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微机电系统招标采购
微机电系统
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量子自旋微机电水听器传感元件第二轮工艺开发与制备
况 ：
1.采购标的需实现的主要功能和目标： 本次拟加工的量子自旋微机电水听器传感元件是水听器系统的核心敏感组件，其核心功能与目标如下： 高灵敏度水下声信号探测：基于量子自旋效应与微机电系统（MEMS）技术的融合，实现对水下微弱声压信号（如低频远场信号、高频细节信号）的高效转换与高信噪比输出。宽频带响应与高精度：在目标工作频段内具备平坦的频率响应特性，确保信号采集不失
采购意向
北京海淀
微机电系统
2026-07-23
2026年8月采购意向项目-2
.采购标的需实现的主要功能和目
标： 本次拟加工的量子自旋微机电水
听器传感元件是水听器系统的核心敏
感组件，其核心功能与目标如下： 高
灵敏度水下声信号探测：基于量子自
旋效应与微机电系统（MEMS）技术
的融合，实现对水下微弱声压信号
（如低频远场信号、高频细节信号）
的高效转换与高信噪比输出。宽频带
响应与高精度：在目标工作频段内具
备平坦的频率响应特性，确保信
采购意向
微机电系统
2026-07-23
比选采购结果公示
2026年6月29日下午， 微机电系统位移传感器货物 专项采购小组在红光基地B201会议室对设施设备运行维护项目支出的 微机电系统位移传感器货物 采购项目进行了现场评审，结果如下：
经过专项采购小组认真审核评议，推荐“北京中力华安科技有限公司”为最终供应商。
特此公示，公示期为3个工作日，截止到2026年7月6日结束。在公示期内,有异议者可向纪检审计处提出，
采购结果
微机电系统
2026-07-02
江西省鹰潭产融私募基金管理有限公司投资经理招聘补充公告
、电子与通信工程、集成电路工程、控制工程） 机械工程、机械设计制造及其自动化、材料成型及控制工程、机械电子工程、工业设计、过程装备与控制工程、车辆工程、汽车服务工程、机械工艺技术、微机电系统工程、机电技术教育、汽车维修工程教育、测控技术与仪器、电子信息技术及仪器、精密仪器、光学技术与学电仪器、检测技术及仪器仪表、电子仪器及测量、几何量计量测试、热工计量测试、力学计量测
采购公告
江西鹰潭
微机电系统
2026-06-30
某单位微机电系统成膜设备中标公告
163.com
附件：
附件1 微机电系统成膜设备.pdf
一、项目编号：ZKGSF（ZB）-20260817（招标文件编号：ZKGSF（ZB）-20260817）
二、项目名称：微机电系统成膜设备
三、中标（成交）信息
供应商名称：广东省科控仪器设备有限公司
供应商地址：广州市越秀区永福路3号3栋4楼自编407（仅限办公）
中标（成交）金额：486.3000000（
采购结果
微机电系统
2026-06-26
广东工业大学2026年06月至2026年08月政府采购意向
购项目
标的名称：原子层沉积系统
标的数量：1
主要功能或目标：原子层沉积设备支持多种氧化物薄膜典型沉积以及上述材料的纳米叠层、掺杂层和界面调控层。它能广泛应用于柔性电子器件、微纳微机电系统（MEMS）传感器、锂离子电池电极表界面钝化、以及集成电路中高介电常数k介质层的制备，在材料科学与器件等多个交叉学科具有重要价值。
需满足的要求：用于HfO₂、ZrO₂、HZO等氧
采购意向
广东广州
微机电系统
2026-06-23
机电工程学院设备采购项目
况 ：
标的名称：原子层沉积系统 标的数量：1 主要功能或目标：原子层沉积设备支持多种氧化物薄膜典型沉积以及上述材料的纳米叠层、掺杂层和界面调控层。它能广泛应用于柔性电子器件、微纳微机电系统（MEMS）传感器、锂离子电池电极表界面钝化、以及集成电路中高介电常数k介质层的制备，在材料科学与器件等多个交叉学科具有重要价值。 需满足的要求：用于HfO？、ZrO？、HZO等氧
采购意向
广东广州
微机电系统
2026-06-23
货物采购询价函
处。由供方盖章后通过传真或扫描件以电子邮件的方式发回我方。
货物采购需求及供方报价表
序号 货物名称 规格、型号、技术要求 单位 数量 供方报价单价（元） 小计 （元） 备注
1 微机电系统位移传感器 测量维度为XYZ三个方向，倾角测量范围为±90°，倾角测量精度为±0.001°，测量位移分辨率为0.1mm@10m，测量单元长度为每1m1个，采样间隔小于5分钟，数据传
采购公告
微机电系统
2026-06-22
某单位微机电系统成膜设备公开招标公告
F（ZB）-20260817
项目名称：微机电系统成膜设备
预算金额：490.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：490.000000 万元（人民币）
采购需求：
采购微机电系统成膜设备，1套。具体内容详见招标文件。
合同履行期限：详见招标文件。
本项目（ 不接受 ）联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
采购公告
微机电系统
2026-06-04
智能传感器产业化项目
投资约 84 亿元，选址于衢州智造新城东港片区东港二路以北、龙海路以南、玉溪路以东、横中路以西地块，购置 PVD、CVD 刻蚀机等成套先进生产设备及相关检验检测仪器，并配套人工智能系统提高先进性和智能化水平，项目完成后，形成年产 72 万片（4-6 英寸硅MEMS及 8英寸砷化镓）MEMS微机电系统传感器和 24 万片（4-6 英寸硅）CMOS 图像传感器。
拟建
微机电系统
2026-05-25
基于MEMS（微机电系统）光刻新技术新产品平台研发项目
基于MEMS（微机电系统）光刻新技术新产品平台研发项目
审批部门 审批事项 办理结果 办理时间 审批文号 附件
区经济和信息化局 企业投资（含外商投资）项目备案（技术改造） 已办结 2026-01-15 13：46：59.0
区发展和改革局（区对口支援和区域合作局） 固定资产投资项目节能审查 已办结 2026-04-27 13：49：14.0 余发改能评备〔
拟建
微机电系统
2026-05-06
齐创大厦山东理工大学“未来工场”（工程实训与创新创业基地）配套项目
会计核算等金融服务，募集创业创新基金，为创业者和科技人员提供一站式金融服务。4.5、产教融合基地。结合国家级双创示范基地建设，围绕淄博市产业布局，重点在集成电路、半导体、MEMS（微机电系统）、大数据、工业物联网、智能制造等技术和产业领域，— 9 —着力构建“创业苗圃+孵化器+加速器+产业园区”的一站式双创孵化平台体系，共同搭建科技成果“小试”“中试”转化基地。依托淄
拟建
山东
微机电系统
2026-05-03
鸿星科技（集团）股份有限公司基于MEMS（微机电系统）光刻新技术新产品平台研发项目
基于MEMS（微机电系统）光刻新技术新产品平台研发项目.pdf
采购公告
浙江杭州
微机电系统
2026-04-30
研磨球微机电系统集成
研磨球微机电系统集成
发布时间：2026-04-29 15：34：12
编号：XJ126042900309
发布单位：西安近代化学研究所
开始时间：2026-05-01 17：25：06
结束时间：2026-05-12 17：25：00
状态：正在进行
参与方式：公开询价
出价方式：一次性出价
付款方式：
是否必须加盖电子签章：是
保证金：500.0
联系人
采购公告
微机电系统
2026-04-29
项目推介 | 超快激光双光子微纳加工技术及应用
与跨尺度能力国际领先，拥有自主知识产权，打破国外技术垄断。
2、装备自主：具备从原理到装备的全链条研发能力，可实现高端科学仪器的国产化替代。 应用广泛：覆盖半导体、生命科学、光学、微机电系统等多个高增长领域，具备广阔市场空间。
3、政策契合：面向国家“增材制造与激光制造”重点专项，符合高端科学仪器国产化战略方向。
04
合作需求
1、技术转化：寻求技术转让、专利授权、
采购公告
微机电系统
2026-04-27
2026年铜陵学院铜基新材料与先进制造学科群科研仪器设备更新改造项目-半导体材料微纳加工项目
成系统，支持从微米尺度的图形化制造。系统需兼容硅基、二维材料、柔性衬底等多种基底，具备高对准精度及多步工艺流程自动化控制功能。将用于构建新型光电探测器、场效应晶体管、神经形态器件、微机电系统（MEMS）等原型器件。拟购置集成磁控溅射与电子束蒸发功能的多腔室薄膜沉积系统。设备需支持直流/射频/脉冲多种电源模式，具备多靶位共溅射、反应溅射及基片加热偏压调控功能；蒸发源需配
采购意向
安徽铜陵
微机电系统
2026-04-11
铜陵学院2026年4月政府采购意向
成系统，支持从微米尺度的图形化制造。系统需兼容硅基、二维材料、柔性衬底等多种基底，具备高对准精度及多步工艺流程自动化控制功能。将用于构建新型光电探测器、场效应晶体管、神经形态器件、微机电系统（MEMS）等原型器件。拟购置集成磁控溅射与电子束蒸发功能的多腔室薄膜沉积系统。设备需支持直流/射频/脉冲多种电源模式，具备多靶位共溅射、反应溅射及基片加热偏压调控功能；蒸发源需配
采购意向
安徽铜陵
微机电系统
2026-04-10
紫外掩膜光刻机国际招标公告(2)
目实施地点：中国上海市
招标产品列表（主要设备）：
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 紫外掩膜光刻机 1 台/套 紫外掩膜光刻机是一款在半导体制造、先进封装、MEMS（微机电系统）、化合物半导体以及纳米压印光刻（NIL）等领域应用的高精度光刻设备，具备高灵活性、高吞吐量和优异的对准精度。详见技术规格书。 不晚于2026年10月10日
3、投标人资格要求
投
采购公告
上海浦东新
微机电系统
2026-04-03
【2506026026】上海芯源创新中心紫外掩膜光刻机国际招标
：中国上海市
招标产品列表（主要设备）：
序
号
产品名
称
数量 简要技术规格
备注
1
紫外掩
膜光刻
机
1
台/
套
紫外掩膜光刻机是⼀款在半导体制造、先进封装、MEMS（微机电系统）、化合物半导体以
及纳⽶压印光刻（NIL）等领域应⽤的⾼精度光刻设备，具备⾼灵活性、⾼吞吐量和优异的
对准精度。详⻅技术规格书。
不晚于202
6
年10⽉10
⽇
3
、投标⼈
采购公告
上海浦东新
微机电系统
2026-04-03
陕西科技馆机械展厅展品更新项目
步发挥机械展厅的科普教育功能，为公众提供更具吸引力的机械科学体验。 需满足的要求：严格基于机械科学原理，确保知识传播的专业性与权威性。在保留经典机械原理展示的基础上，融入智能制造、微机电系统等前沿技术，反映当代机械工程发展趋势。展项应具备“可操作、可观察、可探究”的互动体验，支持观众动手搭建、装配调试等实践操作。同时采用模块化设计，便于后期维修、内容更新与功能拓展，有
采购意向
陕西西安
微机电系统
2026-03-30
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