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薄膜设备招标采购
薄膜设备
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保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备项目公告
国航空制造技术研究院，招标项目资金已落实。 本项目已具备招标条件，现对保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备采购进行公开招标。
2.招标范围
（1）项目名称：保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备
（2）数量：1台
（3）交货期：合同生效后6个月内到货
（4）交货地点：中国航空制造技术研究院
3.投标人资格要求
（1）资质要求：
①在中华人民共和国境内注册，为独立法人或其他
采购公告
北京朝阳
薄膜设备
2026-03-20
保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备招标公告
国航空制造技术研究院，招标项目资金已落实。 本项目已具备招标条件，现对保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备采购进行公开招标。
2.招标范围
（1）项目名称：保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备
（2）数量：1台
（3）交货期：合同生效后6个月内到货
（4）交货地点：中国航空制造技术研究院
3.投标人资格要求
（1）资质要求：
①在中华人民共和国境内注册，为独立法人或其他
采购公告
北京朝阳
薄膜设备
2026-03-20
6A6B特气单管改双套管安全提升招标公告
DA 更新，出具测试及调试报告；
3管路：6A新增特气配管，共计2路，包括
原有NF3气体VMB36#至原有NF3气体VMB45#的1路主管；
原有NF3气体VMB36#至原有1台薄膜设备的1路支管；
完成SIH4、NF3双套管管路施工，完成2个VDB（NH3\SIH4）及其侦测器定制、安装施工;
交货期/工期： 投标人根据发包方开工或进场通知为准，90个日历天内完
采购公告
江苏无锡
薄膜设备
2026-03-17
保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备终止公告
保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备终止公告
（招标编号：0730-2511081119/01）
一、内容
项目名称：保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备
项目编号：0730-2511081119/01
终止内容：本项目因设备技术要求发生变化，故撤项，论证完善后重新招标。
二、监督部门
本招标项目的监督部门为中国航空工业集团有限公司监督部门。
三、联系方式
招
采购结果
北京朝阳
薄膜设备
2026-03-16
[备案]2602-320543-89-01-267343年组装半导体薄膜设备25台项目
]2602-320543-89-01-267343年组装半导体薄膜设备25台项目
属性 值
项目代码/项目名称 [备案]2602-320543-89-01-267343年组装半导体薄膜设备25台项目
审批事项 企业投资项目备案
审批部门 吴江经济技术开发区管理委员会
部门区划 苏州市吴江经济技术开发区
审批结果 批复
批复文号 吴开审备〔2026〕46号
审批时间
拟建
薄膜设备
2026-02-12
2602-320543-89-01-267343年组装半导体薄膜设备25台项目
2602-320543-89-01-267343年组装半导体薄膜设备25台项目
属性 值
项目代码/项目名称 2602-320543-89-01-267343年组装半导体薄膜设备25台项目
备案机关 吴江经济技术开发区管理委员会
备案证号 吴开审备〔2026〕46号
备案时间 2026-02-12
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拟建
薄膜设备
2026-02-12
天津大学材料科学与工程学院电子束蒸发镀膜系统采购项目快速磋商公告
定；
（1）供应商须是在中华人民共和国注册，具有独立法人资格，提供营业执照或事业单位法人证书或民办非企业单位登记证书或社会团体法人登记证书或基金会法人登记证书；
（2）供应商须提供经会计师事务所审计的2024年度财务审计报告或响应文件开启时间前3个月以内银行出具的资信证明；
（3）供应商须提供提交响应文件截止时间前6个月内任意一个月缴纳社会保险费的相关证明材
采购公告
天津南开
薄膜设备
2025-12-24
保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备中标候选人公示
保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备中标候选人公示
（招标编号：0730-2511080893/01）
公示结束时间：2025年12月15日
一、评标情况
1、中标候选人基本情况
中标候选人：无。
2、未进入中标候选人名称：纳狮新材料股份有限公司，评标情况：纳狮新材料股份有限公司的授权委托书中的委托代理人未签字，偏离评标办法2.1.1形式评审标准的投标文件签字
采购结果
北京朝阳
薄膜设备
2025-12-12
【项目申报】上海市经济和信息化委员会关于开展 第15批 《上海市创新产品推荐目录》编制申报工作的通知
重点领域
（一）集成电路。重点为高端芯片，包括全系列处理器芯片、存储器芯片、通信芯片、模拟或数模混合芯片、射频芯片、工规级或车规级芯片等；高端集成电路装备，包括光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、湿法设备、扩散设备、离子注入设备、抛光设备、检测量测设备等；高端集成电路材料，包括大硅片、光刻胶、掩膜版、抛光液、其他电子级高纯试剂、电子特气等；集成电路EDA工具，包括数字电路
采购公告
上海浦东新
薄膜设备
2025-12-08
[备案]2511-321282-89-05-650476先进制程刻蚀和薄膜设备中基座型金属关键零部件自主攻关及产业化项目
-650476先进制程刻蚀和薄膜设备中基座型金属关键零部件自主攻关及产业化项目
属性 值
项目代码/项目名称 [备案]2511-321282-89-05-650476先进制程刻蚀和薄膜设备中基座型金属关键零部件自主攻关及产业化项目
审批事项 企业投资项目备案
审批部门 靖江市数据局
部门区划 泰州市靖江市
审批结果 批复
批复文号 靖数备〔2025〕2244号
审批
拟建
薄膜设备
2025-11-20
2511-321282-89-05-650476先进制程刻蚀和薄膜设备中基座型金属关键零部件自主攻关及产业化项目
282-89-05-650476先进制程刻蚀和薄膜设备中基座型金属关键零部件自主攻关及产业化项目
属性 值
项目代码/项目名称 2511-321282-89-05-650476先进制程刻蚀和薄膜设备中基座型金属关键零部件自主攻关及产业化项目
备案机关 靖江市数据局
备案证号 靖数备〔2025〕2244号
备案时间 2025-11-20
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拟建
薄膜设备
2025-11-20
保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备变更公告
保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备招标变更公告
（招标编号：0730-2511080893/01）
一、内容
项目名称：保形高功率脉冲磁控溅射功能薄膜设备
项目编号：0730-2511080893/01
变更内容：应招标人要求，为扩大竞争，招标文件发售结束时间延期至2025年11月14日16时。
二、监督部门
本招标项目的监督部门为中国航空工业集团有限公司监
采购公告
北京朝阳
薄膜设备
2025-11-12
[备案]2508-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备研发及真空纳米薄膜加工项目
-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备研发及真空纳米薄膜加工项目
属性 值
项目代码/项目名称 [备案]2508-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备研发及真空纳米薄膜加工项目
审批事项 企业投资项目备案
审批部门 无锡市新吴区数据局
部门区划 无锡市新吴区
审批结果 批复
批复文号 锡新数投备〔2025〕1133号
审批时间
拟建
薄膜设备
2025-10-17
2508-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备研发及真空纳米薄膜加工项目
8-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备研发及真空纳米薄膜加工项目
属性 值
项目代码/项目名称 2508-320214-89-01-800229纳弧纳米真空纳米薄膜设备研发及真空纳米薄膜加工项目
备案机关 无锡高新区（新吴区）数据局
备案证号 锡新数投备〔2025〕1133号
备案时间 2025-10-17
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拟建
薄膜设备
2025-10-17
低介电阻挡层薄膜设备采购中标结果公告(1)
【中国国际招标网】
项目名称：低介电阻挡层薄膜设备采购
招标项目编号：0705-254002004003
招标范围：采购一台低介电阻挡层薄膜设备
招标机构：上海国际招标有限公司
招标人：上海华力微电子有限公司
开标时间：2025-10-10 14：00
公示时间：2025-10-11 11：55 - 2025-10-14 23：59
中标结果公告时间：202
采购结果
上海浦东新
薄膜设备
2025-10-15
低介电阻挡层薄膜设备采购评标结果公示公告
【中国国际招标网】
项目名称：低介电阻挡层薄膜设备采购
招标项目编号：0705-254002004003
招标范围：采购一台低介电阻挡层薄膜设备
招标机构：上海国际招标有限公司
招标人：上海华力微电子有限公司
开标时间：2025-10-10 14：00
公示开始时间：2025-10-11 11：55
评标公示截止时间：2025-10-14 23：59
中标候
采购结果
上海浦东新
薄膜设备
2025-10-11
天津大学资产处电子束蒸发镀膜机采购项目竞争性磋商公告
重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商，拒绝参与政府采购活动，同时对信用信息查询记录和证据进行打印存档。
3.本项目的特定资格要求：（1）供应商须是在中华人民共和国注册，具有独立法人资格；提供营业执照或事业单位法人证书或民办非企业单位登记证书或社会团体法人登记证书或基金会法人登记证书；（2）供应商须提供经会计
采购公告
天津南开
薄膜设备
2025-09-25
低介电阻挡层薄膜设备采购 - 国际招标公告
金来源落实情况：本次招标所需的资金来源已经落实
项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号：0705-254002004003
招标项目名称：低介电阻挡层薄膜设备采购
项目实施地点：中国上海市
招标产品列表（主要设备）：
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩：（1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织
采购公告
上海浦东新
薄膜设备
2025-09-19
低介电阻挡层薄膜设备采购重新招标澄清或变更公告
【中国国际招标网】
招标项目编号：0705-254002004003
项目名称：低介电阻挡层薄膜设备采购
项目名称（英文）：Low K Block
招标人：上海华力微电子有限公司
招标机构：上海国际招标有限公司
招标方式：公开招标
招标结果：重新招标
采购公告
上海浦东新
薄膜设备
2025-09-19
低介电阻挡层薄膜设备采购国际招标(2)
薄膜设备采购
项目实施地点：上海市
招标产品列表（主要设备）：
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 低介电阻挡层薄膜设备 1台 用于12英寸集成电路生产企业的低介电阻挡层薄膜设备/Low K Block，满足55纳米或40纳米产品量产及研发需求
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩：（1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或
采购公告
上海浦东新
薄膜设备
2025-09-19
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