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曝光设备招标采购
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电子束直写系统（第三次）
标范围：电子束直写系统 1套 （含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对
焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子
束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）
招标机构：浙江豪圣建设项目管理有限公司
招标人：/
开标时间：2026-07-14 09：30
公示开始时间：2026-07-15 13
采购结果
浙江杭州
曝光设备
2026-07-15
电子束直写系统（第三次）评标结果公示公告
招标范围：电子束直写系统 1套 （含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）
招标机构：浙江豪圣建设项目管理有限公司
招标人：乾元国家实验室
开标时间：2026-07-14 09：30
公示开始时间：2026-07
采购结果
浙江杭州
曝光设备
2026-07-15
场发射扫描电子显微镜采购项目
工、精密电极图形化制备相关科研工作，是低维凝聚态物理、半导体和超导器件方向的核心研究内容。现有设备无法进行高精度电子束光刻加工：普通扫描电镜分辨率不足以观测几十纳米级微结构，电子束曝光设备无法完成纳米级精细掩模光刻、金属电极蒸镀前的图形制备，长期外送加工存在周期长、样品污染、工艺参数保密、无法原位观测加工效果等问题，制约小尺寸器件、新型微纳结构的研发进度。拟采购该设
采购意向
广东深圳
曝光设备
2026-07-10
[公开招标] 扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目(重新招标)中标（成交）结果公告
公司
供应商地址：天津自贸试验区（天津港保税区）天保大道 199 号 258 室
中标金额：2,860,000.00元
四、主要标的信息
（货）（物）（类）
名称：扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目（重新招标）
品牌（如有）：详见附件
规格型号：详见附件
数量：详见附件
单价：详见附件
五、评审委员会成员名单
抽取专家：林晓东（组长）、王玮、魏召、杨静
采购
采购结果
广东深圳
曝光设备
2026-07-10
南方科技大学场发射扫描电子显微镜采购项目意向公开
工、精密电极图形化制备相关科研工作，是低维凝聚态物理、半导体和超导器件方向的核心研究内容。现有设备无法进行高精度电子束光刻加工：普通扫描电镜分辨率不足以观测几十纳米级微结构，电子束曝光设备无法完成纳米级精细掩模光刻、金属电极蒸镀前的图形制备，长期外送加工存在周期长、样品污染、工艺参数保密、无法原位观测加工效果等问题，制约小尺寸器件、新型微纳结构的研发进度。拟采购该设
采购意向
广东深圳
曝光设备
2026-07-10
中国科学院上海光学精密机械研究所32路声光调制器及驱动器单一来源采购公示
驱动器。
4.拟采购货物的预算金额：160万元（人民币）；最高限价：人民币160万元（人民币）。
5.采用单一来源采购方式的原因及说明：
多路声光调制器（AOM）是本项目中激光微纳曝光设备的关键器件，负责对多路激光分别进行灰度调制，从而实现任意图形的曝光。本采购申请要求的AOM具有如下技术要求：通道数32路，波长266nm，工作频率250MHz，中心间距450um，
采购公告
上海嘉定
曝光设备
2026-07-02
某单位电子束曝光设备采购意向公开
采购单位： 某单位
项目名称： 电子束曝光设备
预算金额（元）： 40,000,000.00
采购品目： 其他分析仪器
采购需求概况： 拟采购电子束曝光设备1套，用于实现器件微纳图形的加工与制备，完善现有实验条件，支撑后续科研创新与实验任务落地。
联系人： 张老师
联系电话： 0755-82077536转123
预计采购时间： 2026年8月
备注： 无
本
采购意向
曝光设备
2026-07-02
[公开招标]扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目(重新招标)
.项目预算：2900000.00元 4.最高限价：2900000.00元 5.采购需求： 标的名称 数量 单位 简要技术需求（服务需求） 备注
前沿与交叉科学研究院扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）设备采购 1 套 详见招标文件
6.合同履行期限：详见招标文件用户需求书。 7.本项目不接受联合体投标，详见“申请人的资格要求”。 二、申请人的资格要求： （1）投标人必
采购公告
曝光设备
2026-06-26
扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目(重新招标)
07月08日09时00分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
1.项目编号：AOMC-2026-050-C（SZDL2026000645）
2.项目名称：扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目（重新招标）
3.预算金额：人民币2,900,000.00元
4.最高限价：人民币2,900,000.00元
5.所属行业：工业
6.采购需求：
7.本项目不接受
采购公告
广东深圳
曝光设备
2026-06-26
电子束曝光设备灯丝更换成交结果公告
应商信息
成交供应商 锐时科技（北京）有限公司 成交金额 193000
成交理由 符合需求，价格最低
采购服务信息列表
序号 货物（服务）名称 数量 计量单位 预算单价
1 电子束曝光设备灯丝更换 1 套 193000
技术参数 1.电子束灯丝更换后，与设备主机其其他部件协调工作，实现曝光功能，并曝光标准图样； 2.在实验室温度波动控制在±0.5 ℃的条件下，进行8
采购结果
曝光设备
2026-06-26
电子束直写系统（第三次） - 国际招标公告(1)
件
项目概况：电子束直写系统 1套（含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）
资金到位或资金来源落实情况：已落实
项目已具备招标条件的说明：已具备
2、招标内容
招标项目编号：2947-264hs2026g14
招
采购公告
浙江杭州
曝光设备
2026-06-23
珠海方正科技多层电路板有限公司项目-内层图形LDI曝光设备(二次招标)中标结果公告(1)
【电力招标采购网】项目名称：珠海方正科技多层电...
采购结果
广东珠海
曝光设备
2026-06-22
【分散采购备案单】电子束曝光设备灯丝更换
世界都获得了很多好评，在国内唯一销售商为锐时科技（北京）有限公司。贯彻了走集体决策程序，维护学校利益的原则，综合考虑质量和价格，专家组一致认为只能采用单一来源采购方式完成本次电子束曝光设备灯丝更换的采购，供货商为锐时科技（北京）有限公司，生厂商为德国Raith公司。
采购服务信息列表
序号 货物（服务）名称 数量 计量单位 预算单价
1 电子束曝光设备灯丝更换 1
采购公告
曝光设备
2026-06-18
电子束直写系统（第二次）评标结果公示公告
3
招标范围：电子束直写系统 1套（含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）
招标机构：浙江豪圣建设项目管理有限公司
招标人：乾元国家实验室
开标时间：2026-06-16 09：30
公示开始时间：2026-06
采购结果
浙江杭州
曝光设备
2026-06-16
珠海方正科技多层电路板有限公司项目-内层图形LDI曝光设备(二次招标)评标结果公示公告(1)
【电力招标采购网】项目名称：珠海方正科技多层电...
采购结果
广东珠海
曝光设备
2026-06-11
珠海方正科技多层电路板有限公司项目-内层图形LDI曝光设备(二次招标)中标结果公示
正科技多层电路板有限公司项目-内层图形LDI曝光设备（二次招标）中标结果公示
公告编号 CGGG202600578-1
项目名称 珠海方正科技多层电路板有限公司项目-内层图形LDI曝光设备（二次招标）
项目类别 货物
采购人 珠海方正科技多层电路板有限公司
采购控制价/预算（万元） 320
采购方式 公开招标
采购内容 内层图形LDI曝光设备 4套
预中标金额（万元
采购结果
广东珠海
曝光设备
2026-06-11
珠海方正科技多层电路板有限公司项目-内层图形LDI曝光设备(二次招标)
曝光设备（二次招标）
招标项目编号：0730-264012SZ0058/05
招标范围：0730-264012SZ0058/05 珠海方正科技多层电路板有限公司项目-内层图形LDI曝光设备
招标机构：中航招采科技（北京）有限公司
招标人：珠海方正科技多层电路板有限公司
开标时间：2026-06-09 10：00
公示开始时间：2026-06-11 10：48
评标公
采购结果
广东珠海
曝光设备
2026-06-11
扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目变更公告
栋11楼
代理机构联系方式 0755-88012182
废标公告
一、项目基本情况
项目编号：AOMC-2026-050（SZDL2026000645）
项目名称：扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目
二、项目废标的原因
天津智汇创鑫科技有限公司、深圳曼瑞德科技有限公司两家公司投标文件技术参数第11条所提供的证明材料不符合招标文件要求，不通过符合性审查第6条“
采购结果
广东深圳
曝光设备
2026-05-29
电子束直写系统（第二次） - 国际招标公告(2)
件
项目概况：电子束直写系统 1套（含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）
资金到位或资金来源落实情况：已落实
项目已具备招标条件的说明：已具备
2、招标内容
招标项目编号：2947-264hs2026g03
招
采购公告
浙江杭州
曝光设备
2026-05-26
扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目招标公告
采购项目名称 扫描电镜+电子束曝光设备（光刻机）采购项目招标公告
品目 学校后勤设备 后勤设备 平安校园建设 门禁管理系统设备
所属领域 高教
行政区域 广东
公告时间 2026年05月18日
预算金额 580万
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曝光设备
2026-05-18
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