报告表
/gtdzyn/rootimages/uploadimg/1756304372319843/1756304372319843.pdf
屹唐半导体薄膜设备研发项目+环评报告表.pdf（全文）
拟建
薄膜设备
2025-08-18
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