SR膜厚仪采购项目 公开招标公告
招标
发布时间:
2025-11-13
发布于
--
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一、项目基本情况:

项目编号:DZZB20251101

项目名称:SR膜厚仪采购项目

项目地点:苏州市虎丘区五台山路528号光电产业园13幢。

项目要求:因公司生产需要,采购SR膜厚仪设备。

此次招标项目的设备清单如下:

序号

设备名称

详细参数

需求数量

单位

1

SR膜厚仪

1、测试范围:2寸~12 寸标准晶圆;;

2、支持2寸~12寸晶圆内单点和自定义点数 mapping 测试;

3、移动平台范围:≥ 200*200mm,有定位功能;

4、测量光斑大小:≤1.5mm ;

5、膜厚测量范围:15nm-100um;

6、膜厚绝对精度:0.2%;

7、光源:进口卤素灯,平均寿命>4000h;

8、测量软件:具有折射率和消光系数分析能力,支持自定义测量模型建立,并有存储读取功能。可自动拟合膜厚,测量结果有图表输出,mapping测量时有等高线、3D图显示。测量结果以光谱结果或测量结果导出。

9、电源:単相220V±10V ,50/60Hz±1Hz

1

二、投标人的资格要求:

1、具备该产品生产资质或者合格代理资质,能有效提供售后服务,具有独立法人资格并依法取得企业营业执照,营业执照处于有效期内,运营正常,成立时间须满1年,生产类供应商经营范围必须涵盖所投标产品,不接受个体工商户投标;

2、投标人不能是招标方在职员工创立、入股的公司,不能是与招标方在职员工存在利益、亲属关系的公司,不能是与招标方有竞争关系的在离职员工创立、入股的公司;

3、须接受签订大族《安全环保协议》、《廉洁交易协议》;

4、须提供增值税专用发票;

5、须提供质量承诺或售后服务承诺文件;

6、须提供经营场所的租赁合同或房产证复印件;

7、须提供能证明企业履行合同的能力、企业社会责任和售后服务能力的相关资料(例:近6个月社保清单、近3个月财务报表、完税证明);

8、须提供最近同类型产品的销售合同复印件(2个及以上案例,涉及敏感信息可进行保密处理);

9、须提供产品资料说明书;

10、须提供样品测试报告;

11、投标人认为有必要提供的声明及其他资质证明文件。

三、保证金事宜:

本项目需要缴纳投标保证金:4,000.00元(肆仟元整)

四、投标时间/地点安排:

项目报名时间:*开通会员可解锁*8:30时至*开通会员可解锁*17:30时(工作日内)

投标文件递交截止时间:*开通会员可解锁*17:30时

预计开标时间:*开通会员可解锁*14:00时

开标地点:深圳市宝安区福永街道重庆路12号大族激光全球智造基地2栋5楼

有意者请填写附件《投标报名表》发送至我公司供应商管理部报名。

五、对本次招标提出询问,索取详细的招标书及投标模板,请按以下方式联系:

陈宏飞,*开通会员可解锁*,chenhf177625@hanslaser.com

欧阳海梅,*开通会员可解锁*,ouyhm131787@hanslaser.com

大族激光科技产业集团股份有限公司

供应商管理部

*开通会员可解锁*

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