国家纳米科学中心2026年2至12月政府采购意向-原子层介质和金属多功能刻蚀系统 详细情况
发布时间：
2026-02-09
发布于
北京海淀
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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022国家纳米科学中心2026年2至12月政府采购意向-原子层介质和金属多功能刻蚀系统 详细情况
| 项目名称: | 原子层介质和金属多功能刻蚀系统 |
| 品目 | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 公告时间: | *开通会员可解锁* |
| 预算金额: | 190.000000万元(人民币) |
| 采购单位 | 国家纳米科学中心 |
| 采购时间 | 2026-02 |
采购需求：
国家纳米科学中心2026年2至12月政府采购意向-原子层介质和金属多功能刻蚀系统 详细情况
*开通会员可解锁* 09:27 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原子层介质和金属多功能刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 国家纳米科学中心2026年2至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 国家纳米科学中心 |
| 采购项目名称： | 原子层介质和金属多功能刻蚀系统 |
| 预算金额： | 190.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 该设备能够实现原子层精度、低损伤刻蚀，兼具标准ICP刻蚀功能，主要用于介质和金属等纳米材料刻蚀及器件加工。 |
| 预计采购时间： | 2026-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
本文来源: https://www.yiqi.com/ycz/ydetail_1815056da0507.html
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