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曝光设备招标采购
曝光设备
的相关信息
年产720万片半导体芯片先进封装用覆铜陶瓷基板生产项目（重新报批）环评文件全本公示
设地点：无锡市惠山区前洲街道玉洲路8号1号楼（城铁惠山站区）
建设内容和规模：购置DBC覆铜陶瓷基板链式烧结炉、AMB覆铜陶瓷基板真空钎焊炉、化学水平线（图形蚀刻、表面处理）、贴膜曝光设备、CCD丝网印刷机、光纤及CO2激光加工设备、性能检测设备等大型生产及检测设备，可实现覆铜陶瓷基板规模化投产。项目预期年产功率半导体陶瓷覆铜基板720万片以上规模。
公示时间：公示
拟建
江苏无锡
曝光设备
2026-09-09
电子束曝光设备的采购公告
关于对“电子束曝光设备”项目招标文件征求意见的公告
各潜在供应商：
参照《深圳经济特区政府采购条例实施细则》的有关规定，现将“电子束曝光设备”招标文件（征求意见稿）向各潜在投标人公开征求意见。如对该项目招标文件有意见或建议的，请于2026年9月3日18：00时前，以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）加盖公章的形式将意见或建议反馈至中国远东国际招标有限公司
预告
曝光设备
2026-08-31
【初始合同】扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目(重新招标)合同公示
大学
地址：广东省深圳市南山区学苑大道1088号
供应商（乙方）：天津睿阳科技有限公司
地址：天津港保税区天保大道199号258室
六、合同主要信息
主要标的名称：扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）
规格型号（或服务要求）：MA/BA8Gen4
主要标的数量：1
主要标的单价：2860000.00
合同金额：2860000.00
履约期限、地点等简要信息：2026年
采购结果
广东深圳
曝光设备
2026-08-14
扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购合同
采购人名称 南方科技大学
中标（成交）供应商名称 天津睿阳科技有限公司
合同金额 2,860,000元 人民币
合同期限 年
合同签署时间 2026-08-14 00：00：00
采购结果
广东深圳
曝光设备
2026-08-14
曝光机采购国际招标澄清或变更公告(2)
书面声明）；
5）投标人应具有履行合同所必须的设备和专业技术能力（提供具有专业设备和技术能力的介绍）；
6）2021年至今，投标人在晶圆制造行业出售的满足技术规格要求的同系列及以上曝光设备已验收不
少于5台，投标人需提供相关证明文件（订单（或合同）以及验收单）。
7）本项目不接受转包。
江苏海外集团国际工程咨询有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招
采购公告
江苏苏州
曝光设备
2026-08-13
广州市尼卡光学科技有限公司年产AR眼镜光波导镜片40万片建设项目
项目总投资：150.0000万元
项目规模及内容：项目产品主要是AR眼镜光波导镜片，配备有刀轮切割机、超声波清洗机、鼓风干燥箱、等离子清洗机、喷洒设备、真空贴合机、灌晶机、点胶机、曝光设备、UV固化机等生产设备，总年产量为40万片/年。项目占地面积656平方米，建筑面积656平方米。
建设单位：广州市尼卡光学科技有限公司
备案机关：开发区行政审批局
备案申报日期：2
拟建
广东广州
曝光设备
2026-08-12
曝光机采购国际招标公告(1)
书面声明）；
5）投标人应具有履行合同所必须的设备和专业技术能力（提供具有专业设备和技术能力的介绍）；
6）2021年至今，投标人在晶圆制造行业出售的满足技术规格要求的同系列及以上曝光设备已验收不
少于5台，投标人需提供相关证明文件（订单（或合同）以及验收单）。
7）本项目不接受转包。
是否接受联合体投标：不接受
未领购招标文件是否可以参加投标：不可以
4、招标文件
采购公告
江苏苏州
曝光设备
2026-08-03
电子束直写系统（第三次）
标范围：电子束直写系统 1套 （含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对
焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子
束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）
招标机构：浙江豪圣建设项目管理有限公司
招标人：/
开标时间：2026-07-14 09：30
公示开始时间：2026-07-15 13
采购结果
浙江杭州
曝光设备
2026-07-15
电子束直写系统（第三次）评标结果公示公告
招标范围：电子束直写系统 1套 （含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）
招标机构：浙江豪圣建设项目管理有限公司
招标人：乾元国家实验室
开标时间：2026-07-14 09：30
公示开始时间：2026-07
采购结果
浙江杭州
曝光设备
2026-07-15
场发射扫描电子显微镜采购项目
工、精密电极图形化制备相关科研工作，是低维凝聚态物理、半导体和超导器件方向的核心研究内容。现有设备无法进行高精度电子束光刻加工：普通扫描电镜分辨率不足以观测几十纳米级微结构，电子束曝光设备无法完成纳米级精细掩模光刻、金属电极蒸镀前的图形制备，长期外送加工存在周期长、样品污染、工艺参数保密、无法原位观测加工效果等问题，制约小尺寸器件、新型微纳结构的研发进度。拟采购该设
采购意向
广东深圳
曝光设备
2026-07-10
[公开招标] 扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目(重新招标)中标（成交）结果公告
公司
供应商地址：天津自贸试验区（天津港保税区）天保大道 199 号 258 室
中标金额：2,860,000.00元
四、主要标的信息
（货）（物）（类）
名称：扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目（重新招标）
品牌（如有）：详见附件
规格型号：详见附件
数量：详见附件
单价：详见附件
五、评审委员会成员名单
抽取专家：林晓东（组长）、王玮、魏召、杨静
采购
采购结果
广东深圳
曝光设备
2026-07-10
南方科技大学场发射扫描电子显微镜采购项目意向公开
工、精密电极图形化制备相关科研工作，是低维凝聚态物理、半导体和超导器件方向的核心研究内容。现有设备无法进行高精度电子束光刻加工：普通扫描电镜分辨率不足以观测几十纳米级微结构，电子束曝光设备无法完成纳米级精细掩模光刻、金属电极蒸镀前的图形制备，长期外送加工存在周期长、样品污染、工艺参数保密、无法原位观测加工效果等问题，制约小尺寸器件、新型微纳结构的研发进度。拟采购该设
采购意向
广东深圳
曝光设备
2026-07-10
中国科学院上海光学精密机械研究所32路声光调制器及驱动器单一来源采购公示
驱动器。
4.拟采购货物的预算金额：160万元（人民币）；最高限价：人民币160万元（人民币）。
5.采用单一来源采购方式的原因及说明：
多路声光调制器（AOM）是本项目中激光微纳曝光设备的关键器件，负责对多路激光分别进行灰度调制，从而实现任意图形的曝光。本采购申请要求的AOM具有如下技术要求：通道数32路，波长266nm，工作频率250MHz，中心间距450um，
采购公告
上海嘉定
曝光设备
2026-07-02
某单位电子束曝光设备采购意向公开
采购单位： 某单位
项目名称： 电子束曝光设备
预算金额（元）： 40,000,000.00
采购品目： 其他分析仪器
采购需求概况： 拟采购电子束曝光设备1套，用于实现器件微纳图形的加工与制备，完善现有实验条件，支撑后续科研创新与实验任务落地。
联系人： 张老师
联系电话： 0755-82077536转123
预计采购时间： 2026年8月
备注： 无
本
采购意向
曝光设备
2026-07-02
[公开招标]扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目(重新招标)
.项目预算：2900000.00元 4.最高限价：2900000.00元 5.采购需求： 标的名称 数量 单位 简要技术需求（服务需求） 备注
前沿与交叉科学研究院扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）设备采购 1 套 详见招标文件
6.合同履行期限：详见招标文件用户需求书。 7.本项目不接受联合体投标，详见“申请人的资格要求”。 二、申请人的资格要求： （1）投标人必
采购公告
广东深圳
曝光设备
2026-06-26
扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目(重新招标)
07月08日09时00分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
1.项目编号：AOMC-2026-050-C（SZDL2026000645）
2.项目名称：扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目（重新招标）
3.预算金额：人民币2,900,000.00元
4.最高限价：人民币2,900,000.00元
5.所属行业：工业
6.采购需求：
7.本项目不接受
采购公告
广东深圳
曝光设备
2026-06-26
电子束曝光设备灯丝更换成交结果公告
应商信息
成交供应商 锐时科技（北京）有限公司 成交金额 193000
成交理由 符合需求，价格最低
采购服务信息列表
序号 货物（服务）名称 数量 计量单位 预算单价
1 电子束曝光设备灯丝更换 1 套 193000
技术参数 1.电子束灯丝更换后，与设备主机其其他部件协调工作，实现曝光功能，并曝光标准图样； 2.在实验室温度波动控制在±0.5 ℃的条件下，进行8
采购结果
曝光设备
2026-06-26
电子束直写系统（第三次） - 国际招标公告(1)
件
项目概况：电子束直写系统 1套（含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）
资金到位或资金来源落实情况：已落实
项目已具备招标条件的说明：已具备
2、招标内容
招标项目编号：2947-264hs2026g14
招
采购公告
浙江杭州
曝光设备
2026-06-23
珠海方正科技多层电路板有限公司项目-内层图形LDI曝光设备(二次招标)中标结果公告(1)
【电力招标采购网】项目名称：珠海方正科技多层电...
采购结果
广东珠海
曝光设备
2026-06-22
【分散采购备案单】电子束曝光设备灯丝更换
世界都获得了很多好评，在国内唯一销售商为锐时科技（北京）有限公司。贯彻了走集体决策程序，维护学校利益的原则，综合考虑质量和价格，专家组一致认为只能采用单一来源采购方式完成本次电子束曝光设备灯丝更换的采购，供货商为锐时科技（北京）有限公司，生厂商为德国Raith公司。
采购服务信息列表
序号 货物（服务）名称 数量 计量单位 预算单价
1 电子束曝光设备灯丝更换 1
采购公告
曝光设备
2026-06-18
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