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薄膜颗粒招标采购
薄膜颗粒
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中石油上海新材料研究院分光测色仪采购-项目公告
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采购公告
上海普陀
薄膜颗粒
2025-11-06
高真空蒸发镀膜系统、磁控溅射镀膜系统 和 热型原子层沉积系统（JLU-KC25056）采购公告
路去离子水前驱体源，预留一路待升级
1、100*100mm样品反应腔；
2、反应腔上、下独立加热控温，样品温度可加热到150℃，温度控制精度±0.5℃；
3、沉积腔室内无死区，沉积薄膜颗粒少，0.5um以上颗粒值增加少于50颗；
4、配置2路加热金属前驱体源和1路水前驱体；驱体源配置流量可控的独立载气气路，源和管道前驱体管道可加热到200℃，温度控制精度±0.5℃；
采购公告
吉林长春
薄膜颗粒
2025-08-25
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