浙江华熔科技股份有限公司半导体关键元器件项目环境影响报告表公示
发布时间:
2025-09-02
发布于
浙江
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建设项目环境影响报告表

(污染影响类)

(报批稿)

项目名称:

半导体关键元器件项目

建设单位(盖章):

浙江华熔科技股份有限公司

编制日期:

2025 8

中华人民共和国生态环境部制

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目 录

一、建设项目基本情况

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1

二、建设项目工程分析

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20

三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42

四、主要环境影响和保护措施

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52

五、环境保护措施监督检查清单

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

六、结论

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90

附图:

附图

1 项目地理位置图

附图

2 水功能、水环境功能区划图

附图

3 环境空气质量功能区划图

附图

4 长兴县声环境功能区划图

附图

5 长兴县生态环境分区管控动态更新方案

附图

6 煤山镇三区三线叠图分析

附图

7 项目周边情况示意图

附图

8 项目平面布置

附件:

附件

1 项目备案信息表

附件

2 历年环评批复及验收文件

附件

3 危废处置协议

附件

4 租房协议

附件

5 排污许可登记回执

附件

6 废气方案咨询意见

附件

7 专家意见及修改清单

附表: 建设项目污染物排放量汇总表

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— 1 —

一、建设项目基本情况

建设项目名称

半导体关键元器件项目

项目代码

2411-33*开通会员可解锁*-507113

建设单位联系人

涉密删除

联系方式

涉密删除

建设地点

浙江省(自治区)湖州市长兴县煤山镇(区)

/乡(街道)南太

湖青年科技创业园(具体地址)

地理坐标

119 度 72 分 24.321 秒,31 度 11 分 73.401 秒)

国民经济

行业类别

C3985 电子专用材料制造

建设项目

行业类别

“三十 六、计算 机、通 信和 其 他 电 子 设 备 制 造 业39”中“电子元件及电子专用 材 料 制 造

398”中“印刷

电路板制造;电子专用材料制造(电子化工材料制造除外);使用有机溶剂的 ; 有 酸 洗 的

--以上均不

含仅分割、焊接、组装的

建设性质

新建(迁建)

改建

扩建

技术改造

建设项目

申报情形

首次申报项目□不予批准后再次申报项目□超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目

项目审批(核准

/

备案)部门(选填)

长兴县经济和信息化

项目审批(核准/备案)文号(选

填)

2411-33*开通会员可解锁*-507113

总投资(万元)

4400

环保投资(万

元)

90

环保投资占比(

%)

2.0%

施工工期

是否开工建设

否

是:

用地(用海)

面积(

m2)

0

专项评价设置情况

本项目不设置专项评价,详见表

1-1。

1-1 专项评价设置情况

专项评价

类别

设置原则

设置情况

是否设

置专项

大气

排放废气含有毒有害

污染物、二噁英、苯并

项目废气不涉及以上

物质。

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— 2 —

[a]芘、氰化物、氯气且厂界外

500 米范围内

有环境空气保护目标

的建设项目。

地表水

新增工业废水直排建

设项目(槽罐车外送污

水处理厂的除外);新

增废水直排的污水集

中处理厂。

企业废水纳管排入区

域污水处理厂。

地下水

涉及集中式饮用水水

源和热水、矿泉水、温

泉等特殊地下水资源

保护区的开展地下水

专项评价工作。

本项目不涉及特殊地

下水资源保护区。

环境风险

有毒有害和易燃易爆

危险物质存储量超过

临界量的建设项目。

本项目有毒有害和易

燃易爆危险物质

Q 值

1。

生态

取水口下游

500 米范

围内有重要水生生物

的自然产卵场、索饵

场、越冬场和洄游通道

的新增河道取水的污

染类建设项目。

本项目不涉及。

海洋

直接向海排放污染物

的海洋工程建设项目。

本项目不涉及。

规划情况

规划名称:

《长兴县国土空间总体规划(

2021-2035年)》

规划环境影响

评价情况

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— 3 —

规划

及规

划环

境影

响评

价符

合性

分析

1.1《长兴县国土空间总体规划(2021-2035 年)》符合性分析

1、规划范围和层次

规划范围为长兴县行政辖区范围内的全部国土空间,包括县域和中心城区两个层次:

县域:长兴县行政辖区内的陆域空间。

中心城区:包括雉城街道、龙山街道、太湖街道、画溪街道和小浦镇(不含小浦镇镇区)行政辖区范围内的城镇建设

用地集中分布区及其相关控制区域,东至太湖,南至长湖申航道,西至新长铁路,北至合溪新港。上述

4 个街道和小浦镇

的行政界线范围作为中心城区控制范围。

2、规划期限

规划期限为

2021~2035 年。

3、城市性质

长兴县是长三角跨区合作和绿色发展样板、宁湖杭高能级新经济高地、南太湖水乡休闲胜地、省际交通枢纽。

4、统筹划定三条控制线

2035 年,长兴县耕地保有量不低于 227.9578 平方千米;永久基本农田保护面积 211.8742 平方千米;生态保护红线

面积

166.1595 平方千米;城镇开发边界扩展倍数为 1.2998。

5、落实细化主体功能区

在长兴县国土空间总体规划主体功能定位的基础上进一步细化,将雉城街道、画溪街道、太湖街道、龙山街道规划为

城市化优势地区,泗安镇、和平镇、煤山镇、洪桥镇、李家巷镇规划为城市化潜力地区,林城镇、虹星桥镇、夹浦镇和吕

山乡规划为农产品主产区,小浦镇和水口乡规划为生态经济地区,洪桥镇、煤山镇和水口乡规划为文化景观地区。

6、国土空间开发保护总体格局

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— 4 —

“三区三线”为基础,统筹优化农业、生态和城镇等功能空间布局,打造“两廊一带三片多脉”保护格局以及“一主一副、

一带一轴、三大圈层

”开发格局的总体空间结构。其中,“两廊”指联系区域生态资源和太湖之间的两条区域性生态绿廊,

包括五通山

-顾渚山-太湖生态廊道、城山-弁山-太湖生态廊道;“一带”指保护环太湖水陆交错地带等生态间隔空间的滨湖生

态涵养带;

“三片”指北中南三个重点生态片区,包括顾渚山生态片区、天目山余脉生态片区、滨湖溇港生态片区;“多脉”

指泗安塘、合溪、西苕溪等多条通湖骨干河流;

“一主一副”中一主指长兴中心城区,一副指泗安城市副中心;“一带一轴”

包括沿太湖、联动长兴中心城区、图影、湖州中心城区的滨湖城市发展带,与安吉、广德联动发展的接皖城市发展轴;

“三

大圈层

”指从中心向外围形成的中心城区圈层,由夹浦镇、水口乡、小浦镇、林城镇、虹星桥镇、吕山乡、李家巷镇、洪

桥镇组成的城郊农旅圈层,由煤山镇、泗安镇、和平镇组成的外围重点镇圈层。

7、划定国土空间规划分区

全县国土空间划分为农田保护区、生态保护区、生态控制区、城镇发展区、乡村发展区、其他保护利用区等

6 个一级

用途分区,并配套施行分区管制制度进行差异化管理。

6、符合性分析

本项目位于长兴经济技术开发区绿色制造产业园(煤山镇)工业平台开发边界范围内,土地性质为工业用地,位于城

镇开发边界内。项目行业类别属于

C3985 电子专用材料制造中的碳化硅衬底材料,属于二类工业;项目建成后实行雨污分

流,生产废水经预处理设施(低温蒸发器)处理后清水回用于废气喷淋补充用水,浓缩液作为危废委托处置,生活污水经

化粪池预处理后排入市政污水管网,经长兴建投环保科技有限公司深度处理后达标排放;废气可达标排放;固废均妥善处

置。因此本项目的建设符合《长兴县国土空间总体规划(

2021-2035 年)》要求。

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— 5 —

其他

符合

性分

1.2《长兴经济开发区绿色制造产业园(新型材料产业园)总体规划》符合性分析

1)建设规模

长兴经济开发区绿色制造产业园(新型材料产业园)总用地

11.1 平方公里(1110 公顷),由 4 个园区组成。

1)中部主园区。位于煤山镇中部,S301 省道两侧,合溪北涧以北。规划中部主园区总用地面积 355 公顷,其中:商

务设施用地

10 公顷,实际工业用地 272 公顷,其余为道路及绿地。

2)东部分区。位于煤山镇东部,S301 省道以北,山鹰大道两侧。规划东部分区总用地面积 242 公顷,其中杨店新村

和新升村建设用地

34 公顷,实际工业用地 84 公顷,其余为商务用地、公共设施用地、水域及绿地。

3)西部分区。与中部主园区相连,位于合溪北涧以西。规划西部分区总用地面积 258 公顷,其中:实际工业用地 95

公顷,发展备用地

126 公顷,公共服务设施用地 4 公顷,其余为道路及绿地。

4)南太湖电子信息产业园。该园区位于槐坎组团,小槐线以南,规划用地面积 255 公顷,其中:实际工业用地 85 公

顷,发展备用地

102 公顷,村庄建设用地 23 公顷,公共设施用地 2.5 公顷,其余为道路及绿地。

2)总体定位

将长兴经济开发区绿色制造产业园(新型材料产业园)建设成为智慧能源先行区、高端装备制造示范区和体制机制创

新示范区,引导长兴产业升级转型。

近期:发挥资源和政策优势,以新能源、新材料、装备制造等为产业导向建设重点发展区、打造长兴创业创新先行区;

远期:进一步壮大先进制造业、完善现代服务业和生活配套,将长兴经济开发区绿色制造产业园(新型材料产业园)

建设成为

“一流的现代园区”。

3)产业定位

长兴经济开发区绿色制造产业园(新型材料产业园)位于合溪水库的上游,属于环境敏感区。在产业布局上优先发展

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— 6 —

具有科技含量较高、附加值较高,能耗较低、水体污染较少、大气污染较低的产业为主,并鼓励发展工业企业孵化基地。

1)中部主园区:高品质建设青年科创园主导的中部主园区,建设一流的现代化产业园区,并充分利用好现有低丘缓

坡资源,向西拓展工业发展平台,实现与西部分区的集中连片发展,完善现代物流设施,形成以新能源、新材料、装备制

造为主导的绿色制造产业集聚空间。

2)东部分区:加强东部分区工业板块综合整治,整治提升现有工业企业,合理淘汰落后产能,着力做好现有产业的

前延后伸文章,提升配套服务环境,重点打造特种耐火材料产业集聚区,走工贸结合发展之路。

3)西部分区:加强西部分区的集聚发展引导,节约用地资源,并提高企业准入门槛,重点发展科技含量高、经济效

益好的新材料产业。

4)南太湖电子信息产业园:南太湖电子信息产业园现状工业分布相对集中,且电子电源为主导的产业发展格局十分

清晰,规划保留并优化提升该工业发展平台,坚持特色兴园发展思路,重点完善功能,提升形象,培育完整的产业链,形

成电子电器产业集群产业高地,走规模化、高端化发展之路。

4)功能结构

规划形成

“一带、四区”的规划结构:

“一带”:以 S301 省道为龙骨,形成串联东部分区、中部主园区和西部分区的一条重要纽带;“四区”:分别为中部主

园区、东部分区、西部分区和南太湖电子信息产业园四个区块。

符合性分析:根据与循环经济产业园(煤山)开发边界图的位置叠图,项目位于煤山镇国家级开发绿色制造产业园中

部主园区,在长兴经济技术开发区绿色制造产业园(煤山镇)工业平台开发边界范围内。中部主园区的产业定位为形成以

新能源、新材料、装备制造为主导的绿色制造产业集聚空间;建设项目主要进行半导体关键元器件的生产,属于

“C3985

电子专用材料制造

-碳化硅衬底材料”,属于新材料产业,符合长兴经济开发区绿色制造产业园(新型材料产业园)的中部

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主园区产业定位,因此项目实施符合长兴经济开发区绿色制造产业园(新型材料产业园)总体规划的要求。

1.3“三线一单符合性分析

1)生态保护红线

项目位于长兴经济开发区绿色制造产业园(新型材料产业园

-中部主园区),用地性质为工业用地。根据《长兴县国

土空间总体规划(

2021-2035年)》、三区三线规划图相关内容,项目不在生态保护红线范围内。因此,本项目不涉及生

态保护红线。

2)环境质量底线

根据现状监测数据,所在区域地表水环境、声环境、土壤环境质量现状均满足相应环境功能区要求;根据《长兴县环

境质量公报(

2024年度)》,2024年度长兴县属于不达标区。根据分析和预测结果,本项目废气、废水和噪声经处理后可

实现达标排放,不会改变所在环境功能区的质量,固废委托有资质单位处理或者委外安全处理。综上所述,本项目不触及

环境质量底线。

3)资源利用上线

项目拟建于长兴经济开发区绿色制造产业园(新型材料产业园

-中部主园区),区内供水、供电设施完备。本工程工

艺流程采用清洁、低能耗的先进工艺流程,生产设备选用优质、能耗低的设备。因此项目不触及资源利用上线。

4)生态环境准入清单

建设项目主要进行半导体关键元器件的生产,属于

“C3985 电子专用材料制造-碳化硅衬底材料”,符合长兴经济开发区

绿色制造产业园(新型材料产业园)的中部主园区产业定位

项目位于长兴经济开发区绿色制造产业园(新型材料产业园

-中部主园区),根据《长兴县生态分区管控动态更新方

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— 8 —

案》,本项目位于

“湖州市长兴县煤山镇产业集聚重点管控单元(ZH33052220008)”,经对照分析,本项目符合该管控单

元的要求。

综上,本项目总体上符合《关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知》(环环评

[2016]150号)中“三

线一单

”的管理要求。

1.4 与长兴县生态环境分区管控动态更新方案的符合性分析

本项目位于长兴经济开发区绿色制造产业园(新型材料产业园

-中部主园区),根据《长兴县生态分区管控动态更新

方案》,本项目位于

“湖州市长兴县煤山镇产业集聚重点管控单元(ZH33052220008)”,经对照分析,本项目符合该管控

单元的要求。本项目与长兴县生态环境分区管控动态更新方案符合性分析见表

1-2。

1-2 项目与长兴县生态环境分区管控动态更新方案的符合性分析表

类别

管控内容

本项目

是否符

空间布局约束

禁止新建、扩建三类工业项目,鼓励对现有三类工业项目进行淘汰或提升改造,对水体有污染的三类工业项目必须限期淘汰关闭。二类工业项目的新建、扩建、改建不得增加管控单元水污染物排放总量。加强

“两

”项目源头防控。综合条件较好的重点行业率先开

展节能降碳技术改造。实施绿色低碳产业集聚发展,打造绿色制造平台。在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生态绿地等隔离带。土壤污染重点监管单位新(改、扩)建项目用地应当符合国家或地方有关建设用地土壤风险管控标准。重点行业按照规范要求开展建设项目碳排放评价。

项目主要进行半导体关键元器件的生产,属于

“C3985

电子专用材料制造

-碳化硅衬底材料”,属于二类工业项

目;本项目建成后实行雨污分流,生产废水经预处理设施(低温蒸发器)处理后清水回用于废气喷淋补充用水,浓缩液作为危废委托处置,生活污水经化粪池预处理后排入市政污水管网,经长兴建投环保科技有限公司深度处理后达标排放;本项目废水最终排放口位于控制单元外,不增加控制单元水污染物排放总量;本项目不属于“两高”项目;本项目不在人口聚集区内,且在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生态绿地等隔离

带企业未列入土壤污染重点监管单位。

符合

污染物排放管

实施污染物总量控制制度,严格执行地区削减目标。新建二类工业项目污染物排放水平需达到同行业国

项目不属于水泥等建材行业、蓄电池行业。项目严格实施污染物总量控制制度,新增颗粒物、

VOCs 按 1:2 进

符合

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— 9 —

内先进水平。对现有水泥等建材行业进行技术改造,淘汰落后工艺和设备。对区内现有的蓄电池行业进行统一整治,逐步搬迁至小浦或和平蓄电池工业园区。推进工业集聚区

“零直排区” 建设,所有企业实现雨

污分流,现有工业集聚区内工业企业废水必须经预处理达到集中处理要求,方可进入污水集中处理设施。

行区域替代削减。项目具有较高的清洁生产水平,可达

到同行业国内先进水平。

环境风险管控

严格控制石油加工、化学原料和化学制品制造、医药制造、化学纤维制造、有色金属冶炼、纺织印染等项目环境风险。重点管控新污染物环境风险。定期评估沿江河湖库工业企业、工业集聚区环境和健康风险,落实防控措施。强化工业集聚区应急预案和风险防控体系建设,防范重点企业环境风险。严格污染地块开发利用和流转审批,按照《污染地块土壤环境管理办法》有关规定开展调查、评估、治理与修复等活动。

本项目将根据要求制定应急预案。

符合

资源开发效率

要求

推进工业集聚区生态化改造,强化企业清洁生产改造,推进节水型企业、节水标杆园区建设,落实煤炭消费减量替代要求,提高资源能源利用效率。

本项目不涉及煤炭使用,生产废水经处理后回用,可节约水资源消耗,项目实施后将按照要求提高清洁生产水

平,提高资源能源利用效率。

符合

1.5 与《<长江经济带发展负面清单指南(试行,2022 年版)>浙江省实施细则》符合性分析

本项目拟建地位于煤山镇国家级开发绿色制造产业园中部主园区,在长兴经济技术开发区绿色制造产业园(煤山镇)

工业平台开发边界范围内,项目所在地不涉及《

<长江经济带发展负面清单指南(试行,2022 年版)>浙江省实施细则》

(浙长江办

[2022]6 号)中罗列的自然保护地岸线、饮用水水源保护区岸线、水产种质资源保护区岸线、国家湿地公园岸

线等生态敏感区域。项目建设所在的长兴经济技术开发区绿色制造产业园属于合规园区。项目建设符合《长江经济带发展

负面清单指南(试行,

2022 年版)》(浙江省实施细则)要求。

1.6

三区三线符合性分析

为贯彻落实《中共中央办公厅 国务院办公厅关于在国土空间规划中统筹划定落实三条控制线的指导意见》,加强生

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— 10 —

态保护红线管理,严守自然生态安全边界,自然资源部、生态环境部、国家林业和草原局发布了《关于加强生态保护红线

管理的通知(试行)》(自然资发〔

2022〕142 号)。

经对照本项目与煤山镇

“三区三线”图,本项目位于城镇开发边界内,不涉及生态红线,项目用地性质为工业

用地。因此,本项目符合

“三区三线”相关要求。

1.7 与《太湖流域管理条例》(国务院令第 604 号)符合性分析

本项目对照《太湖流域管理条例》(国务院令第

604 号),具体见下表。

1-3 与《太湖流域管理条例》符合性分析

内容

符合性分析

第八条 禁止在太湖流域饮用水水源保护区内设置排污口、有毒有害物品仓库以及垃圾场;已经设置的,当地县级人民政府应当责令拆除或者关闭。

本项目不在太湖流域饮用水水源保护区范围,本项目建成后实行雨污分流,生产废水经预处理设施(低温蒸发器)处理

后清水回用于废气喷淋补充用水,浓缩液作为危废委托处置,

生活污水经化粪池预处理后排入市政污水管网,经长兴建投

环保科技有限公司深度处理后达标排放。

第二十八条 排污单位排放水污染物,不得超过经核定的水污染物排放总量,并应当按照规定设置便于检查、采样的规范化排污口,悬挂标志牌;不得私设暗管或者采取其他规避监管的方式排放水污染物。禁止在太湖流域设置不符合国家产业政策和水环境综合治理要求的造纸、制革、酒精、淀粉、冶金、酿造、印染、电镀等排放水污染物的生产项目,现有的生产项目不能实现达标排放的,应当依法关闭。在太湖流域新设企业应当符合国家规定的清洁生产要求,现有的企业尚未达到清洁生产要求的,应当按照清洁生产规划要求进行技术改造,两省一市人民政府应当加强监督检查。

项目主要进行半导体关键元器件的生产,属于

“C3985 电子专

用材料制造

-碳化硅衬底材料”,不属于禁止类生产项目。本项

目采取先进的设备和技术工艺进行生产,符合清洁生产要求。

生活废水纳入污水管网,并严格执行总量控制制度。

第二十九条 新孟河、望虞河以外的其他主要入太湖河道,自河口

1 万米

上溯至

5 万米河道岸线内及其岸线两侧各 1000 米范围内,禁止下列行为:

(一)新建、扩建化工、医药生产项目;

本项目所在地不在条款所属范围内,项目不属条款所列建设

项目。

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— 11 —

(二)新建、扩建污水集中处理设施排污口以外的排污口;(三)扩大水产养殖规模。第三十条 太湖岸线内和岸线周边

5000 米范围内,淀山湖岸线内和岸线周

2000 米范围内,太浦河、新孟河、望虞河岸线内和岸线两侧各 1000 米

范围内,其他主要入太湖河道自河口上溯至

1 万米河道岸线内及其岸线两

侧各

1000 米范围内,禁止下列行为:

(一)设置剧毒物质、危险化学品的贮存、输送设施和废物回收场、垃圾场;(二)设置水上餐饮经营设施;(三)新建、扩建高尔夫球场;(四)新建、扩建畜禽养殖场;(五)新建、扩建向水体排放污染物的建设项目;(六)本条例第二十九条规定的行为。

本项目所在地不在条款所属范围内,项目不属条款所列建设

项目。

1.8 与《关于落实水污染防治行动计划实施区域差别化环境准入的指导意见》》符合性分析本项目对照《关于落实水污染防治行动计划实施区域差别化环境准入的指导意见》进行符合性分析,具体见下表。

1-4 《指导意见》符合性分析

内容

符合性分析

(一)禁止

开发区。

对国家和地方划定的禁止开发区、生态保护红线等进行严格管理,依据相关法律法规和政策规划实施强制性严格保护。严禁不符合主体功能定位和主导生态功能的各类开发活动,区域内新建工业和矿产开发项目不予环境准入,重大线性基础设施项目应优先采取避让措施,强化生态修复和补偿。

本项目所在地不在条

款所属范围内,项目不属条款所列建设项目。

(二)限制开发的重点

生态功能

区。

根据流域生态环境功能,细化主体功能区生态环境保护要求。以主导生态功能的恢复和保育为主要目标,在环境准入中坚持预防为主、保护优先。各类产业园区不得增加水污染物排放。新、改、扩建金属采选及加工、轻工、纺织品制造、废旧资源加工再生等行业的项目,其主要污染物及有毒有害污染物排放实施倍量或减量置换。各级各类水生生物保护区水域不新建排污口,涉及水生珍稀特有物种重要生境等河段严格水电环境准入。结合重点生态功能区产业准入负面清单,对其中的限制类产业提出严格的环境准入要求。

本项目所在地不在条

款所属范围内,项目不属条款所列建设项目。

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— 12 —

(三)限制开发的农产品主产区。

以保护和恢复地力为主要目标,加强水和土壤污染的统筹防控。提高有色金属矿采选冶炼、石油开采及加工、化工、焦化、电镀、制革等行业环境准入要求,避免重金属、有机污染物与面源污染叠加,加剧水质改善难度。水库、灌溉、排涝等水利建设应发挥水资源的多种功能,协调好生活、生产和生态用水需求,降低对水生态和水环境的影响。不得进行自然生态系统的开荒以及侵占水面、湿地、林地、草地,控制化肥施用量,严格控制江河、湖泊、水库等水域新增人工养殖,防范水质富营养化。其他优先保护耕地集中区域可参照本区域要求强化准入管理。

本项目所在地不在条

款所属范围内,项目不属条款所列建设项目。

(四)重点

开发区。

针对区域面临的水质达标、水资源开发程度及水生态保护的形势和压力,严控建设项目污染物排放,新、改、扩建项目主要水污染物及有毒有害污染物排放实施减量置换。内蒙古、江西、河南、湖北、湖南、广东、广西、四川、贵州、云南、陕西、甘肃、新疆等地矿产资源开发活动集中区域,矿产资源开发项目执行重点污染物特别排放限值。对城市存在黑臭水体的区域,应制定更为严格的减量置换措施。合理开发和科学配置水资源,控制水资源消耗总量和强度,加强水资源保护。严格水功能区管理监督,根据重要江河湖泊水功能区水质达标要求,落实污染物达标排放措施,切实监管入河湖排污口,严格控制入河湖排污总量。

本项目所在地不在条

款所属范围内,项目不属条款所列建设项目。

(五)优化

开发区。

对确有必要的符合区域功能定位的建设项目,在污染治理水平、环境标准等方面执行最严格的准入条件,清洁生产达到国际先进水平。保护河口和海岸湿地,加强城市重点水源地保护。其中:长江三角洲地区。落实《长江经济带取水口排污口和应急水源布局规划》,沿江地区进一步严格石化、化工、印染、造纸等项目环境准入,对干流两岸一定范围内新建相关重污染项目不予环境准入,推进石化化工企业向尚有一定环境容量的沿海地区集中、绿色发展。对太湖流域新建原料化工、燃料、颜料及排放氮磷污染物的工业项目,不予环境准入;实施江、湖一体的氮、磷污染控制,防范和治理江、湖富营养化。严格沿江港口码头项目环境准入,强化环境风险防范措施。

本项目不属条款所列

建设项目。

1.9 与《太湖流域水环境综合治理总体方案》符合性分析

本项目对照《太湖流域水环境综合治理总体方案》有关条款进行符合性分析,具体见下表。

1-5 《太湖流域水环境综合治理总体方案》符合性分析

条款

内容

项目情况

符合性

第三章大力推进污染防

督促企业依法持证排污、按证排污,严格落实总磷许可排放浓度和许可排放量要求。持续强化涉水行业污染整治,基于水生态环境质量改善需要,大力推进印染、化工、

本项目不属于重点行业,企业按要求申领排污许可证,按证排污

符合

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— 13 —

治第一节深化工业污染

造纸、钢铁、电 镀、食品(啤酒、味精)等重点行业企业废水深度处理。实施工业园区限值限量管理,全面推进工业园区污水管网排查整治和污水收集处理设施建设,加快实施管网混错接改造、管网更新、破损修复改造等,依法推动园区生产废水应纳尽纳。推进化工园区雨污分流改造和初期雨水收集处理,鼓励有条件的园区实施化工企业废水分类收集、分质处理、一企一管、明管输送、实时监测。推进企业内部工业用水循环利用、园区内企业见用水系统集成优化,推动工业废水资源化利用。积极推进清洁生产,引导工业园区、开发区尤其是耗水量大的企业新建中水回用设施和环 保循环设施,推行尾水循环再生利用。开展造纸、印染等高耗 水行业工业废水循环利用示范,率先在纺织印染、化工材料等 工业园区探索建设

“污水

零直排区

”,实施环境信息依法披露、生态环境损害赔偿、环境污染责任保险等制

度。

并满足总量控制要求。本项目生产废水经处理后回用,可节约水资源消耗,提高资源利用效率。

第 六 章 推 动流 域 高 质 量发 展 第 一 节引 导 产 业 合理布局

严禁落地国家和本地产业结构调整目录明确的限制类、淘汰类工艺、装备、产品与项目,依法推动污染企业退出。继续推进城市建成区内造纸、印染、化工等污染较重企业有序搬迁改造或依法关闭,推动环太湖生态环境敏感区内不符合产业发展政策、存在重大安全隐患且不具备整治条件的企业依法关闭或搬迁至合规工业园。推进太湖流域等重要饮用水水源地

300 米范围内重点排污企业逐步退出。除战略性新

兴产业项目外,太湖流域原则上不再审批其他生产性新增氮磷污染物的工业类建设项目。环太湖地区重点布局总部经济、研发设计、高端智造、销售等产业链环节,大力发展创新经济、服务经济、绿色经济,打造 具有全球竞争力的产业创新高地。全面拓展沿太湖科技研发创 新带,高水平规划建设太湖科技学城、

“两湖”创新区。引

进产业应符合

“三线一单”管控要求、相关规划和环境影响评价要求,符合区域主导

生态功能,鼓励工业企业项目采用国际国内行业先进的生产工艺与装备,提高污染物排放控制水平。

项目主要进行半导体关键元器件的生产,属于

“C3985 电子专用材

料制造

-碳化硅衬底材料”,不属于

“国家和本地产业结构调整目录明确的限制类、淘汰类工艺、装备、产品与项目

”;本项目仅排放

生活污水,不新增生产性氮磷污染物。本项目对照《产业结构调整指导目录(

2024 年本)》,本项目不

属于限制和淘汰类产业,符合

“三

线一单

”管控要求、相关规划等产

业引导要求。

符合

第六章推动流域高质量发展第一节加快制造业绿色化改造

深入实施智能制造和绿色制造工程,发展服务型制造新模式。大力发展智能制造,推动企业实施技改、

“上云”行动,加快传统制造业数字化、网络化、智能化建设步

伐。推广共性适用的 新技术、新工艺、新材料、新标准,推动生产方式向柔性、智能、精细转变,构建新型制造体系,推动相关产业绿色发展和绿色改造。强化绿色制造关键核心技术攻关,组织实施绿色技术研发重大项目和示范工程,创建一批

本项目不属于重点行业,按要求开展清洁生产水平认证并达到相应指标要求。

符合

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— 14 —

绿色设计产品、绿色工厂和绿色供应链企业,推动制造业高端化、智能化、绿色化。强化能耗、水耗、环保、安全和技术等标准约束,加强清洁生产评价认证,加快传统产业的绿色化清洁生产技术改造和转型升级,推动一批重点企业达到国际清洁生产领先水平,推进太湖流域印染、有色金属等传统产业绿色转型。对生产、使用、排放优先控制化学品名录内化学物质的企业依法实施强制性清洁生产审核和清洁生产改造。全面推进工业类园区专业化发展和循环化改造,推进分质供水和再生水利用,进一步提升沿河、环湖地区重点工业企业清洁生产水平,实现同行业领先。

1.10 与《浙江省工业企业恶臭异味管控技术指南(试行)》符合性分析

本项目拟租赁现有厂房实施半导体关键元器件项目,因此对照《浙江省工业企业恶臭异味管控技术指南(试行)》中

D.15 一般行业排查重点与防治措施相关内容,具体见表 1-6。

1-6 与技术指南中一般行业符合性分析

序号

排查重点

防治措施

符合性分析

1

原辅料替代

采用低毒、低害、低挥发性、低异味阈值的原料进行源头替代,减少废气的产生量和废气异味污染;

符合。本项目主要原辅料均为低度、低害,且几乎反应完全。

2

设备或工艺革

推广使用自动化、连续化、低消耗等环保性能较高的设备或生产工艺;

符合。本项目所用纯化炉和

CVD炉操作简便,自动化

程度高。

3

设施密闭性

①加强装卸料、输运设备的密封或密闭,或收集废气经处理后排放;②加强生产装置、车间的密封或密闭,或收集废气经处理后排放;③存储设备(罐区)加强密封或密闭、加强检测,或收集废气经处理后排放;④暂存危废参照危险化学品进行良好包装。其中液态危废采用储罐、防渗的密闭地槽或外观整洁良好的密闭包装桶等,固态危废采用内衬塑料薄膜袋的编织袋密闭包装,半固态危废综合考虑其性状进行合理包装;⑤污水处理站产生恶臭气体的区域加罩或加盖,投放

符合,本项目不涉及罐区及污水处理站恶臭气体;本项目生产设备(纯化炉和

CVD炉)为密闭设备,保护

气体、一甲基三氯硅烷物料等均采用管道输送的方式,并对生产过程中产生的废气进行收集、处理后排放;本项目设置

1个一般固废暂存库(10m2)和1个危废暂

存库(

5m2),暂存库按相关规范要求进行设置。

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— 15 —

除臭剂,收集恶臭气体到除臭装置处理后经排气筒排放;

4

废气处理能力

实现废气

“分质分类”、“应收尽收”,治理设施运行与生

产设备

“同启同停”,分类配套燃烧、生物处理、氧化吸

收或其他高效废气处理设施进行治理,确保废气稳定达标排放;

符合。本项目

CVD炉正常运行时的沉积废气直接经管

道送至各设备自带的冷凝管

+过滤罐+二级碱液喷淋塔

(每级喷淋塔均为

3层旋流板)处理后统一高空排放;

CVD炉开停炉废气及过滤罐定期更换石墨毡产生的废气各自经集气罩收集后送车间级废气处理系统(一级干式过滤

+二级碱液喷淋塔)(每级喷淋塔均为2层填

料式塔)处理后高空排放;纯化炉废气经设备自带的

1

级过滤罐后送新建的二级碱液喷淋塔(每级喷淋塔均为

2层填料式塔)装置处理后统一高空排放,经处理后

废气各项因子能够做到稳定达标排放。

3

环境管理措施

根据实际情况优先采用污染预防技术,并采用适合的末端治理技术。按照

HJ 944的要求建立台账,记录含

VOCs原辅材料的名称、采购量、使用量、回收量、废弃量、去向、

VOCs含量,污染治理设施的工艺流程、

设计参数、投运时间、启停时间、温度、风量,过滤材料更换时间和更换量,药剂添加量、添加时间、喷淋液

pH值,吸附剂脱附周期、更换时间和更换量,催

化剂更换时间和更换量等信息。台账保存期限不少于三年。

符合。本项目采用有效污染防治措施,可实现稳定达标排放;本评价要求项目实施后按照

HJ944要求做好台

账管理。

1.11 与《浙江省空气质量改善十四五规划》符合性分析

项目主要进行半导体关键元器件的生产,属于

“C3985 电子专用材料制造-碳化硅衬底材料”,不属于《产业结构调整指

导目录(

2024 年本)》中限制和淘汰类产业,不属于《浙江省空气质量改善“十四五”规划》中严禁新增产能行业。项目实

施符合区块规划要求;项目生产用电,不自备燃煤设施;且项目已取得浙江省工业企业

“零土地”技术改造项目备案通知书

(项目代码:

2411-33*开通会员可解锁*-507113)。因此,本项目建设符合《浙江省空气质量改善“十四五”规划》要求。

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— 16 —

1.12 与《关于加强重点行业涉新污染物建设项目环境影响评价工作的意见》(环环评〔202528 )符合性分析

根据《关于加强重点行业涉新污染物建设项目环境影响评价工作的意见》(环环评〔

2025〕28 号)文件:

一、突出管理重点

重点关注重点管控新污染物清单、有毒有害污染物名录、优先控制化学品名录以及《关于持久性有机污染物的斯德哥

尔摩公约》(简称《斯德哥尔摩公约》)附件中已发布环境质量标准、污染物排放标准、环境监测方法标准或其他具有污

染治理技术的污染物。重点关注石化、涂料、纺织印染、橡胶、农药、医药等重点行业建设项目,在建设项目环评工作中

做好上述新污染物识别,涉及上述新污染物的,执行本意见要求;不涉及新污染物的,无需开展相关工作。

二、禁止审批不符合新污染物管控要求的建设项目

各级环评审批部门在受理和审批建设项目环评文件时,应落实重点管控新污染物清单、产业结构调整指导目录、《斯

德哥尔摩公约》、生态环境分区管控方案和项目所在园区规划环评等有关管控要求。对照不予审批环评的项目类别(见附

表),严格审核建设项目原辅材料和产品,对于以禁止生产、加工使用的新污染物作为原辅料或产品的建设项目,依法不

予审批。

三、加强重点行业涉新污染物建设项目环评

建设单位和环评技术单位在开展涉新污染物重点行业建设项目环评工作时,应高度重视新污染物防控,根据新污染物

识别结果,结合现行环境影响评价技术导则和建设项目环境影响报告表编制技术指南相关要求,重点做好以下工作。

符合性分析:经对照分析,本项目属于

C3985 电子专用材料制造-碳化硅衬底材料,不属于重点关注的石化、涂料、

纺织印染、橡胶、农药、医药等重点行业建设项目;经对照,本项目不属于不予审批环评的项目类别;本项目属于报告表,

根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类)(试行)》的专项设置原则,无需开展大气专项评价;综上,

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— 17 —

本项目符合《关于加强重点行业涉新污染物建设项目环境影响评价工作的意见》要求。

1.13 与《湖州市生态环境分区减污降碳协同管控方案(试行)》(湖环发【202417 号)符合性分析

根据《湖州市生态环境分区减污降碳协同管控方案(试行)》(湖环发【

2024】17 号)文件,本项目的符合性分析

见表

1-7。

1-7 符合性分析

编号

管控单元名称

管控单元

分类

新增减污降碳管控措施

符合性分析

ZH33052220008

长兴县煤山镇产业集聚重点管控单元

产 业 集 聚重 点 管 控单元

1、严控水泥熟料产能,提高熟料项目准入门槛,新建项目主要单位产品能耗必须达到

GB16780-2021 规定的 1 级标

准;鼓励水泥熟料生产线低氮燃烧技术、辊压机终粉磨技术等节能减排的单项二代技术改造。严格控制新建水泥粉磨产能,新建产能不大于退出产能,且须采用绿色环保、固废利用、节能减排、智能生产等先进技术;规模要达到年产水泥100 万吨及以上;水泥单位产品综合能耗须达到《水泥单位产品能源消耗限额》(

GB16780-2021)能耗限额等级 1 级,

大气污染物排放须满足《水泥工业大气污染物排放标准》(

DB33/1346—2023)控制要求。

2、新建工业炉窑必须使用清洁低碳能源;对以煤、石油焦、渣油、重油等为燃料的工业炉窑的改扩建项目,优先采用天然气和电厂热力等清洁能源替代,禁止掺烧高硫石油焦(硫含量大于

3%)。禁燃区范围内禁止以煤炭及其制品、石油

焦、油页岩、渣油、原油、重油、煤焦油等为燃料的工业炉窑。3、鼓励非金属矿物制品业新改扩项目开展固体废物资源化利用,推动水泥窑协同处置污泥等城市固废和工业固废。4、鼓励水泥行业加快原燃料替代、加大清洁能源使用比例。

1、本项目主要进行半导体关键元器件的生产,属于“C3985 电子专用材料制造

-碳化硅衬底材料”,不

涉及水泥生产;2、本项目不涉及新建工业 炉 窑;3、本项目不属于非金属矿物制品业;4、本项目不属于水泥行业

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— 18 —

利用信息化、数字化和智能化技术加强能耗的控制和监管,进一步提高能效水平;改造升级余热发电系统,提高余热发电量;鼓励烘干等工序及生产辅助系统使用余热或电能。

1.14 环评分类管理类别及排污许可管理类别

1)环评分类管理类别判定

在晶圆制造过程中,需要在某些晶圆衬底上进一步建立外延层以便于制造器件。在这个过程中,离不开化学气相沉积

CVD)设备。在 CVD 设备中,不能直接将衬底放置在金属上或简单地放在某个底座上进行外延沉积,因为涉及到气体

流向、温度、压力、固定和污染物等多方面的影响因素,因此需要使用一个基座,将衬底放置在托盘上,并利用

CVD 技

术在其上进行外延沉积。这个基座就是

SiC 涂层石墨基座(也称为托盘)。SiC 涂层石墨基座作为 MOCVD 设备中的核心

零部件之一,承载和发热单晶衬底,直接影响薄膜材料的均匀性和纯度,因此其质量直接影响外延片的制备。

MOCVD 设备中使用的石墨基座需要具备一定的涂层特性,碳化硅(SiC)具有抗腐蚀性、高热导率、抗热冲击和高

的化学稳定性等优点,能够在

GaN 外延气氛中发挥良好的作用。此外,SiC 的热膨胀系数与石墨相似,因此 SiC 是作为石

墨基座涂层的首选材料。对于碳化硅涂层的制备方法,目前有凝胶

-溶胶法、包埋法、刷涂法、等离子喷涂法、化学气相

反应法(

CVR)和化学气相沉积法(

CVD)等多种方法。SiC 涂层石墨基底作为化合物半导体产业设备的关键组成部分,

掌握其生产制造的核心技术并实现国产化,将对我国半导体产业发展具有重要战略意义。

综上,根据《国民经济行业类别(

2017)》,本项目行业类别为 C3985 电子专用材料制造-碳化硅衬底材料;对照《建

设项目环境影响评价分类管理名录(

2021 年版)》,本项目属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 39”中“电

子元件及电子专用材料制造

398”中“印刷电路板制造;电子专用材料制造(电子化工材料制造除外);使用有机溶剂的;

有酸洗的

--以上均不含仅分割、焊接、组装的”,应编制环境影响报告表。

2)排污许可管理类别判定

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— 19 —

对照《固定污染源排污许可分类管理名录(

2019 年版)》,本项目属于“三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业

39”,项目类别为“电子元件及电子专业材料制造 398”,根据该类别管理要求,目前企业尚未纳入重点管理单位名录,故排

污许可证按照登记管理。

1-8 固定污染源排污许可管理类别判定表

管理类别

项目类别

重点管理

简化管理

登记管理

三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业

39

计算机制造

391,电子器件制造 397,电子元件

及电子专用材料制造

398,其他电子设备制造

399

纳入重点排污单位名录

除重点管理以外的年使用

10 吨及以上溶剂型涂

料(含稀释剂)的

其他

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— 20 —

二、建设项目工程分析

2.1 建设内容

2.1.1 项目概况

浙江华熔科技股份有限公司(以下简称

“华熔科技”)成立于 2019 年 4 月,致力

于石墨制品的研发、生产和经营,是一家以碳、石墨为基材做复核材料的高新技术

企业。截止目前,公司先后荣获国家专精特新小巨人、国家高新技术企业、省高新

技术企业研究开发中心、市企业技术中心、市知识产权示范企业等荣誉资质;同时

和浙江大学、浙江工业大学建立产学研合作,建立了良好的技术联盟环境,截止目

前公司已授权发明专利

12 项、实用新型专利 18 项、外观专利 1 件、软件著作 2 件

等。

2024 年公司实现总产值 3.5 亿,工业增加值 9.1 亿元、税收 1500 万元。

公司原厂址位于长兴县煤山镇南太湖青年科技创业园(简称

“青创园厂区”),

青创园厂区用于实施年产燃料电池石墨双极板

100 吨建设项目;2023 年 1 月扩建新

增两个厂区,分别为长兴山洲科技有限公司的厂区(简称

“山洲厂区”)和浙江铁狮

高温材料有限公司的厂区(简称

“铁狮厂区”),其中山洲厂区用于实施年产光伏及

燃料电池核心零部件

10 万套建设项目,铁狮厂区用于实施超薄大面积燃料电池核

心零部件建设项目。

2023 年 8 月,为了发展需要,企业在长兴县煤山镇氢能产业园

(简称

“氢能产业园厂区”)新增土地建造厂房及辅助用房实施项目整体搬迁(原三

个厂区的设备均搬迁至氢能产业园厂区并停产),总投资

5 亿元,实施新能源及半

导体用炭复合材料及关键元器件项目,氢能产业园厂区项目已于

2024 年 3 月通过

自主验收。

为了促进企业的可持续发展,适应市场需求,提高公司的产品竞争力,华熔科

技计划总投资

4400 万元实施半导体关键元器件项目,租赁煤山镇南太湖青年科技

创业园厂房

4600 平方米(位于长兴经济开发区绿色制造产业园(新型材料产业园-

中部主园区)),购置纯化炉、化学气相沉积炉等生产及辅助设备,形成年产碳化

硅涂层石墨盘

3600 片的生产能力(项目代码:2411-33*开通会员可解锁*-507113)。

2.1.2 项目组成

本项目工程组成见表

2.1-1。

2.1-1

项目工程组成

类别

主项名称

建设内容

主体工程

碳化硅涂层石墨盘

租用

4 号楼(共 4 层),项目主要利用 1 楼进行生产,北侧布

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— 21 —

生产

3 套纯化炉、4 套 VCD 气相沉积炉,南侧布置清洗区、检

测区、包装区、原料仓库、成品仓库和办公区,其中检测区、

包装区为十万级无尘室。

公用及辅

助工程

供电系统

由园区统一供电。

给水系统

项目给水由开发区供水管网供给,此管线为生产、生活水合流

管线,界区接管点处压力

P=0.3Mpa,管径 DN200,采用焊接

钢管。

纯水系统

项目石墨盘需采用纯水进行清洗,年用量

200t/a,设置 1 套纯

水机(

0.25t/h),纯水制备工艺为树脂交换+一级 RO,得水率

65%。

循环冷却系统

设置一座逆流闭式冷却塔,流量

150m³/h。

排水系统

①生活污水经化粪池预处理后排入市政污水管网。

②石墨盘超声波清洗废水、地面拖地水、废气喷淋废液及循环

冷却系统排污水送预处理设施(低温蒸发器)处理后清水回用

于废气喷淋补充用水,浓缩液作为危废委托处置。

暖通系统

本项目检测区、包装区要求为十万级无尘室,故采用集中式全

空气系统,洁净室温度控制在

25℃,相对湿度在 45%,净化

空调的末端设置高效空气过滤送风口。

项目生产设备均采用电供热,生产过程不使用蒸汽,不涉及锅

炉。

实验室

原料、半成品、产品的检测:包含厚度检测、粗糙度监测、平

面度检测等。

环保工程

废气

4 台 CVD 炉正常运行时的沉积废气直接经管道送至各设备

自带的冷凝管

+过滤罐+二级碱液喷淋塔(每级喷淋塔均为 3 层

旋流板)处理后统一通过

17m 的排气筒(DA001)高空排放。

CVD 炉开停炉废气及过滤罐定期更换石墨毡产生的废气经

集气罩收集后送车间级废气处理系统(一级干式过滤

+二级碱

液喷淋塔)(每级喷淋塔均为

2 层填料式塔)处理后通过 17m

的排气筒(

DA001)高空排放。

3 台纯化炉废气分别经设备自带的 1 级过滤罐后送新建的二

级碱液喷淋塔(每级喷淋塔均为

2 层填料式塔)处理后统一通

17m 的排气筒(DA002)高空排放。

废水

①依托园区已建排水系统,厂区实行雨污分流,厂区雨水通过

管道排入周边道路市政雨水管网。

②生活污水经化粪池预处理后排入市政污水管网。

③纯水制备浓水回用于废气喷淋系统补充用水;石墨盘超声波

清洗废水、地面拖地水、废气喷淋废液及循环冷却系统排污水

送预处理设施(低温蒸发器)处理后清水回用于废气喷淋补充

用水,浓缩液作为危废委托处置。

固废

设置

1 个一般固废暂存库(10m2)和 1 个危废暂存库(10m2),

暂存库按相关规范要求进行设置;同时生产废水浓缩液、废碱

液采用吨桶暂存,暂存周期为一周。

2.1.3 产品方案

项目产品方案见表

2.1-2。

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— 22 —

2.1-2

项目产品方案一览表

产品名称

年产量

用途

规格

碳化硅涂层石墨盘

3600 片

LED 外延托盘

石墨盘直径为

Φ465mm~716mm,本

次评价按平均

Φ650mm 计;石墨盘厚

度平均约

2.5cm。

涂层前石墨盘

涂层后石墨盘

2.1.4 原辅材料消耗

1、原辅料消耗量

项目主要原辅材料消耗见表

2.1-3。

(涉密删除)

2.1.5 主要设备清单

本项目主要设备见表

2.1-5。

2.1-5

本项目设备清单

设备名称

型号

/规格

数量

(台

/套)

所处位置

用途

1

化学气相沉积炉

CVD)

8500mm*11000mm*6300mm

4

4 号楼 1 楼

碳化硅沉积,

2 用 2

2

纯化炉

CHL-2400-1300

8250mm*5684mm*6933mm)

3

4 号楼 1 楼

纯化处理石墨盘,

1

2 备

3

气体过滤装置

氢气、氩气、氮气各

1 个

3

特气房

过滤得高纯气体

4

二次配特气装置

/

1

特气房

气路连接和尾气处

5

滤芯处理通风室

2 门

1

4 号楼 1 楼

清洗滤材

6

超声清洗机

3 连槽,单槽 1.44m³

1

4 号楼 1 楼

清洗区

石墨盘清洗

7

烘箱

1400mm*1000mm*1800mm

1

4 号楼 1 楼

清洗区

石墨盘烘干

8

纯水制备系统

0.25t/h

1

4 号楼 1 楼

清洗区

9

检测设备

厚度仪、粗糙度仪、三坐标测量

若干

4 号楼 1 楼

产品检测(粗糙度监

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 23 —

机器等

检测室

测、平面度检测、厚

度检测等)

10

闭式冷却塔

150m³/h

1 台

4 号楼 1 楼

纯化炉和

CVD 炉冷

11

真空泵组

四级无油真空泵,

150L/s~1000L/s

4 套

4 号楼 1 楼

CVD 炉配套

12

四级无油真空泵,

15L/s~17000L/s

3 套

4 号楼 1 楼

纯化炉配套

13

空压机

OS150-37

1 套

2 楼

供气

注:根据企业提供资料及配套变压器负荷,项目最多可同时运行

2 台 CVD 炉进行沉积,且 3

台纯化炉不可以同时运行(错峰生产)。

项目生产设备产能匹配性分析:

本项目真空发热炉属于

CVD 炉,属于本项目生产的主体设备(控制产能关键

设备)。根据企业提供资料,本项目

CVD 炉装料卸料约 4h,初始加热升温约 6h,

沉积反应约

24h、自然冷却约 10h,过滤罐更换、设备清理维护时间约 4h,整个流

程生产时间为

48h,故每个 CVD 炉约两天生产一个批次。项目年工作时间为 300

天,

故每个

CVD 炉可生产 150 个批次,项目主体生产设备产能匹配性分析见表 2.1-6。

由表可见,本项目生产设备可满足产能要求。

2.1-6

项目

CVD 炉产能匹配性分析

产品种类

CVD 炉

数量(台)

每批次产品(片)

每炉时长

h

年生产

批次

年设计生产能

力(片)

拟加工产能

(片)

设备利用率

碳化硅涂层石墨盘

4(2 用 2

备)

14

48

300

4200

4000

95.24%

注:根据企业提供资料,项目产品合格率约

90%,项目合格产品产能为 3600 片/a,则拟加工石

墨盘数量为

4000 片/a。

2.1.6 劳动定员

项目总定员

30 人,采用三班制,每班 8h,全年生产天数约 300 天,无食堂、

无宿舍。

2.1.7 总平面布置

企业租用

4 号楼(共 4 层)进行生产,本次项目主要利用 1 楼进行生产,1 楼

车间内北侧区域从西到东依次布置

4 套 CVD 炉、3 套纯化炉,1 楼车间内南侧区域

从西到东依次布置清洗及烘干区、展厅及办公区、检测室、包装区、原料及辅料暂

存区、成品仓库、一般固废仓库和危废贮存库,

1 楼车间的东侧为特气房、配电房。

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 24 —

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 25 —

2.2 工艺流程和产排污环节2.2.1 工艺流程

(涉密删除)

2.2.2 产排污环节

本项目产污环节汇总情况详见表

2.2-2。

(涉密删除)

2.2.3 物料及水平衡2.2.3.1 敏感物料平衡

(涉密删除)

2.2.3.2 水平衡

(涉密删除)

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 26 —

2.3 与项目有关的原有环境污染问题2.3.1 原有项目概况

1、项目基本情况

浙江华熔科技有限公司成立于

2019 年 4 月,原厂址位于长兴县煤山镇南太湖青

年科技创业园(简称青创园厂区),青创园厂区用于实施年产燃料电池石墨双极板

100 吨建设项目,企业于 2023 年 1 月扩建新增两个厂区,分别为长兴山洲科技有限

公司的厂区(简称山洲厂区)和浙江铁狮高温材料有限公司的厂区(简称铁狮厂区)。

其中山洲厂区用于实施年产光伏及燃料电池核心零部件

10 万套建设项目,铁狮厂区

用于实施超薄大面积燃料电池核心零部件建设项目。

2023 年 8 月,企业在长兴县煤山镇氢能产业园(简称氢能产业园厂区)新增土

地建造厂房及辅助用房实施项目整体搬迁,目前该项目已完成建设并自主验收,企业

原三个厂区的设备均搬迁至氢能产业园厂区,且原厂址不再进行生产。企业现有项目

环保审批及验收情况详见表

2.3-1。

2.3-1 公司现有项目环保审批情况

厂区 项目名称 厂区地址

环评批复

竣工验收情况

审批产品

目前生产情况 排污许可手续

青创园厂

年产燃料电池石墨

双极板

100

吨建设项

长兴县煤山镇南太湖青年科技创业园

长环管

[2019]150

2021 年通过项目

竣工环保设施自

主验收

年产

100 吨燃

料电池石墨

双极板

搬迁至氢能产业园厂区并不

再进行生产

/

铁狮厂区

华熔科技超薄大面积燃料电池核心零部件建设

项目

长兴县煤山镇工业

园区

湖长环建

[2023]19 号

2023 年通过项目

竣工环保设施自

主验收

年产

1000 万

片超薄大面积燃料电池

核心零部

搬迁至氢能产业园厂区并不

再进行生产

山洲厂区

年产光伏及燃料电池核心零

部件

10 万

套建设项

长兴县煤山镇白岘访贤工业

园区

年产

10 万套

光伏及燃料

电池核心

搬迁至氢能产业园厂区并不

再进行生产

氢能产业园厂

新能源及半导体用炭复合材料及关键元器件项

氢能产业

园厂区

湖长环建

2023〕169

2024 年通过项目

竣工环保设施自

主验收

年产燃料电池石墨双板

875 吨、光伏

及燃料电池核心零部件

3.5 万套和半

导体元器件

1

万件

正常生产

91330522MA2B6DYH4A0

01Y

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 27 —

2.3-1 现有厂区和拟建项目厂区的位置关系示意图

2、产品方案

企业原有项目产品方案如下:

2.3-2 企业原有产品方案

产品名称

审批生产规模

2024 年产能

燃料电池石墨双极板

875t/a

378.5 吨

光伏及燃料电池核心零部件

3.5 万套/a(折 1500t/a)

1.7 万套(折 730.2t/a)

半导体元器件

1 万件/a(折 120t/a)

0.25 万件(折 30.0/a)

3、主要原辅材料

企业原有项目主要原辅料如下:

2.3-3 企业原有项目原辅材料一览表(单位:t/a)

序号

原辅材料名称

原审批用量(

t/a)

2024 年消耗量

t/a)

备注

燃料电池石墨双极板

1

人造石墨

3500

1550.1

/

2

环氧树脂(

25kg/桶)

150

69.6

/

3

固化剂(

25kg/桶)

150

69.6

/

光伏及燃料电池核心零部件

4

人造石墨

3000

1400

/

半导体元器件

5

人造石墨

200

50

/

其他消耗

6

机油

4

0

2024 年暂未更换

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 28 —

7

12038.4

10500

8

3023.4 万度/a

1035.376 万度/a

实验室

9

环氧树脂(

25kg/桶)

/

0.2

10

固化剂(

25kg/桶)

/

0.2

注:①环氧树脂:双酚

A 型环氧树脂,化学式为(C15H16O2C3H5ClO)x;双酚 F 型环氧树脂,

化学式为(

C6H5OCH2O)x,不溶于水,沸点>245℃;②固化剂:甲基四氢苯酐,化学式为

C9H10O3,分子量为 166.17,沸点为 295.3℃。

4、主要设备

现有企业主要生产设备见表

2.3-4。由表可知,除锯片设备外,其它设备数量和

验收数量一致;根据企业提供资料,为了节能降耗,因此对锯片设备进行了提升,按

设备设计参数(见表

2.3-5),变更后的切片设备与产能基本匹配。

2.3-4 企业原有项目设备清单

序号 生产设施名称

设施型号

单位 验收数量

现有实际

数量

变化情况

备注

产品:燃料电池石墨双极板

1

加工中心

JDLPC16E-DZA6/SMD9054 台

199

199

0

2

砂磨机

SQ350-JS

9

9

0

3

锯片机

V-3060NC

10

0

-10

4

多片锯片机

3060

0

1

+1

5

锯片机

85230

1

1

0

6 两级水环真空泵

2SK-12

3

3

0

7

六轴由度工业机

器人

BRTIRPZ1510A

1

1

0

8

烘箱

JY-HJ-3005

32

32

0

9

改性设备(浸渍、

烘干)

非标

1

1

0

10

铣床

JGS-4M

2

2

0

11

推板式送料机

T-600

81

81

0

12

锯片机

30230

7

0

-7

13

锯片机

30180

7

0

-7

14

多片锯片机

50140

0

1

+1

15

多片切片机

定制

0

10

+10

16

锯片机

HX6060L

15

15

0

17

石墨改性罐

定制

18

18

0

18

真空泵

机械类

15

15

0

19

空压机

MN37-8VSD

19

19

0

20

加工中心

JDLPC20E-DZ-20E

8

8

0

21

磨床

JGS-818A

7

7

0

22

磨床

MT1040

4

4

0

23

磨床

KGS-306AH

1

1

0

24

砂磨机

SG630-1

1

1

0

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 29 —

产品:光伏及燃料电池核心零部件

25

锯片机

V-30140NC

13

0

-13

26

多片锯片机

30230

0

4

+4

27

锯片机

30240

8

4

-4

28

锯片机

15250

1

1

0

29

锯片机

50180

2

1

-1

30

锯片机

3060

0

8

+8

31

多片分切机

定制

15

9

-6

32

数控

CNC

Sign200E-DZ-A10

3

3

0

33

数控

CNC

PC1326

5

5

0

34

数控

CNC

B2605

4

4

0

35

数控

CNC

M1326

1

1

0

36

锯片机

3980

2

0

-2

37

多片锯片机

30180

0

10

+10

38

数控

CNC

LGM-1326

12

12

0

产品:半导体元器件

39

加工中心

LG-1080

1

1

0

40

加工中心

HGM-2030

1

1

0

41

加工中心

JDLVG400A8

1

1

0

42

加工中心

LGM

5

5

0

43

磨床

KGS-250AH

27

27

0

44

数控机床

CK0640

81

81

0

45

磨床

MT1040A

4

4

0

46

圆棒机

/

4

4

0

47

数控钻床

定制

2

2

0

48

锯片机

30260

2

2

0

49

多片锯片机

75240

2

1

-1

2.3-5 现有项目主要设备和产能匹配性情况一览表

产品

关键设备

单台设备

产能(

t/d)

年运行

时间(

d)

设备数量

(台)

最大产

能(

t/a)

设计产

能(

t/a)

负荷率

燃 料电 池 石

墨 双极 板

锯片机

0.075

300

16

900

875

97.2%

多 片切 片

/锯片机

0.15

300

12

光 伏及 燃 料电 池核 心 零

部 件

锯片机

0.15

300

6

1665

1500

90.1%

多 片切 片

/锯片机

0.15

300

31

半 导体 元 器

锯片机

0.11

300

2

132

120

90.1%

多 片切 片

/锯片机

0.22

300

1

5、生产组织和劳动定员

现有企业劳动定员

400 人,其中切片加工车间年运行 300 天,采用 8 小时工作制

生产,其余车间年运行

300 天,实行两班制生产,每班工作 12h。

6、生产工艺流程及产污节点

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— 30 —

现有项目从事生产的

3 类产品,分别为:燃料电池石墨双极板、光伏及燃料电池

核心零部件、半导体元器件,具体生产工艺流程如下。

1)燃料电池石墨双极板

2.3-1 燃料电池石墨双极板生产工艺流程图

工艺流程简介:

切片:人造石墨(规格

1.2m×1.2m×0.3m)在锯床上按照规定的尺寸进行切片,

得到石墨切片(

100mm×300mm×2mm 规格为主)。

树脂调配、浸渍:石墨浸渍采用环氧树脂,环氧树脂、固化剂在供应罐内混合,

采用集中供应输送给浸渍炉。将石墨切片装入网笼内放入密闭的浸渍罐,用真空泵抽

真空约

1h,然后打开输液阀,环氧树脂进入浸渍罐,在常温常压下浸渍约 5h,结束

后将环氧树脂输入另一个浸渍罐,打开罐取出石墨切片。每套浸渍炉有

2 个浸渍罐交

替使用。环氧树脂使用一段时间进行更换,利用率约

50%,更换的废环氧树脂作为

危险废物。浸渍罐不需要清洗。

固化:浸渍完成后的石墨切片,放入烘箱内加热固化(电加热),温度控制为

110℃加热 1 小时,温度控制为 170℃加热 4 小时,冷却 2-3h 后取出。本项目浸渍、

固化工艺的原理为将环氧树脂均匀的填充到石墨电极微孔中,

在经过固化使得石墨电

极的导电性和耐腐蚀性得到提升。

精加工:根据客户图纸要求,对石墨切片进行

CNC 加工,成品为特定形状的石

墨极板。

检验:石墨产品进行人工检验,最后合格产品即为成品。

2)光伏及燃料电池核心零部件

2.3-2 光伏及燃料电池核心零部件生产工艺流程图

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 31 —

工艺流程简介:

切片:外购人造石墨(规格

1.2m×1.2m×0.3m)在锯片机上按照规定尺寸进行

切片(

1480mm×450mm×260mm 规格为主)。

精加工:根据客户图纸要求,石墨切片通过数控

CNC、加工中心和研磨机进行

精加工,成品为特定形状的石墨产品。石墨产品进行人工检验,最后合格产品进行

包装待售。

检验:石墨产品进行人工检验,最后合格产品即为成品。

3)半导体元器件

2.3-3 半导体元器件生产工艺流程图

切片:外购高品质、高性能人造石墨(规格

1.2m×0.5m×0.3m)在锯片机

上按照规定尺寸进行切片(

100mm×300mm×10mm 规格为主)。

精加工:根据客户图纸要求,石墨切片通过数控

CNC、加工中心和干式

研磨机进行精加工。

检验:石墨产品进行人工检验,最后合格产品即为成品。

7、原有项目产排污情况

2.3-6 产排污情况

类别

名称

污染源

产污环节

主要污染因子

废气

切片粉尘

生产车间

切片

颗粒物

精加工粉尘

生产车间

精加工

颗粒物

浸渍、固化废气

生产车间

浸渍、固化

非甲烷总烃、臭气浓度

废水

生活污水

办公和生活

员工办公、生活

CODCr、NH3-N 等

固废

原材料包装固废

生产车间

原材料包装

原材料包装

边角料

生产车间

切片、精加工

边角料

收集的粉尘

生产车间

切片、精加工

收集的粉尘

次品

生产车间

检验

次品

废滤筒

生产车间

废气处理

废滤筒

废活性炭

生产车间

废气处理

废活性炭

废原料桶

生产车间

浸渍、固化

废原料桶

废油抹布及劳保用品

生产车间

设备运行

含油抹布、劳保用品

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 32 —

废机油

生产车间

设备保养

废机油

废机油桶

生产车间

设备保养

废机油桶

废环氧树脂

生产车间

浸渍

废环氧树脂

废过滤棉

生产车间

废气处理

废过滤棉

生活垃圾

办公室等

员工办公、生活

废纸、废塑料袋等

噪声

设备运行噪声

生产车间

设备

/

8、原有项目污染源强

根据企业环评、验收资料、日常监测数据及固废台帐资料,原有工程污染物排

放量核算见表

2.3-7。

2.3-7 原有项目污染源强汇总 单位:t/a

项目

内容

2024 年实际排放量 现有工程达产排放量

排放去向

废水

废水量

10200

10200

经化粪池处理达标后

纳管

CODcr

0.408

0.408

氨氮

0.02

0.02

废气

非甲烷总烃

0.401

0.823

经收集处理后高空排

颗粒物

2.190

4.760

固废

(产生量)

一般固废

1855.0

4203.01

综合利用

废环氧树脂

92.46

150

委托湖州明境环保科

技有限公司处置

废包装桶

6.84

24

实验室废液

2.33

2.5

废活性炭

8.22

11.7

废过滤棉

0

1.2

废机油

0

0.80

废油桶

0

0.20

含油抹布及劳

保用品

0

1.0

生活垃圾

120

120

环卫部门统一清运

2.3.2 原有项目达标排放情况2.3.2.1 废水治理设施及达标情况

1)废水治理设施

现有工程排水实施雨污分流、清污分流。现有工程不涉及生产废水排放,生活污

水经预处理(厕所废水经化粪池,食堂废水经隔油池)后纳管至长兴建投环保科技有

限公司污水处理站处理后达标排放。

2)废水达标分析

为了解企业现有工程废水处理设施排放情况,本次环评收集了企业

2024 年的验

收监测数据,具体结果如下表。根据湖州协成检测科技有限公司出具的监测报告(编

XHY24-03-003)可知,浙江华熔科技有限公司的生活污水排放口废水 pH 值、化

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 33 —

学需氧量、悬浮物、石油类、五日生化需氧量排放浓度符合《污水综合排放标准》

GB8978-1996)及修改单表 4 中的三级标准,氨氮、总磷排放浓度符合《工业企业

废水氮、磷污染物间接排放限值》(

DB33/887-2013)表 1 其它企业标准。

2.3-8 生活污水排放口废水监测结果

采样时间

*开通会员可解锁*

*开通会员可解锁*

样品编号

2403003S

-1-1-1

2403003S

-1-1-2

2403003S

-1-1-3

2403003S

-1-1-4

2403003S

-2-1-1

2403003S

-2-1-2

2403003S

-2-1-3

2403003S

-2-1-4

样品性状

水样微浑,浅黄

水样微浑,浅黄

pH 值(无

量纲)

7.5

7.5

7.5

7.6

7.5

7.5

7.6

7.6

化学需氧

224

207

203

211

236

251

232

249

氨氮

6.11

6.40

5.79

5.89

6.42

6.71

6.77

6.26

总磷

1.30

1.26

1.36

1.33

1.36

1. 41

1.35

1.43

悬浮物

89

80

92

77

75

90

95

88

五日生化

需氧量

77.7

74.1

74.5

70.7

78.2

80.8

75.8

78.8

石油类

0.64

0.78

0.78

0.52

1.05

0.50

0.98

0.63

2.3.2.2 废气治理设施及达标情况

1)废气治理设施

企业现有工程废气治理设施具体见表

2.3-9。

2.3-9

现有工程废气治理设施情况一览表

废气类别

排气筒

编号

废气处理工艺

排气筒高

m

设计风量

m3/h)

备注

切片及机加工粉尘

DA001

脉冲布袋除尘器

23

46000

DA002

脉冲滤筒除尘器

23

22000

较环评及验收,新增排

气筒

DA003

脉冲滤筒除尘器

23

45000

DA004

脉冲滤筒除尘器

23

50000

较环评及验收,新增排

气筒

DA005

脉冲滤筒除尘器

23

55000

DA006

脉冲滤筒除尘器

25

74000

DA007

脉冲滤筒除尘器

25

66000

DA008

脉冲滤筒除尘器

23

50000

DA009

脉冲滤筒除尘器

25

5000

浸渍固化有机废气

DA010

密闭式负压收集后送风

+干式过滤+二级活

性炭吸附装置

25

30000

注 : ①根 据 《浙 江 华 熔 科 技有 限 公 司 新 能源 及 半 导 体 用炭 复 合 材 料 及关 键 元 器 件 项目环 境 影响 报 告 表 》,项 目 粉尘 污 染 物 相 关废 气 处 理 设 施

7 套,排气筒 7 个(一般排放口),

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 34 —

风 量 合计

343000m3/h;验收后企业根据切片设备的数量和位置,新增两套脉冲滤筒除尘

器及

2 个排气筒(一般排放口),设计风量合计 413000m3/h(预留远期发展需要),现有

工 程 满负 荷 运 行 风 量

343000m3/h;②根据《浙江华熔科技有限公司新能源及半导体用

炭 复 合材 料 及 关 键 元器 件 项 目 环 境影 响 报 告 表 》,项 目 有机 废 气 污 染 物废 气 处 理 设 施

1

套 , 排气 筒

1 个(一般排放口),风量合计 15000m3/h;实际企业废气设施设计风量

30000m3/h;③参照《污染影响类建设项目重大变动清单(试行)》,项目未新增废气主 要 排放 口 , 且 污 染物 种 类 及 排 放量 均 未 增 加 ,故 此 变 化 不 属于 重 大 变 化 。

2)废气达标分析

①有组织废气

为了解企业现有工程废气处理设施排放情况,本次环评收集了企业

2025 年的监

测数据及验收检测数据,具体结果如下表。由表可知,浙江华熔科技有限公司切片及

机加工处理设施出口

DA001~DA009 废气颗粒物排放符合《大气污染物综合排放标

准》(

GB16297-1996)表 2 中新污染源规定的二级标准限值。浸渍固化废气处理设

施出口

DA010 废气臭气浓度(无量纲)、非甲烷总烃排放符合《工业涂装工序大气

污染物排放标准》(

DB33/2146-2018)表 1 中大气污染物排放限值。

2.3-10

有组织废气检测结果一

采样点位

切割机床及机器处理脉冲式滤筒除尘排放口

DA001

采样日期

2025.05.22

检测频次

第一次

第二次

第三次

平均值

达标情况

烟气参数

烟气温度(

℃)

38.5

38.9

38.0

/

/

烟气流速(

m/s)

9.0

9.6

9.9

/

/

水分含量(

%)

2.88

2.93

2.85

/

/

烟气流量(

m³/h)

25447

27143

27992

/

/

标干流量(

m³/h)

21357

22749

23537

22548

/

颗粒

样品浓度

(mg/m³)

2.1

1.1

2.3

1.8

达标

排放速率

(kg/h)

0.045

0.025

0.054

0.041

达标

2.3-11

有组织废气检测结果二

采样点位

切割机床及机器处理脉冲式滤筒除尘排放口

DA002

采样日期

2025.05.22

检测频次

第一次

第二次

第三次

平均值

达标情况

烟气参数

烟气温度(

℃)

42.6

42.9

43.2

/

/

烟气流速(

m/s)

3.3

3.3

3.7

/

/

水分含量(

%)

3.02

3.08

3.05

/

/

烟气流量(

m³/h)

13436

13436

15065

/

/

标干流量(

m³/h)

11104

11076

12479

11553

/

颗粒

样品浓度

(mg/m³)

2.9

3.7

1.5

2.7

达标

排放速率

(kg/h)

0.032

0.041

0.019

0.031

达标

2.3-12

有组织废气检测结果三

采样点位

切割机床及机器处理布袋除尘排放口

DA003

采样日期

2025.05.22

检测频次

第一次

第二次

第三次

平均值

达标情况

烟气

烟气温度(

℃)

38.0

39.0

41.0

/

/

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 35 —

参数 烟气流速(

m/s)

5.63

5.95

5.86

/

/

水分含量(

%)

2.80

2.90

2.80

/

/

烟气流量(

m³/h)

26886

28435

28024

/

/

标干流量(

m³/h)

22858

24091

23616

23522

/

颗粒

样品浓度

(mg/m³)

3.2

5.4

4.0

4.2

达标

排放速率

(kg/h)

0.073

0.13

0.094

0.099

达标

2.3-13

有组织废气检测结果四

采样点位

切割机床及机器处理脉冲式滤筒除尘排放口

DA004

采样日期

2025.05.20

检测频次

第一次

第二次

第三次

平均值

达标情况

烟气参数

烟气温度(

℃)

30.2

30.4

30.6

/

/

烟气流速(

m/s)

8.9

8.7

8.7

/

/

水分含量(

%)

3.12

3.11

3.09

/

/

烟气流量(

m³/h)

20383

19925

19925

/

/

标干流量(

m³/h)

17444

17038

17036

17173

/

颗粒

样品浓度

(mg/m³)

47.1

44.4

42.5

44.7

达标

排放速率

(kg/h)

0.82

0.76

0.72

0.77

达标

2.3-14

有组织废气检测结果五

采样点位

切割机床及机器处理脉冲式滤筒除尘排放口

DA005

采样日期

2025.05.20

检测频次

第一次

第二次

第三次

平均值

达标情况

烟气参数

烟气温度(

℃)

27.6

27.8

27.4

/

/

烟气流速(

m/s)

11.8

11.8

11.1

/

/

水分含量(

%)

3.25

3.23

3.26

/

/

烟气流量(

m³/h)

48044

48044

45194

/

/

标干流量(

m³/h)

41740

41711

39331

40927

/

颗粒

样品浓度

(mg/m³)

42.4

47.5

34.3

41.4

达标

排放速率

(kg/h)

1.8

2.0

1.3

1.7

采样日期

2024.3.11

检测频次

第一次

第二次

第三次

平均值

达标情况

烟气参数

烟气流速(

m/s)

11.3

11.2

11.2

/

/

温度(℃)

37

38

37

/

/

标干流量(

m³/h)

27500

27200

27200

27300

/

颗粒

样品浓度

(mg/m³)

8.1

8.5

8.4

8.3

达标

排放速率

(kg/h)

0.223

0.231

0.228

0.227

/

采样日期

2024.3.13

检测频次

第一次

第二次

第三次

平均值

达标情况

烟气参数

烟气流速(

m/s)

11.3

11.2

11.2

/

/

温度(℃)

34

33

34

/

/

标干流量(

m³/h)

27900

27800

27500

27700

/

颗粒

样品浓度

(mg/m³)

7.5

8.3

7.8

7.9

达标

排放速率

(kg/h)

0.209

0.231

0.214

0.218

/

2.3-15

有组织废气检测结果六

采样点位

切割机床及机器处理脉冲式滤筒除尘排放口

DA006

采样日期

2025.05.20

检测频次

第一次

第二次

第三次

平均值

达标情况

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 36 —

烟气参数

烟气温度(

℃)

36.8

37.3

36.9

/

/

烟气流速(

m/s)

9.5

8.1

8.7

/

/

水分含量(

%)

3.27

3.31

3.25

/

/

烟气流量(

m³/h)

60436

51530

55347

/

/

标干流量(

m³/h)

50640

43119

46389

46716

/

颗粒

样品浓度

(mg/m³)

1.4

1.7

1.1

1.4

达标

排放速率

(kg/h)

0.071

0.073

0.051

0.065

达标

2.3-16 有组织废气检测结果七

采样点位

切割机床及机器处理脉冲式滤筒除尘排放口

DA007

采样日期

2025.05.20

检测频次

第一次

第二次

第三次

平均值

达标情况

烟气参数

烟气温度(

℃)

39.1

39.5

39.0

/

/

烟气流速(

m/s)

10.8

9.5

10.0

/

/

水分含量(

%)

3.34

3.30

3.20

/

/

烟气流量(

m³/h)

30536

26861

28274

/

/

标干流量(

m³/h)

25390

22304

23528

23741

/

颗粒

样品浓度

(mg/m³)

1.6

1.4

1.4

1.5

达标

排放速率

(kg/h)

0.041

0.031

0.033

0.035

达标

2.3-17

有组织废气检测结果八

采样点位

切割机床及机器处理脉冲式滤筒除尘排放口

DA008

采样日期

2024.3.11

检测频次

第一次

第二次

第三次

平均值

达标情况

烟气参数

烟气流速(

m/s)

10.6

10.3

10.3

/

温度(℃)

34

34

34

/

标干流量(

m³/h)

37700

38500

41100

39100

/

颗粒

样品浓度

(mg/m³)

11.8

11.3

11.1

11.4

达标

排放速率

(kg/h)

0.445

0.435

0.456

0.445

/

采样日期

2024.3.13

检测频次

第一次

第二次

第三次

平均值

达标情况

烟气参数

烟气流速(

m/s)

10.8

10.7

10.7

/

温度(℃)

33

333

33

/

标干流量(

m³/h)

38500

38300

38300

38400

/

颗粒

样品浓度

(mg/m³)

11.4

10.7

12.0

11.4

达标

排放速率

(kg/h)

0.439

0.410

0.460

0.436

/

2.3-18

有组织废气检测结果九

采样点位

切割机床及机器处理脉冲式滤筒除尘排放口

DA009

采样日期

2025.05.22

检测频次

第一次

第二次

第三次

平均值

达标情况

烟气参数

烟气温度(

℃)

36.0

37.0

39.0

/

/

烟气流速(

m/s)

5.18

5.41

5.07

/

/

水分含量(

%)

4.20

4.30

4.40

/

/

烟气流量(

m³/h)

3658

3825

3586

/

/

标干流量(

m³/h)

3082

3214

2998

3098

/

颗粒

样品浓度

(mg/m³)

3.1

3.7

2.4

3.1

达标

排放速率

(kg/h)

9.6×10-3

0.012

7.2×10-3

9.6×10-3

达标

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 37 —

2.3-19

有组织废气检测结果十

采样点位

浸渍、固化处理风冷

+干湿过滤+二级活性炭吸附处理排放口 DA010

采样日期

2025.05.22

检测频次

第一次

第二次

第三次

平均值

达标情况

烟气参数

烟气温度(

℃)

37.2

37.2

37.0

/

/

烟气流速(

m/s)

8.2

8.1

8.1

/

/

水分含量(

%)

2.67

2.65

2.60

/

/

烟气流量(

m³/h)

28053

27711

27711

/

/

标干流量(

m³/h)

23677

23391

23416

23495

/

非甲烷总

样品浓度

(mg/m³)

3.09

2.60

1.96

2.55

达标

排放速率

(kg/h)

0.073

0.061

0.046

0.060

/

检测频次

第一次

第二次

第三次

最大值

达标情况

恶臭

臭气浓度(

℃)

229

229

269

269

达标

2、无组织废气

为了解企业现有工程厂界无组织废气排放情况,本次环评收集了企业

2024 年的

验收监测数据,具体结果如下表。根据湖州协成检测科技有限公司出具的监测报告编

号为

“XHY24-03-003”可知,浙江华熔科技有限公司厂界下风向一、厂界下风向二、

厂界下风向三无组织废气颗粒物浓度最大值符合《大气污染物综合排放标准》

GB16297-1996)表 2 中的新污染源大气污染物规定的限值;非甲烷总烃、臭气浓

度(无量纲)排放符合《工业涂装工序大气污染物排放标准》(

DB33/2146-2018)表

6 中企业边界大气污染物浓度限值。该公司厂区内车间门外 1 米处无组织废气非甲烷

总烃小时浓度符合《挥发性有机物无组织排放控制标准》(

GB 37822-2019)表 A.1

中规定的限值。

2.3-20

无组织废气检测结果一

检测点号

检测点位

采样日期及频次

检测结果

mg/m3)

标准限值

mg/m3)

评价

总悬浮颗粒物

F1

厂界上风向

2024.3.11

第一次

0.181

1.0

符合

第二次

0.187

第三次

0.207

2024.3.13

第一次

0.217

第二次

0.202

第三次

0.182

F2

厂界下风向

2024.3.11

第一次

0.358

第二次

0.360

第三次

0.344

2024.3.13

第一次

0.331

第二次

0.348

第三次

0.379

F3

厂界下风向

2024.3.11

第一次

0.368

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 38 —

第二次

0.339

第三次

0.323

2024.3.13

第一次

0.382

第二次

0.396

第三次

0.339

F4

厂界下风向

2024.3.11

第一次

0.392

第二次

0.378

第三次

0.401

2024.3.13

第一次

0.376

第二次

0.375

第三次

0.328

检测结果(最大值)

0.401

2.3-21

无组织废气检测结果二

检测点

检测点位

采样日期及频次

检测结果

mg/m3)

标准限值

mg/m3)

评价

非甲烷总烃

1h 时均值)

F1

厂界上风向

2024.3.11

第一次

0.41

4.0

符合

第二次

0.45

第三次

0.42

2024.3.13

第一次

0.42

第二次

0.43

第三次

0.43

F2

厂界下风向

2024.3.11

第一次

0.55

第二次

0.53

第三次

0.52

2024.3.13

第一次

0.49

第二次

0.52

第三次

0.52

F3

厂界下风向

2024.3.11

第一次

0.54

第二次

0.52

第三次

0.52

2024.3.13

第一次

0.52

第二次

0.52

第三次

0.55

F4

厂界下风向

2024.3.11

第一次

0.52

第二次

0.49

第三次

0.49

2024.3.13

第一次

0.55

第二次

0.54

第三次

0.54

检测结果(最大值)

0.55

2.3-22

无组织废气检测结果三

检测点

检测点位

采样日期及频次

检测结果

(无量纲)

标准限值

(无量纲)

评价

臭气浓度

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 39 —

F1

厂界上风向

2024.3.11

第一次

10

20

符合

第二次

10

第三次

10

2024.3.13

第一次

10

第二次

10

第三次

10

F2

厂界下风向

2024.3.11

第一次

12

第二次

11

第三次

12

2024.3.13

第一次

12

第二次

13

第三次

14

F3

厂界下风向

2024.3.11

第一次

15

第二次

14

第三次

15

2024.3.13

第一次

15

第二次

14

第三次

16

F4

厂界下风向

2024.3.11

第一次

13

第二次

15

第三次

14

2024.3.13

第一次

13

第二次

16

第三次

15

检测结果(最大值)

16

2.3-23

无组织废气检测结果四

检测点号

检测点位

采样日期及频次

检测结果

mg/m3)

标准限值

mg/m3)

评价

非甲烷总烃

1h 时均值)

F5

车间门口

1

米处

2024.3.11

第一次

0.62

6.0

符合

第二次

0.60

第三次

0.62

2024.3.13

第一次

0.60

第二次

0.57

第三次

0.60

检测结果(最大值)

0.62

2.3.2.3 厂界噪声

本次环评收集了

2024 年 3 月对企业厂界四周噪声的检测数据,具体见下表。根

据湖州协成检测科技有限公司出具的监测报告编号为

“XHY24-03-003”可知,浙江华

熔科技有限公司厂界四周昼夜间噪声排放符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》

GB 12348-2008)表 1 中的 3 类标准限值。

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 40 —

2.3-24

厂界噪声检测结果

检测点号

检测点位

检测时间

主要声源

噪声检测结果

Leq[dB(A)]

Z1

厂界东侧

*开通会员可解锁*

09:19~09:21

工业噪声

53

Z2

厂界南侧

09:28~09:30

工业噪声

54

Z3

厂界西侧

09:41~09:43

工业噪声

52

Z4

厂界北侧

09:52~09:54

工业噪声

54

Z1

厂界东侧

22:07~22:09

工业噪声

49

Z2

厂界南侧

22:17~22:19

工业噪声

50

Z3

厂界西侧

22:26~22:28

工业噪声

50

Z4

厂界北侧

22:37~22:39

工业噪声

50

Z1

厂界东侧

*开通会员可解锁*

10:26~10:28

工业噪声

54

Z2

厂界南侧

10:36~10:38

工业噪声

54

Z3

厂界西侧

10:45~10:47

工业噪声

53

Z4

厂界北侧

10:55~10:57

工业噪声

53

Z1

厂界东侧

22:06~22:08

工业噪声

49

Z2

厂界南侧

22:18~22:20

工业噪声

50

Z3

厂界西侧

22:30~22:32

工业噪声

50

Z4

厂界北侧

22:40~22:42

工业噪声

50

2.3.2.4 固废治理设施

1、一般固废

现有工程设置

1 间一般固废仓库,面积 25m2,位于厂区南侧。

原材料包装由物资公司综合利用;边角料、收集粉尘、次品、废滤筒及废膜等一

般固废由供货厂家回收利用;生活垃圾由环卫部门定期清运。

2、危险废物

现有工程设置

1 间危废暂存间,面积 200m2,位于 2 号厂房 1 楼北侧。

危废仓库门口张贴了危险废物警示标识标牌,并已做好防腐、防渗、防雨

“三防”

措施,防止二次污染,地面采用坚固、防渗、耐腐蚀的材料建造,仓库内各类危废均

分类堆放,并在仓库内悬挂了危险废物管理台账。危险废物经妥善保存后定期委托湖

州明境环保科技有限公司回收后进行无害化安全处理,并严格执行转移联单制度,依

法进行申报登记。

2.3.3 排污许可证情况

对照《固定污染源排污许可分类管理名录(

2019 年版)》,企业属于登记管理

类型,企业已于

2024 年 11 月完成固定污染源排污许可登记变更,登记编号:

91330522MA2B6DYH4A002W。2.3.4 总量控制符合性分析

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 41 —

根据企业排污许可证及环评文件,企业总量控制指标为:非甲烷总烃

0.932t/a、

颗粒物

4.847t/a。现有企业总量控制符合分析见表 2.3-25,由表可知:调查时段内企

业废水污染物和废气污染物排放量均符合总量控制要求;根据

2024 年产排污情况

和对应的产能进行折算,达产时,各污染物排放量符合总量控制要求。

2.3-25 现有企业总量控制符合性分析一览表

单位

排放量

总量指标

总量依据

2024 年

达产时

废水

废水量

m3/a

10200

10200

/

环评文件

CODCr

t/a

0.408

0.408

/

NH3-N

t/a

0.02

0.02

/

废气

非甲烷总烃

t/a

0.401

0.823

0.932

颗粒物

t/a

2.190

4.760

4.847

2.3.5 现有项目存在的主要环境问题及整改措施

根据前述分析,现有项目

“三废”均达标排放,固废有合理去向,且无环保投诉

情况,但企业仍存在部分问题需进一步提升整治,具体情况见下表。

2.3-26 企业现有工程存在的问题及整治提升要求

序号

存在的问题

整治提升要求

整改完成时间

1

2025 年缺少 DA008 排气筒监

测数据,废气自行监测计划执

行不到位。

规范日常监测计划

2025 年 12 月底前

2

根据

2025 年日常监测数据,切

片及机加工粉尘排气筒

DA004/DA005)除尘后颗粒

物浓度约

34.3~47.5mg/m3,经

检查属于滤筒未及时更换造成的浓度偏高(正常情况滤筒除

尘后颗粒物浓度可控制在

15mg/m3 以下)。

立即对

DA004/DA005 配套

除尘滤筒进行更换,

并做好日常废气设

施巡检工作。

滤筒已进行更换,要求后期做

好日常废气设施巡检工作。

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 42 —

三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准

3.1 区域环境质量现状3.1.1 大气环境

1、基本污染物环境质量现状

根据《环境影响评价技术导则大气环境》(

HJ2.2-2018),判断项目所在地

区域是否达标,优先采用国家或地方生态环境主管部门公开发布的评价基准年环

境质量公告或环境质量报告中的数据或结论。

本次环评了收集《长兴县环境质量公报(

2024 年度)》,统计数据表明,2024

长兴县

SO2、NO2、PM10、PM2.5 年平均质量浓度值均能达到《环境空气质量标准》

(GB3095-2012)中的二级标准,SO2、NO2、PM10、CO 和 O3 日平均或 8h 平均相应

百分位数质量浓度值均能达到《环境空气质量标准》

(GB3095-2012)中的二级标准,

PM2.595 百分位日平均质量现状浓度值超标。因此,项目所在区域为不达标区。

3.1-1

2024 年长兴县环境空气基本污染物监测结果

污染物

评价项目

标准值

(μg/m3)

现状浓度

(μg/m3)

占标率

%

达标情况

SO2

年平均

60

6.0

10.00

达标

24小时平均第98百分位数

150

10.7

7.13

达标

NO2

年平均

40

21.5

53.75

达标

24小时平均第98百分位数

80

52.0

65.00

达标

PM10

年平均

70

41.9

59.86

达标

24小时平均第95百分位数

150

108.1

72.07

达标

PM2.5

年平均

35

28.9

82.57

达标

24小时平均第95百分位数

75

80.9

107.87

超标

CO(mg/m

3

)

24小时平均第95百分位数

4

1.00

25.00

达标

O3

最大

8小时滑动平均值第

90百分位数

160

154.0

96.25

达标

2、特征污染物环境质量现状

为了解项目所在区域的环境空气特征污染物质量现状,本次评价引用浙江求

实环境监测有限公司的检测报告、湖州协成检测科技有限公司的检测报告以及浙

江爱迪信检测技术有限公司的检测报告中的监测数据。环境空气监测点位分布图

见图

3.1-1,各监测项目及频次见表 3.1-2。

由监测结果可知,由表可知,本项目拟建地各监测指标小时值(或日均值)

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 43 —

均可满足《环境影响评价技术导则》(

HJ2.2-2018)中附录 D 及其它标准限值要

求,区域环境空气质量较好。

3.1-2

环境空气质量监测点位、监测因子及监测频次情况表

监测

项目

监测指标

监测频次

监测时间

相对位置

备注

引用点位

G1

小时

(一

次值)

非甲烷总

烃、

HCl、

氟化物

连续监测

7 天,

每天

02、08、14

20 时各监测

1 次,每次至少

采样

45min。

2022 年 9

15 日

~2022 年 9

22 日

~1300m

W)

浙求实监测(

2022)第

09140-1 号

日均

HCl、氟化

连续监测

7 天,

每天连续监测

20 小时以上

引用点位

G2

小时

(一

次值)

非甲烷总

烃、

HCl、

氟化物

连续监测

7 天,

每天

02、08、14

20 时各监测

1 次,每次至少

采样

45min。

~1600m

SW)

日均

HCl、氟化

连续监测

7 天,

每天连续监测

20 小时以上

引用点位

G3

日均

TSP

连续监测

7 天,

每天连续监测

20 小时以上

2023 年 5

8 日

~2023 年 5

13 日

~2700m

SW)

报告编号:

XHP23-05-045

引用点位

G4

日均

TSP

连续监测

7 天,

每天连续监测

20 小时以上

~2800m

SW)

引用点位

G5

小时

(一

次值)

非甲烷总

连续监测

7 天,

每天

02、08、14

20 时各监测

1 次,每次至少

采样

45min。

2023 年 2

3 日

~2023 年 2

10 日

~3850m

SW)

报告编号:

ZJADT2023013

1001

3.1-3 环境空气特征因子监测结果统计表 单位:mg/m3

点位

污染物

平均时

评价标准

/

mg/m3)

监测范围

/

mg/m3)

最大浓度占标

/%

超标率

/%

达标情

G1

非甲烷总烃

小时值

2

0.94~1.48

74

0

达标

HCl

小时值

0.05

<0.02

20

0

达标

日均值

0.015

<0.005

16.67

0

达标

氟化物

小时值

0.02

<0.0005

1.25

0

达标

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 44 —

日均值

0.007

<0.00006

0.43

0

达标

G2

非甲烷总烃

小时值

2

1.06~1.39

69.5

0

达标

HCl

小时值

0.05

<0.02

20

0

达标

日均值

0.015

<0.005

16.67

0

达标

氟化物

小时值

0.02

<0.0005

1.25

0

达标

日均值

0.007

<0.00006

0.43

0

达标

G3

TSP

日均值

0.3

0.196~0.216

72

0

达标

G4

TSP

日均值

0.3

0.190~0.229

76

0

达标

G5

NMHC

小时值

2.0

0.71~0.87

43.5

0

达标

注:监测浓度小于检出限时,最大浓度占标率按照检出限的

1/2 除以标准值计算。

3.1-1

环境空气监测点位示意图

3.1.2 地表水环境

根据《长兴县环境质量公报(

2024)》可知,2024 年长兴水系共计 16 个县

控以上监测断面,东村桥不涉及考核。

15 个考核断面中,Ⅱ类水比例为 86.7%,

Ⅲ类水比例为 13.3%,功能区达标率为 100%。根据《地表水环境质量评价方法(试

行)》对河流及水系定性评价:长兴水系水质状况为优。

为了解项目所在地附近水体的水质现状,本报告用长兴县环境保护监测站

2023 年对合溪断面监测数据,具体结果见下表。根据监测结果可知,项目所在地

地表水质可满足《地表水环境质量标准》(

GB3838-2002)中Ⅱ类水质标准。水环

境质量现状良好。

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 45 —

3.1-4

2023 年长兴县合溪断面监测数据(单位:mg/L;pH 为无量纲)

监测断面

pH

水温

CODMn

NH3-N

TP

合溪

7

18.2

3.6

0.27

0.05

标准值(

Ⅱ类)

6-9

/

≤4.0

≤0.5

≤0.1

是否达标

达标

达标

达标

达标

达标

3.1.3 声环境

为了解项目所在地附近声环境质量现状,本次评价建设单位委托浙江求实环

境监测有限公司对项目地块及周边敏感点环境噪声进行了监测(报告编号:浙求

实监测(

2025)第 04044302 号,监测时间:2025 年 4 月 22 日~2025 年 4 月 23

日)。由监测结果可知,项目拟建地场地四周昼夜间声环境质量均符合《声环境

质量标准》

(GB 3096-2008)中 3 类标准要求。

3.1-5

项目厂界现状噪声监测结果

监测日期

测点位置

等效声级,

Leq[dB(A)]

达标情况

昼间

昼间标

夜间

夜间标

昼间

夜间

2025.0

4.22

厂界东侧

53

65

49

55

达标

达标

厂界南侧

50

46

达标

达标

厂界西侧

54

44

达标

达标

厂界北侧

62

53

达标

达标

2025.0

4.23

厂界东侧

52

65

50

55

达标

达标

厂界南侧

51

50

达标

达标

厂界西侧

49

52

达标

达标

厂界北侧

59

50

达标

达标

3.1.4 生态环境

根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类)(试行)》,

产业园区外建设项目新增用地且用地范围内含有生态环境保护目标时,应进行生

态现状调查。

本项目租赁现有厂房生产,不新增用地,用地范围内无生态环境保护目标,

因此不开展生态现状调查。

3.1.5 电磁辐射

本项目不属于电磁辐射类项目,不开展电磁辐射现状监测。

3.1.6 地下水、土壤

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 46 —

根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类)(试行)》,

原则上可不开展地下水、土壤环境质量现状调查。建设项目存在土壤、地下水环

境污染途径的,应结合污染源、保护目标分布情况开展现状调查以留作背景值。

本项目利用现有厂房实施生产,企业生产在厂房内进行,生产车间地面已进

行硬化处理,原辅料储存及输送、废液暂存等均设置在厂房内,不会造成跑冒滴

漏至厂房外现象,固废暂存间等重点防渗区域均按照要求落实防渗措施,正常情

况下不存在地下水、土壤污染途径,因此本项目不开展地下水、土壤环境质量现

状调查。

3.2 环境保护目标

1)大气环境:项目厂界外500米范围内的大气环境保护目标见表3-8;评价

范围内不涉及规划保护目标。

3.2-1

大气环境保护目标分布图

3.2-1

大气环境主要保护对象一览表

类别

名称

坐标

/m

保护

对象

保护内容

相对厂

址方位

相对项目边

界距离

/m

X

Y

大气环

境保护

目标

五通村

759625.1

3445995.1

居民

~2200 人

N

~80

金鼎苑

760040.0

3445500.2

~1100 人

SE

~470

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 47 —

2)声环境:厂界外 50 米范围内无声环境保护目标;

3)地表水环境:项目周边的水体为合溪北涧。

4)地下水环境:厂界外 500 米范围内无地下水集中式饮用水水源和热水、

矿泉水、温泉等特殊地下水资源;

5)生态环境:项目不新增用地,无生态环境保护目标.

污染

物排

放控

制标

3.3 污染物排放控制标准3.3.1 废水

本次项目不排放生产废水,仅排放生活污水,废水排入周边道路市政污水管

网,送长兴建投环保科技有限公司污水处理厂集中处理,纳管标准执行《电子工

业水污染物排放标准》(

GB39731-2020)中的表 1 标准,具体标准见表 3.3-1。

根据《电子工业水污染物排放标准》(

GB39731-2020)表 2 各类产品基准排水量,

电子专用材料中其他材料单位产品基准排水量为

5.0m3/t 产品,本项目在正常生产

运营中需按照要求执行《电子工业水污染物排放标准》(

GB39731-2020)产品基

准排水量要求。

根据调查,长兴建投环保科技有限公司污水处理厂已完成提标工程,因此污

水处理厂排放标准按提标后的标准执行,其中化学需氧量、氨氮、总氮和总磷等

4 项指标执行浙江省地方标准《城镇污水处理厂主要水污染物排放标准》

DB33/2169-2018)表 1 标准,其它指标排放执行《城镇污水处理厂污染物排放

标准》(

GB18918-2002)一级 A 标准。具体标准见表 3.3-2。

3.3-1

污水纳管标准(单位:除

pH 外均为 mg/L)

污染物

pH

COD

NH3-N

TP

TN

SS

标准限值

6~9

500

45

8

70

400

折基后标准限值

*

6~9

489

44

8

68

391

注:

*项目单位产品实际排水量超过规定的基准排水量,根据标准换算基准排水量排放浓度

限值。

3.3-2

长兴建投环保科技有限公司污水排放标准(单位:除

pH 外均为 mg/L)

污染物

pH

COD

NH3-N

TP

TN

SS

氟化物

标准限值

6~9

40

2(4)

0.3

12(15)

10

--

注:括号内数值为每年

11 月 1 日至次年 3 月 31 日执行。

3.3.2 废气

项目工艺废气中的氟化物、氯化氢、非甲烷总烃、颗粒物等污染物执行《大

气污染物综合排放标准》(

GB16297-1996)表 2 新污染源大气污染物排放限值,

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 48 —

具体标准值见表

3.3-3。

3.3-3

大气污染物排放标准

污染物

最高允许排放速率(

kg/h)

最高允许排放浓

(mg/m3)

无组织排放监控浓度限值

排气筒

(m)

二级标准

监控点

浓度

(mg/m3)

氯化氢

17

0.164

100

周界外浓度最高点

0.2

氟化物

17

0.064

9

0.02

非甲烷总烃

17

6.4

120

4.0

颗粒物

17

2.23

120

1.0

注:①表中排放速率均为内插法计算所得。②根据《大气污染物综合排放标准》(

GB16297-1996)7 其它规定,排气筒高度除须遵守表列排放速率标准值外,还应高出周围

200m 半径范围的建筑 5m 以上,不能达到该要求的排气筒,应按其高度对应的表列排放速率标准值严格

50%执行。本项目周边 200m 半径范围内的建筑最高高度为 19m,项目排气筒高

17m,不能满足要求,速率严格 50%执行。

厂区内挥发性有机物(

VOCs)无组织排放监控点浓度限值执行《挥发性有

机物无组织排放控制标准》(

GB37822-2019)中规定的厂区内 VOCs 无组织排放

限值,具体见表

3.3-4。

3.3-4

厂区内挥发性有机物(

VOCs)无组织特别排放限值

污染物项目

限值

(mg/m3)

限值含义

无组织排放监控位置

非甲烷总烃

NMHC)

6

监控点处

1 小时平均浓度限值

在厂房外设置监控点

20

监控点处任意一次浓度值

3.3.3 噪声

本项目厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》

(GB12348-2008)中

3 类标准,即昼间 65dB(A)、夜间 55dB(A)。

3.3.4 固体废物

项目产生的固体废物的处理、处置均应满足《中华人民共和国固体废物污染

环境防治法》的有关规定要求。

一般工业废物参照执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》

GB18599-2020),其中采用库房、包装工具(罐、桶、包装袋等)贮存一般工

业固体废物过程的污染控制,不适用《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标

准》

(GB18599-2020),其贮存过程应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保

护要求。

危险废物按照《国家危险废物名录》、

《危险废物鉴别标准》

GB5085-2017)、

《危险废物贮存污染控制标准》(

GB18597-2023)、《危险化学品安全管理条例》

进行识别、贮存和管理。

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— 49 —

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— 50 —

总量

控制

指标

3.4 总量控制指标3.4.1 总量控制指标

根据《国务院关于印发

“十四五”节能减排综合性工作方案的通知》(国发

[2021]33 号)、《浙江省人民政府关于印发“十四五”节能减排综合工作方案的通

知》(浙政发〔

2022〕21 号)、《浙江省空气质量改善“十四五”规划》(浙发改

规划〔

2021〕215 号)等要求,对化学需氧量(CODCr)、氨氮(NH3-N)、二氧

化硫(

SO2)、氮氧化物(NOx)、烟粉尘和挥发性有机物(VOCs)排放总量进

行控制。

根据《建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法》的通知(环

[2014]197 号)要求:用于建设项目的“可替代总量指标”不得低于建设项目所需

替代的主要污染物排放总量指标。上一年度环境空气质量年平均浓度不达标的城

市、水环境质量未达到要求的市县,相关污染物应按照建设项目所需替代的主要

污染物排放总量指标的

2 倍进行削减替代(燃煤发电机组大气污染物排放浓度基

本达到燃气轮机组排放限值的除外);细颗粒物(

PM2.5)年平均浓度不达标的城

市,二氧化硫、氮氧化物、烟粉尘、挥发性有机物四项污染物均需进行

2 倍削减

替代(燃煤发电机组大气污染物排放浓度基本达到燃气轮机组排放限值的除外)。

地方有更严格倍量替代要求的,按照相关规定执行。

根据《湖州市大气源头治理涉气项目总量调剂实施办法》《生态环境领域污

染攻坚工作

“八个一律”要求》,2025 年全市所有乡镇(街道)均实行倍量替代制

度,其中

2024 年空气质量指标较上年出现反弹且年均浓度未达到国家二级标准

的乡镇(街道)实施

3 倍量替代。长兴县属于二倍量替代的乡镇,结合本项目污

染特征,纳入总量控制指标的主要是烟粉尘和

VOCs,按 1:2 进行区域替代削减。

3.4.2 总量控制方案

1)本项目总量控制指标

根据工程分析,项目总量控制指标见下表。

3.4-1

项目总量控制建议值

项目

指标

单位

总量控制建议值

废水

废水量

m3/a

382.5

CODcr

t/a

0.015

NH3-N

t/a

0.001

废气

颗粒物

t/a

0.058

VOCs

t/a

0.024

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— 51 —

2)本项目实施后全厂总量控制指标

根据前述分析,本项目实施后全厂总量控制指标见下表。

3.4-2 本项目实施后全厂污染物总量控制指标(以排环境量计)

污染物

单位

现有工程

本次工程

全厂排放量

项目实施后全厂总量控制建议值

废水量

m3/a

10200

382.5

10582.5

10582.5

COD

t/a

0.408

0.015

0.423

0.423

NH3-N

t/a

0.020

0.001

0.021

0.021

颗粒物

t/a

4.847

0.058

4.905

4.905

VOCs

t/a

0.932

0.024

0.956

0.956

3.4.3 总量控制建议值

项目主要污染物总量平衡方案见下表。

3.4-3 本项目总量平衡方案(以排环境量计)

项目

污染因子

单位

现有总量

项目实施后

全厂排放量

本项目

新增总

削减

替代

比例

区域平

削减量

废水

COD

t/a

0.408

0.423

0.015

/

/

NH3-N

t/a

0.020

0.021

0.001

/

/

废气

颗粒物

t/a

4.847

4.905

0.058

1:2

0.116

VOCs

t/a

0.932

0.956

0.024

1:2

0.048

注:项目仅新增生活污水,总量无需区域替代。

本项目实施后新增的污染物排放指标由企业向湖州市生态环境局申请调剂

获取,项目未落实总量指标前不得投产。

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— 52 —

四、主要环境影响和保护措施

4.1 施工期环境保护措施

本项目依托现有厂房实施生产,无厂房基建等施工期环境影响。本项目施工期主要为设备安装调试,主要污染因子有:施工

废水、施工人员日常生活污水、装修油漆废气、施工噪声、施工垃圾、施工人员生活垃圾等,具体污染防治措施见表

4.1-1。

4.1-1

施工期污染防治措施一览表

类别

污染防治措施情况

废水

①施工期生活废水经园区内化粪池处理后排放。

废气

建议建设单位装修阶段使用环保涂料及油漆,减少装修废气的产生。认真落实各项扬尘的治理措施,以有效减少扬尘的产生量,保

障附近居民区的环境空气质量。预计在采取环评要求的措施后,本项目施工期间的废气排放量较小,在大气的扩散作用下,预计对

周边环境影响较小。

噪声

①设备安装噪声源强较小,且主要位于厂房内,对周边环境影响较小。

固废

①建设单位应要求施工单位规范运输,不要随路散落,也不要随意倾倒建筑垃圾,不能对环境空气和水环境造成二次污染。

②设备安装废弃物主要为包装箱、固定设施等,主要材质为木材、金属等,收集后外售资源化利用。生活垃圾经加盖垃圾桶分类收

集后,由当地环卫部门清运处置;施工期设备修护保养会产生少量的废机油,废机油桶装收集后委托有资质的单位清运处置。

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— 53 —

运营

期环

境影

响和

保护

措施

4.2 运营期大气环境影响和保护措施1、废气污染源强核算

根据工艺流程,本项目的废气主要为:纯化废气、沉积废气及设备维护废气。

1)纯化废气

项目纯化炉使用高温法提纯石墨,四氟化碳在高温下生成氟原子,氟自由基与石墨中的杂质反应生产挥发性氟化物,杂质

不断气化并溢出,混合在惰性气体中被真空泵排出(真空抽排时间约

2700h/a)。项目石墨盘纯度大于 99.7%,经过高温纯化后

纯度大于

99.9999%,根据物料平衡和反应原理,纯化废气主要成分为氟化物(气态,结合杂质成分及主要反应方程式估算氟元

素含量约占氟总投入量的

85%)、颗粒物(结合杂质成分及主要反应方程式估算氟元素含量约占氟总投入量的 15%)。项目四

氟化碳年用量为

450kg(含氟量 389kg),根据物料平衡,纯化废气中颗粒物产生量为 0.1113t/a(氟元素 0.0589t/a),氟化物

(以

F 计)产生量为 0.3297t/a。

每台纯化炉经自带的一级干式过滤罐后送二级碱液喷淋废气设施(每级喷淋塔均为

2 层填料式塔),废气设施与纯化炉用

集气管相连接,对纯化废气进行抽排(由于本项目所使用纯化炉为密封式,纯化完成、待石墨盘完全冷却后先用氩气吹扫再开

盖取件,且生产车间有洁净度要求,因此纯化废气捕集效率按

100%计);项目氟化物处理效率按 95%计,粉尘处理效率按 90%

计;纯化废气经尾气处理设施处理后通过

17 米高排气筒排放(DA002,气量以 975m3/h 计)。

氟化物遇碱液反应方程式:

2F2 + 2H2O = 4HF + O2HF + Na(OH)→NaF + H2O

2)沉积废气

项目气相沉积过程主要通

MTS、氢气(载气)、氩气(稀释气体),最后通入氮气(炉温保护气体),根据气相沉积反应

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— 54 —

原理,大部分

MTS 反应消耗,并产生气态副产物 HCl。根据反应原理,沉积废气主要成分为粉尘(主要成分为碳化硅、硅)、

HCl、SiCl4、非甲烷总烃(主要成分为 MTS 及微量烷烃)及氢气、氩气、氮气等。根据物料平衡,沉积废气中氢气、氩气、氮

气产生量与原辅材料用量一致,且氢气、氩气、氮气无毒、无害,故本环评不予评价;沉积废气中粉尘产生量为

0.0917t/a,非

甲烷总烃产生量为

0.0693t/a,氯化氢产生量为 5.0218t/a。

每台

CVD 炉对应自带冷凝管+过滤罐+二级碱液喷淋塔(每级喷淋塔均为 3 层旋流板),废气设施与 CVD 炉用集气管相连

接,对沉积废气进行抽排(由于本项目所使用

CVD 炉为密封式,沉积反应完成、待完全冷却后先用氩气吹扫再开盖取件,且

生产车间有洁净度要求,因此沉积废气捕集效率按

100%计);项目氯化氢处理效率按 95%计,粉尘处理效率按 50%计,考虑

MST、氯硅烷遇水极易反应生成 HCl、故非甲烷总烃处理效率保守按 75%计;沉积废气经设备自带尾气处理设施处理后通过同

17 米高排气筒排放((DA001,气量以 1200m3/h 计)。

氯硅烷遇碱液反应方程式:

SiCl4 + 4H2O = 4HCl + H4SiO4CH3SiCl3+H2O == CH3SiCl2(OH)+HClHCl+Na(OH)→NaCl+H2O

3)设备维护废气

项目气相沉积完成后需要对

CVD 炉进行过滤罐更换和设备维护,废气主要为残留在过滤罐中的粉尘(碳化硅、硅)、非

甲烷总烃(主要成分为

MTS 及微量烷烃)等。根据企业设计资料,设备维护废气中粉尘(碳化硅、硅)残留量约为沉积废气

中颗粒物的

1.5%(0.0014t/a),非甲烷总烃残留量约为沉积废气中非甲烷总烃的 10%(0.0003t/a,遇水即反应生产 HCl,考虑

颗粒物和

HCl 产生量很小,故不再定量计算)。

每台

CVD 炉过滤罐更换石墨毡产生的废气经集气罩收集、石墨毡清洗产生的废气经通风橱收集后送车间级废气处理系统

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— 55 —

(一级干式过滤

+二级碱液喷淋塔)(每级喷淋塔均为 2 层填料式塔)处理后通过 17m 的排气筒(DA001,气量以 9400m3/h 计,

与运行时沉积废气不同时排放)高空排放,收集效率以

90%计,项目颗粒物产生浓度较低,故其净化效率以 0%计。

综上,项目废气产生及排放情况汇总见表

4.2-1,项目废气污染源强核算结果及相关参数汇总见表 4.2-2。

(涉密删除)

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— 56 —

2、非正常工况下废气源强核算

本项目可能发生的对环境影响较大的废气非正常排放情况为:各类废气处理设

施失效或处理效率下降为

0%时各污染物排放情况。非正常工况下其频次、持续时

间及完全失效时排放量见下表。

4.2-3

项目污染源非正常排放核算表

排气筒

编号

非正常排放原因

污染物

单次持续

时间

/h

年发生频次

/

应对措

非正常排放

速率(

kg/h)

DA002

废气处理装置效

率降低为

0

氟化物

0.5~1h

1

立即停

0.1221

颗粒物

0.0412

DA001

废气处理装置效

率降低为

0

HCl

0.5~1h

1

1.3949

颗粒物

0.0255

非甲烷总烃

0.0192

3、排放口基本情况

项目废气排放口基本情况及执行废气标准见下表。

4.2-4

项目废气排放口基本情况一览表

排放口

编号

污染物

种类

排放口地理坐标

排气筒

高度

m)

排气筒

内径(

m)

废气流速

m/s)

排气

温度

(℃)

排放

口类

执行

标准

X 坐标

Y 坐标

DA001

HCl

759642.7

3445828.1

17

0.5

1.70

13.31)*

常温

一般

排放

3.3.2章节

颗粒物

非甲烷

总烃

DA002

氟化物

759609.9

3445827.7

17

0.16

13.48

常温

3.3.2章节

颗粒物

注:

CVD 炉正常运行时的废气与维护尾气通过同一排气筒排放,但不同时排放,()内为维护

时废气流速,()外为正常运行时废气流速。

4、污染防治措施的可行性分析

本项目废气主要为纯化废气、沉积废气,废气收集、处理方案见图

4.2-1。企业

已委托有江苏中康环保装备有限公司编制废气处理方案并于

2025 年 8 月 22 日组织

专家评审。

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— 57 —

4.2-1 项目废气收集线路及去向示意图

1)纯化废气防治措施

项目纯化废气主要包括氟化物、颗粒物,经设备直连管道(双层夹套水冷管道,

可保障进入后到废气设施的废气温度约

30~50℃)收集后送设备自带的一级干式过

滤(去除大颗粒杂质或者粉尘,避免颗粒团聚堵塞管路)后送工艺成熟的碱液喷淋

塔进行处理后排放。氟化物遇碱液反应方程式:

2F2 + 2H2O = 4HF + O2HF + Na(OH)→NaF + H2O

纯化废气配置有

2 级碱液喷淋塔(每级喷淋塔均为 2 层填料式塔),喷淋塔液

气比为

7.2:1,循环水量为 7.2m3/h,循环水箱容积分别为 385L;喷淋碱液采用氢

氧化钠稀溶液,溶液浓度为

3.5%,定期补充氢氧化钠药剂保持碱液 pH9~10,确保

酸性废气去除效率。洗涤塔的底部为循环液槽,塔内部填充填料以增加气体在塔内

的停留时间以及增加污染物与液体的接触面积,气体从塔底部进入,由下而上穿过

填料层,经由填料的空隙与塔顶部产生的雾状喷淋的液体逆向流动,填料有很大的

液体与气体的接触面积,使液

-气两相密切的接触,废气中的溶质由流入塔内的洗涤

液所吸收,洗涤塔出气经由除雾器去除其中的水份后,经风机引至排气筒排放。根

据《排污许可证申请与核发技术规范 电子工业》(

HJ1031-2019),纯化废气采用

的二级氢氧化钠碱液喷淋塔属于可行性技术。

3 台纯化炉不同时工作,根据纯化炉真空机组配置及纯化炉炉腔体积可知单台

炉真空废气约

975m3/h;项目配置有 2 台 1200m3/h 的风机(一用一备),经自带一

级干式过滤罐后送

2 级碱液喷淋塔(捕集效率按 100%计);项目氟化物处理效率

95%计,粉尘处理效率按 90%计。项目纯化有组织排放情况见表 4.2-5,排放速

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— 58 —

率及排放浓度均满足《大气污染物综合排放标准》

(GB16297-1996)中的二级排放标

准要求。

4.2-5 项目纯化废气有组织排放情况

排气筒

污染物

风量

m3/h)

污染物排放

排气

筒高

度(

m)

排放标准

达标

情况

最大速率

kg/h)

浓度

(mg/m3)

速率

kg/h)

浓度

(mg/m3)

DA002

氟化物

975

0.0061

6.26

17

0.064

9

达标

颗粒物

0.0041

4.23

2.23

120

达标

2)沉积废气防治措施

对于本项目特种气体而言,一甲基三氯硅烷有毒、易燃,氢气具有强的燃烧爆

炸性,氯化氢具有强腐蚀性等,上述气体经尾气处理设备处理后排放,不仅要注意

防止环境污染,而且还要注意排放周边的安全性。

因为半导体制造工作区域离废气处理系统有一定的距离,因此这些废气在输送

至废气处理系统前,在冗长的排气过程中,可能会因为气体特性导致引发非预期的

气体泄漏,局部聚积或相互反应,造成风管堵塞、管路腐蚀等问题,严重者甚至引

发火灾爆炸、停止生产和危害现场工作人员的工作安全的后果。所以在半导体制品

生产中,这些制品后残存的气体从无尘室通过真空管出来后,需经尾气处理设备

Scrubber 方法先行处理,再排入中央废气处理系统。

Scrubber 处理方式比选

Scrubber 原意为洗涤器,业界之中意为处理半导体工业制程生产之废气处理设

备。依据废气处理的特性,

Scrubber 有四种处理方式,包括水洗式、氧化式、吸附

式和等离子燃烧式。

4.2-6

Scrubber 处理方式比对

处理方式

优点

缺点

水洗式

设备便宜处理方式简单

仅能处理水溶性气体

氧化(加热)式

应用范围较水洗时广

运转成本高

吸附式

处理效率佳

不适用于容易堵塞或气体流量较大的工艺;运转

成本高

等离子燃烧式

处理效率佳

成本高,不适用于粉尘过多之工艺

本项目废气主要为

HCl、一甲基三氯硅烷废气,为水溶性气体,因此采用水洗

Scrubber 处理沉积废气。

②废气收集治理措施

CVD 炉配套尾气处理设施(水洗式 Scrubber,即二级碱液喷淋),对氯化氢、

一甲基三氯硅烷进行有效处理。

SiC 晶片在生长时,向反应室通入的所有气体,全

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— 59 —

部都经由尾气管道,在干泵的抽力下排往后端

Scrubber。在尾气进行处理的过程中,

主要吸收

HCl 发生的化学反应为:

SiCl4 + 4H2O = 4HCl + H4SiO4CH3SiCl3+H2O == CH3SiCl2(OH)+HClHCl+Na(OH)→NaCl+H2O

对经过的氯化氢进行喷淋吸收,根据设备厂家数据及同类企业使用情况,三级

喷淋吸收效率可达

99.8%,最终产生喷淋废液,喷淋废液中所含物质主要为 NaCl,

经低温蒸发器预处理后的浓缩液按危废管理。根据《排污许可证申请与核发技术

规范 电子工业》(

HJ1031-2019),项目所用碱喷淋洗涤吸收法为可行技术。

由于本项目所使用的

CVD 为密封式,炉内管道密闭收集,因此沉积废气捕集

效率按

100%计,根据 CVD 炉配置的真空泵配置情况及炉腔体积,单台 CVD 炉气

量约

600m3/h,2 台合计约 1200m3/h(受变压器限制,最多可 2 台 CVD 炉同时进行

升温反应);尾气通过各设备自带冷凝管(双层夹套水冷管道,可保障进入后到废

气设施的废气温度约

50~60℃)+过滤罐(去除大颗粒杂质或者粉尘,避免颗粒团聚

堵塞管路)

+二级碱液喷淋塔处理后统一高空排放,项目氯化氢处理效率按 95%计,

粉尘处理效率按

50%计,考虑 MST、氯硅烷遇水极易反应生成 HCl、故非甲烷总烃

处理效率保守按

75%计。项目沉积废气有组织排放情况见表 4.2-7,排放速率及排放

浓度均满足《大气污染物综合排放标准》

(GB16297-1996)中的二级排放标准要求。

CVD 炉维护时,每台 CVD 设有 4 个集风罩(①过滤罐上方、②冷凝管上方、

③设备顶部、④设备下方,①和 ④不 同 时 使 用 , ②和③也不同时使用),集气罩

尺寸为

1.6m×1.6m,流速按照 0.5m/s,则每台 CVD 收集风量约 4608m3/h;石墨毡

清洗在通风橱内进行,支管直径约

φ80mm,管道流速按照 8m/s,则通风橱收集风量

145m3/h;考虑 2 台 CVD 炉同时运行,收集风量合计约 9400m3/h(配套风机选型

12000m³/h),收集后送车间级废气处理系统(一级干式过滤+二级碱液喷淋塔)(每

级喷淋塔均为

2 层填料式塔)。项目 CVD 炉维护时有组织排放情况见表 4.2-7,排

放速率及排放浓度均满足《大气污染物综合排放标准》

(GB16297-1996)中的二级排

放标准要求。

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— 60 —

4.2-7 项目沉积废气有组织排放情况

排气筒

污染物

风量

m3/h)

污染物排放

排气

筒高

度(

m)

排放标准

达标

情况

最大速率

kg/h)

浓度

(mg/m3)

速率

kg/h)

浓度

(mg/m3)

DA001

CVD

炉运行)

HCl

1200

0.0705

58.71

17

0.164

100

达标

颗粒物

0.0127

10.62

2.23

120

达标

非甲烷总烃

0.0049

4.05

6.4

120

达标

DA001

CVD

炉维护)

颗粒物

9400

0.0021

0.22

17

2.23

120

达标

HCl

微量

微量

0.164

100

达标

非甲烷总烃

微量

微量

6.4

120

达标

5、废气环境影响分析

正常工况下,在落实相应的污染防治措施后废气可做到稳定达标排放,对周边

环境影响可接受。

非正常工况下,有组织废气排放速率及排放浓度较正常运行时大大增加,废气

排放将对周边大气环境造成一定影响。因此,企业应重点落实生产设备的密闭措施,

并加强废气的密闭化、管道化收集;日常运营过程中,强化废气治理设施的维护管

理,确保治理设施长期稳定运行,切实降低废气非正常工况发生频率。

6、运营期监测计划

本项目根据《排污单位自行监测技术指南总则》(

HJ819-2017)、《排污许可

证申请与核发技术规范 电子工业》(

HJ1031-2019)和《排污单位自行监测技术指

南 电子工业》(

HJ1253-2022)中相关要求制定本项目营运期监测计划。本项目建

成后废气监测计划见表

4.2-8。

4.2-8

运营期废气监测计划

监测类别 监测内容

监测位置

监测项目

监测频次

污染源监

废气

废气排气筒(

DA001)

氯化氢、颗粒物、

NMHC

1 次/年

废气排气筒(

DA002)

颗粒物、氟化物、氯化氢

1 次/年

厂界无组织排放监控点

氯化氢、氟化物、

NMHC

1 次/年

厂区内无组织排放监控点

NMHC

1 次/年

4.3 运营期水环境影响和保护措施1、废水污染源强核算

项目生产车间均在室内,且无酸洗等工艺,不涉及一类重金属的排放,因此对

初期雨水不进行收集。根据产污节点分析,项目废水主要为生产废水和生活污水,

生产废水主要包括纯水制备废水(含浓水和反冲洗废水)、石墨盘清洗废水、地面

拖地水、冷却系统排污水、废气喷淋废水。

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— 61 —

1)纯水制备废水(含浓水和树脂再生废水)

项目生产过程需用纯水,项目配套设

1 套 0.25t/h 的纯水机用于供应项目所需纯

水。项目制水设备采用树脂交换

+一级 RO 工艺,纯水制备过程会产生浓水和树脂再

生废水。项目纯水主要用于石墨盘清洗,根据石墨盘清洗用水量统计,项目纯水用

量约

200t/a;浓水和树脂再生废水产生量约占原水用量 35%,则项目纯水制备废水

产生量约

108t/a。纯水制备废水污染程度较轻,主要含盐量较高,废水水质约:pH6~9、

COD 100mg/L、SS 50mg/L,回用于废气喷淋补充用水。

2)石墨盘清洗废水

石墨盘在进入纯化炉前,采用超声波清洗(纯水)。根据企业提供资料,平均

单个石墨盘用水量约

0.05m³,清洗完成后,石墨盘取出烘干水分,清洗损耗以 10%

计,故清洗废水排放量为

180t/a。清洗废水主要污染物为 COD、SS 等,考虑项目入

厂石墨盘纯度为

99.7~99.8%,表面无油污仅微量粉尘,且清洗采用纯水洗(无需添

加清洁剂),故废水水质保守以

pH6~9、COD 300mg/L、SS 150mg/L 计。

3)地面清洁废水

项目生产车间每日进行拖地清洁,从而保持车间环境整洁,拖地用水量为

150t/a,清洗损耗以 10%计,拖地废水产生量约为 135t/a。废水主要污染物为 COD、

氟化物、

SS 等,废水浓度为 pH6~9、COD 300mg/L、SS 150mg/L、氟化物 5mg/L。

4)冷却系统排污水

项目设有

1 套 150t/h 的逆流闭式冷却塔,用于生产设备冷却用,冷却水经冷却

塔冷却后循环利用,定期外排,平时仅添加损耗的水量。根据设计,补充水量以循

环水量的

0.5%计,循环水量为 900000t/a(年使用时间约 6000h),则循环冷却水新

水补充量约

4500t/a。由于冷却水重复循环,水中污染物浓度日渐积累,会影响水质,

易生藻苔,为避免水质恶化和杂质增多而影响管道,需排放一定量的水。根据设计,

循环冷却水外排废水约为补充水量的

1.0%,即冷却系统排污水产生量 45.0t/a。冷却

系统排污水主要污染物为悬浮物、有机物、微生物等,其水质浓度为

pH6~9、COD

100mg/L、SS 50mg/L。

5)废气喷淋废水

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— 62 —

项目纯化废气、沉积废气均采用碱性喷淋塔进行吸收处理,喷淋塔设循环水系

统,喷淋吸收水进行循环使用;为保证喷淋塔的处理效果,喷淋塔内的循环水需要

进行更换,废气喷淋塔吸收水

4 天更换 1 次,单次更换喷淋吸收水用量约 3.4t,则

废气喷淋废水产生量为

255t/a。喷淋废水主要污染物为悬浮物、无机盐、氟化物等,

考虑项目废气主要为酸性气体并结合物料平衡,废水水质以

COD 300mg/L、SS

150mg/L、氟化物 1226mg/L 计。

6)生活污水

项目定员

30 人,年生产天数约 300 天。厂区不设食堂和住宿,员工人均生活

用水量按

50L/d 计,则生活用水量为 450t/a,生活污水产生量按用水量 85%计,则

生活污水产生量约为

382.5t/a。生活污水水质参照城市污水水质:pH6~9、COD

200~400mg/L(按 350mg/L 计)、氨氮 25~35mg/L(按 35mg/L 计)。

综上可知,建设项目新增生产废水约

615t/a,经预处理设施(低温蒸发器)处

理后清水(

554t/a)回用于冷却塔补充用水,浓缩液(61t/a)作为危废委托处置;

新增生活污水约

382.5t/a,经化粪池预处理后排入市政污水管网。

注:根据《电子工业水污染物排放标准》(

GB39731-2020),产品基准排水量

5.0m3/t,则本项目加工产品产量合计约 74.8t/a,则基准排水量为 374.1m3/a。本

项目废水排放量为

3.82.5m3/a,项目单位产品实际排水量超过规定的基准排水量,

根据标准换算基准排水量排放浓度限值(具体见表

3.3-1),污水纳管可达折基后排

放浓度。

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 63 —

4.3-1 废水污染源源强核算结果表

产排污

环节

废水类

污染物

产生情况

治理设施

排放情况

排放去

产生量(

t/a)

产生浓度

mg/L)

治理设施名称及编号

治理工

处理能力

m3/d)

去除效

是否为可行技

排放量(

t/a)

排放浓度

mg/L)

员工生

生活污

废水量

382.5

/

化粪池

/

/

/

382.5

/

预处理后纳管

CODcr

0.133

350

0.133

350

NH3-N

0.013

35

0.013

35

2、废水类别、污染物及污染治理设施信息

4.3-2 废水类别、污染物及污染治理设施信息表

序号

废水类别

污染物

种类

污染治理设施

排放去向

排放方式

排放规律

排放口

编号

排放

名称

排放

类型

治理设施名

治理工

处理能力

m3/d

是否为可行技

1

生活污水

CODcr、

BOD5、NH3-N

化粪池

化粪池

/

长兴建投环保科技有限公司污水处

理厂

间接排放

间断排放,排放

期间流量不稳

定且无规律,但

不属于冲击性

排放

DW001

废水总排

一般排放

-总

排口

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— 64 —

3、废水间接排放口基本情况

4.3-3 废水间接排放口基本信息表

排放口

编号

排放口地理坐标

废水排放量

t/a)

排放去向

排放

规律

受纳污水处理厂信息

经度

纬度

名称

污染物

种类

国家或地方污染

物排放标准浓度

限值

/(mg/L)

DW001

119.72°

31.11°

382.5

长兴建投环

保科技有限

公司污水处

理厂

间断

长兴建投环保

科技有限公司

污水处理厂

CODCr

40

氨氮

2(4)

4、废水污染物排放标准

本项目废水纳管排放执行标准见下表。

4.3-4 废水污染物排放执行标准表

排放口编号

污染物种类

国家或地方污染物排放标准及其它规定商定的排放协议

名称

浓度限值(

mg/L)

DW001

CODCr

GB39731-2020 表 1 标准

489

氨氮

DB33/887-2013

44

5、废水环境影响分析

1)水污染控制和水环境影响减缓措施有效性

本项目建成后实行雨污分流,生产废水经预处理设施(低温蒸发器)处理后清

水回用于废气喷淋补充用水,浓缩液作为危废委托处置,生活污水经化粪池预处理

后排入市政污水管网,经长兴建投环保科技有限公司深度处理后达标排放。

项目拟设置

1 套 2.5t/d 的低温蒸发器(蒸发罐体直径 1000mm,蒸发温度 28~38

℃,真空度

-93kpa~-97kpa,蒸馏水出水率约 90%),可满足项目处理需求(废水产

生量约

2.0t/d)。工作原理示意图如下:

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— 65 —

2)依托集中污水处理设施的环境可行性评价

长兴建投环保科技有限公司(原长兴永平水务有限公司)成立于

2008 年,是治

理区域水体污染、改善区域环境而兴建的一座污水处理厂(煤山污水处理厂)。污

水处理厂位于煤山镇新安村,用地面积约

45 亩,紧邻 S301 省道(北侧、山鹰大道

东侧的鑫盛轻纺有限公司东侧)。该工程设计规模为

1.5 万 m3/d,污水处理工艺采

Carrpusel 氧化沟工艺,排放标准执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》

GB18918-2002)中的一级 A 标准。目前该污水厂已建成投产,同时区域内已建设

了长兴县煤山镇纺织企业中水回用工程,设计处理能力

6500m3/d,处理工艺为气浮

+曝气生物法,目前该项目已投入试运行,分担了长兴建投环保科技有限公司的处

理水量。现有废水处理工艺见图

4.3-1,中水回用站处理工艺见图 4.3-2。

4.3-1

现有废水处理工艺

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 66 —

4.3-2

中水回用站处理工艺

①处理容量

根据调查,

长兴建投环保科技有限公司污水处理厂设计总处理规模为

1.5 万 t/d,

根据调查,该污水厂主要处理服务范围内收集的生活污水及工业废水,目前尚有

0.22

t/d 余量。本项目仅涉及生活污水排放,剩余处理容量能够满足本项目废水最大处

理规模需求。

②纳管可行性

建设项目选址于长兴煤山镇南太湖青年科技创业园厂房。项目废水经预处理达

标后排入周边道市政污水管网,送长兴建投环保科技有限公司污水处理厂进行处理,

沿途管网均已铺设完毕,具备废水纳管条件。

③出水水质达标情况

根据长兴建投环保科技有限公司污水处理厂尾水日常监测数据,目前污水处理

系统运行正常,总排口化学需氧量、氨氮、总磷和总氮等重金属均可达标排放。

4.3-3

污水处理厂总排口监测数据

时间

pH 值

化学需氧量

氨氮

总磷

总氮

2025/4/1

6.96

11.43

0.0538

0.0201

2.521

2025/4/2

6.96

11.8

0.0716

0.0208

2.635

2025/4/3

6.97

13.76

0.2282

0.0451

2.912

2025/4/4

6.95

11.7

0.0802

0.0186

2.75

2025/4/5

7.02

10.37

0.0838

0.0174

2.86

2025/4/6

6.98

9.67

0.0684

0.0182

3.06

2025/4/7

6.98

9.73

0.0673

0.0171

3.025

2025/4/8

6.91

11.51

0.1914

0.0219

3.191

2025/4/9

6.95

11.23

0.1038

0.0202

2.767

2025/4/10

6.98

10.95

0.0931

0.0243

2.617

2025/4/11

7.03

11.41

0.104

0.019

2.271

2025/4/12

6.99

12.59

0.2109

0.0197

2.52

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 67 —

2025/4/13

7.05

12.86

0.2246

0.0189

3.025

2025/4/14

7.1

13.47

0.0917

0.0183

2.345

2025/4/15

7.2

15.13

0.0828

0.0207

2.251

2025/4/16

7.12

15.37

0.0786

0.0198

2.124

2025/4/17

7.07

13.92

0.1199

0.0321

2.626

2025/4/18

7.18

12.13

0.0784

0.0239

2.089

2025/4/19

7.13

13.26

0.1803

0.0315

2.617

2025/4/20

7.14

13.46

0.2774

0.0297

3.094

2025/4/21

6.93

12.92

0.336

0.0172

3.673

2025/4/22

6.88

13.43

0.4553

0.0179

4.189

2025/4/23

6.98

11.8

0.1062

0.0134

4.517

2025/4/24

7.05

11.44

0.0175

0.0156

3.821

2025/4/25

7.05

12.52

0.016

0.0156

2.982

2025/4/26

7.02

12.6

0.01

0.015

3.019

2025/4/27

6.98

15.14

0.0388

0.0188

2.804

2025/4/28

7.06

14.22

0.1685

0.0617

2.964

2025/4/29

7.03

11.81

0.0291

0.0192

3.419

2025/4/30

7.03

12.27

0.023

0.0248

3.529

标准限值

6-9

≤40

≤2(4)

≤0.3

≤12

达标情况

达标

达标

达标

达标

达标

4)小结

项目污水处理达标后纳管排入长兴建投环保科技有限公司污水处理厂,只要本

项目在施工期和营运期能严格执行相关规定,严格落实雨污分流、清污分流措施,

可防止废(污)水经雨水管道进入地表水,不会对周边地表水产生负面影响。

综上所述,本项目废水分类收集、分质处理,废水处理达标后纳管排放,项目实施

基本不会对周边地表水环境质量产生负面影响。

6、监测计划

本项目根据《排污单位自行监测技术指南 总则》(

HJ819-2017)中相关要求制

定本项目营运期监测计划。本项目运营期废水监测计划见表

4.3-4。

4.3-4

废水污染源监测计划

监测点位

监测指标

最低监测频次

废水总排放口

流量、

pH、CODcr、氨氮

1 次/年

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— 68 —

4.4 营运期噪声环境影响和保护措施1、噪声污染源强核算

本项目生产噪声主要来自于化学气相沉积炉(

CVD 炉)、纯化炉、二次配特气装置、超声清洗机、烘箱、纯水制备机、

冷却塔及废气喷淋塔风机等设备的运转噪声,本项目拟针对以下产生噪声的部位,采取一系列减振降噪措施,并尽量选用

节能低噪声设备;风机等产生噪声的地方加隔声罩等。根据类比监测,本项目主要噪声污染源强核算情况见下表。

4.4-1

项目主要设备噪声级汇总(室内声源)

设备名称

声功率

(dB(A))

空间位置

*

声源

控制

措施

距室内边界距离

/m

室内边界声级

/(dB(A)) 建筑物插入损失**/(dB(A))

建筑物外噪声声压级

/(dB(A))

X

Y

Z

西

西

西

西

建筑物外

距离

/m

气相沉积

70

5

30

0.5

车间

隔声

+基

础减

40

30

5

25

46.4 46.4 47.3

46.4

16

16

16

16

30.4

30.4

31.3

30.4

2

气相沉积

70

10

30

0.5

35

30

10

25

46.4 46.4 46.6

46.4

16

16

16

16

30.4

30.4

30.6

30.4

2

气相沉积

70

5

40

0.5

40

40

5

15

46.4 46.4 47.3

46.5

16

16

16

16

30.4

30.4

31.3

30.5

2

气相沉积

70

10

40

0.5

35

40

10

15

46.4 46.4 46.6

46.5

16

16

16

16

30.4

30.4

30.6

30.5

2

纯化炉

70

35

30

0.5

10

30

35

25

46.6 46.4 46.4

46.4

16

16

16

16

30.6

30.4

30.4

30.4

2

纯化炉

70

35

35

0.5

10

35

35

20

46.6 46.4 46.4

46.4

16

16

16

16

30.6

30.4

30.4

30.4

2

纯化炉

70

35

40

0.5

10

40

35

15

46.6 46.4 46.4

46.5

16

16

16

16

30.6

30.4

30.4

30.5

2

二次配特

气装置

85

30

50

0.5

15

50

30

5

61.5 61.4 61.4

62.3

16

16

16

16

45.5

45.4

45.4

46.3

2

超声清洗

70

5

5

0.5

40

5

5

50

46.4 47.3 47.3

46.4

16

16

16

16

30.4

31.3

31.3

30.4

2

烘箱

70

10

10

0.5

35

10

10

45

46.4 46.6 46.6

46.4

16

16

16

16

30.4

30.6

30.6

30.4

2

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 69 —

纯水制备

70

40

40

0.5

5

40

40

15

47.3 46.4 46.4

46.5

16

16

16

16

31.3

30.4

30.4

30.5

2

闭式冷却

80

10

50

0.5

35

50

10

5

56.4 56.4 56.6

57.3

16

16

16

16

31.3

30.4

30.4

30.5

2

废气风机

1

80

20

50

0.5

25

50

20

5

56.4 56.4 56.4

57.3

16

16

16

16

40.4

40.4

40.6

41.3

2

废气风机

2

80

40

50

0.5

5

50

40

5

62.3 61.4 61.4

62.3

16

16

16

16

40.4

40.4

40.4

41.3

2

空压机

1

80

10

50

4.5

35

50

10

5

61.4 61.4 61.6

62.3

16

16

16

16

46.3

45.4

45.4

46.3

2

空压机

2

80

20

50

4.5

25

50

20

5

61.4 61.4 61.4

62.3

16

16

16

16

45.4

45.4

45.6

46.3

2

注:①本次评价以厂房西南角作为原点,以东西向、南北向分别作为

x 轴及 y 轴。②车间围墙开大窗且不密闭,门不密闭,TL 值取 10dB(A),

TL+6=16dB(A),基础减震降噪效果取 5dB(A)。

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— 70 —

2、噪声影响预测分析

1)预测模式

为了预测项目建成后噪声对外界的影响程度,根据本项目噪声源的特点和简化预

测过程,本次评价采用声导则工业噪声预测计算模式中的室内声源等效室外声源声功

率级与噪声贡献值计算方法。

①室内声源等效室外声源声功率级计算方法

设靠近开口处(或窗户)室内、室外某倍频带的声压级分别为

Lp1 和 Lp2。若声源

所在室内声场为近似扩散声场,则室外的倍频带声压级可按公式(

1)近似求出:

)

6

(

L

1

2

TL

L

p

p

1)

式中:

TL——隔墙(或窗户)倍频带的隔声量,dB。

4.4-1

室内声源等效室外声源图例

室内声源靠近维护结构处产生的倍频带声压级

Lp1 可按公式(2)计算得出。

R

4

4

Q

lg

10

L

2

1

r

L

W

p

2)

式中:

Q——指向性因数;通常对无指向性声源,当声源放在房间中心时,Q=1;

当放在一面墙的中心时,

Q=2;当放在两面墙夹角处时,Q=4;当放在三面墙夹角处

时,

Q=8。R——房间常数;R=Sα/(1-α),S 为房间内表面面积,m2;α为平均吸声系数。r——声源到靠近围护结构某点处的距离,m。

然后按公式(

3)计算出所有室内声源在围护结构处产生的 i 倍频带叠加声压级:

)

10

lg(

10

)

(

L

1

1

.

0

1

1

N

j

L

i

p

ij

p

T

3)

式中:

Lp1i(T)——靠近围护结构处室内 N 个声源 i 倍频带的叠加声压级,dB;

Lp1i——室内 j 声源 i 倍频带的声压级,dB;N——室内声源总数。

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— 71 —

在室内近似为扩散声场时,按公式(

4)计算出靠近室外围护结构处的声压级:

)

6

(

)

(

)

(

L

1

2

i

i

p

i

p

TL

T

L

T

4)

式中:

Lp2i(T)——靠近围护结构处室外 N 个声源 i 倍频带的叠加声压级,dB;

TLi——围护结构 i 倍频带的隔声量,dB。

然后按公式(

5)将室外声源的声压级和透过面积换算成等效的室外声源,计算

出中心位置位于透声面积(

S)处的等效声源的倍频带声功率级。

5)

然后按室外声源预测方法计算预测点处的声级。

②单个室外声源的预测方法

单个室外声源在预测点产生的声级计算公式如下:

Lp(r)=Lp(r0)+DC-(Adiv+Aatm+Agr+Abar+Amisc)

式中:

Lp(r)—预测点处的 A 声级,dB;

Lp(r0)—声源处的 A 声级,dB;DC—指向性校正,它描述点声源的等效连续声压级与产生声功率级 Lw 的全向点

声源在规定方向的声级的偏差程度,

dB;

Adiv—几何发散引起的衰减,dB;Aatm—大气吸收引起的衰减,dB;Agr—地面效应引起的衰减,dB;Abar—声屏障引起的衰减,dB;Amisc—其他多方面效应引起的衰减,dB。

③噪声贡献值计算方法

设第

i 个室外声源在预测点产生的 A 声级为 LAi,在 T 时间内该声源工作时间为

ti;第 j 个等效室外声源在预测点产生的 A 声级为 LAj,在 T 时间内该声源工作时间为tj,则拟建工程声源对预测点产生的贡献值(Leqg)为:

6)

式中:

tj——在 T 时间内 j 声源工作时间,s;

ti——在 T 时间内 i 声源工作时间,s;T——用于计算等效声级的时间,s;N——室外声源个数;

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 72 —

M——等效室外声源个数。

2)项目声源

项目对各噪声源均设置相应的隔声降噪措施,一般噪声源强可降低

15~25dB 左

右。根据各噪声源与预测点相对位置关系可知各噪声源到预测点的屏蔽衰减量。

3)预测方法

根据企业提供的厂区平面布置图和主要噪声源的分布位置,对主要噪声源做适当

的简化,按照导则要求根据噪声源设备的坐标、声功率级及其他相关参数,计算厂界

四周的噪声贡献值。

4)预测结果分析

4.4-3

声环境影响预测结果

预测点

位置

贡献值

标准值

达标情况

昼间

(dB)

夜间

(dB)

1

厂界东

46.5

65

55

达标

2

厂界南

46.3

达标

3

厂界西

46.4

达标

4

厂界北

47.1

达标

注:项目厂界外

50m 范围内不存在保护目标,故本次环评不做评价;项目属于扩建项目,但拟建

地距离现有厂区约

3.7km,属于异地新建,故本次评价不叠加本底值。

根据预测可知,该项目产生的噪声经隔音和距离衰减后的噪声值能满足相应标准

要求。该项目的设备在选型上尽可能选择低噪声设备,由预测结果可知项目建设对周

边声环境影响较小。

3、噪声防治措施

根据现有工程装置运行情况,建议采取以下措施:

1)对泵等类的噪声设备可装隔声罩。根据调查研究,1 毫米厚度钢板隔声量在

10dB,因此要求采用 1 毫米以上的钢板做隔声罩。此外,为减少隔声罩与罩壁产生共

振与吻合效应,在罩壁内应粘衬簿橡胶层,以增加阻尼效果。较大型机泵类设备还应

加装防振垫片,减少振动引起的噪声。

2)对于风机类设备的进出口管道,以及因工艺需要排气放空的管线,采取适

当消音措施,减少气流脉动噪声。较大型机泵类设备还应加装防振垫片,减少振动引

起的噪声。

3)加强设备的维护,确保设备处于良好的运转状态,杜绝因设备不正常运转

时产生的高噪声现象。

4)在工程设计、设备选型、管线设计、隔声消声设计时要严格按照设计要求

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— 73 —

进行,严把工程质量关,几种声学控制技术的适用场合及减噪效果见表

4.4-4。

4.4-4

几种声学控制技术的适用场合及减噪效果

序号

控制措施

适用场合

减噪效果

,dB

1

吸声

车间噪声设备多且分散

4~10

2

隔声

车间工人多,噪声设备少,用隔声罩,反之用隔声

墙,二者均不易封闭时采用隔声屏。

10~40

3

消声器

气动设备的动力性噪声

15~40

4

隔振

机械振动厉害

5~25

5

减振

设备金属外壳、管道等振动厉害

5~15

4、监测计划

根据《排污单位自行监测技术指南 总则》(

HJ819-2017)和《排污许可证申请

与核发技术规范

工业噪声》

HJ1301-2023),本项目运营期噪声监测计划见表 4.4-5。

4.4-5

噪声监测计划

监测点位

监测因子

监测频率

执行标准

厂界四周

昼夜间等效

A 声级

1 次/季度

GB12348-2008

4.5 营运期固体废物影响和保护措施1、固体废物产生情况

项目

MTS、氢气、氩气、氮气采用钢瓶包装气体,钢瓶由厂家回收后用于原始用

途,不作为固废管理。项目产生的固体废物主要有:废气体纯化吸附剂、废一般包装

材料、沉积残渣、不合格品、废石墨毡、废碱液、废包装袋、废离子交换树脂、废

RO 膜、废过滤吸附材料、浓缩液、废润滑油、废油桶、含油抹布、生活垃圾等。

1)废气体纯化吸附剂

项目氢气和氩气在使用前设有氢气纯化机和氩气纯化机进行纯化处理,纯化机内

装有吸附剂用于吸附气体中的水分、杂质等,吸附剂定期更换,根据估算,气体纯化

废气体纯化吸附剂年产量约

0.02t/3a。

2)废一般包装材料

项目原料购入及产品包装过程会产生一定量的一般废包装材料,主要成分为塑料

袋、纸板箱等。根据估算,确定项目一般废包装材料产生量约

0.2t/a。

3)沉积残渣

碳化硅沉积过程中,约

35%碳化硅在沉积炉腔内沉积,每半年对 CVD 炉清理内

腔,会产生沉积残渣,根据物料平衡,产生量约

0.64t/a。

4)不合格品

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— 74 —

项目石墨盘生产过程会有不合格产品产生,产生量约为

400 套,每套产品重约

18.7kg,则不合格品产生量约为 7.5t/a。

5)废石墨毡

项目

CVD 沉积炉配套过滤罐会使用石墨毡,每批次反应完需进行更换,根据企

业提供资料,废石墨毡产生量为

6t/a。

6)废碱液

沉积炉自带的过滤罐更换石墨毡中可能含

MTS、SiCl4 等,故委托处置前需浸入

碱液进行中和后再出厂。根据企业设计资料,一个批次需用

50L 碱液(浓度约 4%),

则废碱液产生量约

12.5t/a。

7)废包装袋

根据《危险化学品目录(

2015 版)》规定,氢氧化钠属于危险化学品,片碱废包

装袋属于危险废物。根据氢氧化钠用量,废包装袋产生量约为

0.01t/a。

8)废离子交换树脂、废 RO 膜

项目纯水制备系统采用树脂交换

+一级 RO,一般情况下离子交换树脂每 3 年更换

一次,

RO 膜 5 年更换一次。根据估算,确定废离子交换树脂产生量约 0.01t/3a、废

RO 膜产生量约 0.01t/5a。

9)废过滤吸附材料

项目每台纯化炉及

CVD 炉维护时均配置过滤吸附设施,每台过滤装置内填装过

滤吸附棉(合计约

0.12 吨),过滤吸附材料每个月更换一次,则废过滤吸附材料产生

量为

1.44t/a。

10)浓缩液

根据废水方案,项目生产废水经预处理设施(低温蒸发器)处理后清水回用于废

气喷淋补充用水,清水产水率不低于

90%,保守估算浓缩液(61t/a)作为危废委托处

置。

11)废润滑油、废油桶、含油抹布

项目生产过程中,设备保养、维修过程会产生废矿物油、废油桶和废含油抹布。

根据矿物油使用量估算,废矿物油产生量约

0.5t/a,废油桶 0.06t/a。根据抹布使用量

估算,含油抹布产生量约

0.05t/a。

12)生活垃圾

项目定员

35 人,生活垃圾产生量按 0.5kg/p·d 计;根据估算,生活垃圾产生量约

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— 75 —

5.25t/a。

固废产生情况汇总见表

4.5-1。

4.5-1

固废产生情况一览表

单位:

t/a

序号

名称

产生工序

形态

主要成分

产生量(

t/a)

1

废气体纯化吸附剂

气体纯化

固态

氧化铝等吸附剂

0.02t/3 年

2

废一般包装材料

石墨拆包

固态

纸、袋

0.2

3

沉积残渣

气相沉积炉

固态

碳化硅

0.64

4

不合格品

检测

固态

石墨

7.5

5

废石墨毡

气相沉积炉维护

固态

石墨

6

6

废碱液

石墨毡浸泡

液态

碱液

12.5

7

废包装袋

氢氧化钠包装

固态

沾染氢氧化钠包装袋

0.01

8

废离子交换树脂

纯水制备

固态

废树脂

0.01t/3 年

9

RO 膜

固态

RO 膜

0.01t/5 年

10

废过滤吸附材料

废气处理

固态

废过滤棉

1.44

11

浓缩液

废水处理

液态

盐类等

61

12

废润滑油

设备维修、保养

液态

废矿物油

0.5

13

废油桶

固态

沾染矿物油的铁桶

0.06

14

含油抹布

固态

含油抹布

0.05

15

生活垃圾

员工生活

固态

废纸张等

5.25

2、固体废物属性判定

根据《固体废物鉴别标准 通则》(

GB34330-2017),对本项目副产物的固体废

物属性进行判定,结果见表

4.5-2。

4.5-2

副产物鉴别结果

序号

名称

产生工序

形态

主要成分

是否属于

固体废物

判定依据

1

废气体纯化吸附剂

气体纯化

固态

氧化铝等吸附剂

4.1c

2

废一般包装材料

石墨拆包

固态

纸、袋

4.1c

3

沉积残渣

气相沉积炉

固态

碳化硅

4.2a

4

不合格品

检测

固态

石墨

4.1a

5

废石墨毡

气相沉积炉维护

固态

石墨

4.1c

6

废碱液

石墨毡浸泡

液态

碱液

4.1c

7

废包装袋

氢氧化钠包装

固态

沾染氢氧化钠包装袋

4.1c

8

废离子交换树脂

纯水制备

固态

废树脂

4.3e

9

RO 膜

固态

RO 膜

4.3e

10

废过滤吸附材料

废气处理

固态

废过滤棉

4.1c

11

浓缩液

废水处理

液态

盐类等

4.3e

12

废润滑油

设备维修、保养

液态

废矿物油

4.1c

13

废油桶

固态

沾染矿物油的铁桶

4.1c

14

含油抹布

固态

含油抹布

4.1c

15

生活垃圾

员工生活

固态

废纸张等

/

根据《国家危险废物名录

2025 版》和《固体废物分类与代码目录 2024》,判定

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— 76 —

本项目的固体废物是否属于危险废物及其类别代码,判定结果见表

4.5-3。

4.5-3

危险废物属性判定表

序号

固体废物名称

产生工序

是否属于危险废物

废物代码

危险特性

1 废气体纯化吸附剂

气体纯化

900-009-S59

/

2

废一般包装材料

石墨拆包

900-005-S17

/

3

沉积残渣

气相沉积炉

900-009-S59

/

4

不合格品

检测

900-099-S17

/

5

废石墨毡

气相沉积炉维护

900-041-49

T/In

6

废碱液

石墨毡浸泡

900-352-35

C,T

7

废包装袋

氢氧化钠包装

900-041-49

T/In

8

废离子交换树脂

纯水制备

900-099-S17

/

9

RO 膜

900-099-S17

/

10

废过滤吸附材料

废气处理

900-041-49

T/In

11

浓缩液

废水处理

772-006-49

T/In

12

废润滑油

设备维修、保养

900-217-08

T,I

13

废油桶

900-249-08

T,I

14

含油抹布

900-041-49

T/In

15

生活垃圾

员工生活

9001-099-S64

/

3、固体废物源强核算

本项目固体废物污染源源强核算结果及相关参数见表

4.5-4。

4.5-4

固体废物污染源源强核算结果及相关参数一览表

序号

名称

产生工序

固废属性

废物代码

产生量

(t/a)

处置量

(t/a)

最终去向

1

废气体纯化

吸附剂

气体纯化

一般固废

900-009-S59

0.02

0.02

委托综合

利用

2

废一般包装

材料

石墨拆包

一般固废

900-005-S17

0.2

0.2

3

沉积残渣

气相沉积炉

一般固废

900-009-S59

0.64

0.64

4

不合格品

检测

一般固废

900-099-S17

7.5

7.5

5

废离子交换

树脂

纯水制备

一般固废

900-099-S17

0.01

0.01

6

RO 膜

一般固废

900-099-S17

0.01

0.01

7

废石墨毡

气相沉积炉

维护

危险废物

900-041-49

6

6

委托有资

质的单位

进行处理

8

废碱液

石墨毡浸泡

危险废物

900-352-35

12.5

12.5

9

废包装袋

氢氧化钠包

危险废物

900-041-49

0.01

0.01

10

废过滤吸附

材料

废气处理

危险废物

900-041-49

1.44

1.44

11

浓缩液

废水处理

危险废物

772-006-49

61

61

12

废润滑油

设备维修、保

危险废物

900-217-08

0.5

0.5

13

废油桶

危险废物

900-249-08

0.06

0.06

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 77 —

14

含油抹布

危险废物

900-041-49

0.05

0.05

15

生活垃圾

员工生活

/

9001-099-S64

5.25

5.25

环卫清运

4、固体废物收集、贮存、处置和管理要求

依据《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》、《浙江省固体废物污染环境

防治条例

(修正)》、《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)、《危险废物

识别标志设置技术规范》

(HJ1276-2022)、《浙江省工业固体废物电子转移联单管理办

法(试行)》等法律法规和文件的要求,提出固体废物环境管理要求。

一般工业固废环境管理要求:

(1)一般工业固体废物贮存库应满足防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求,并

按《浙江省工业固体废物电子转移联单管理办法(试行)》要求规范转移。

(2)设立固废台账管理制度,应将入库的一般工业固体废物的种类和数量等进行详

细记录,长期保存,供随时查阅;

(3)一般固废仓库禁止危险废物和生活垃圾混入。

危险废物环境管理要求:

1)收集管理要求

●企业应该根据危险废物产生的工艺特征、排放周期、危险废物特性、废物管理

计划等因素制定收集计划。

●制定详细的危险废物收集操作规程,包括适用范围、操作程序和方法、专用设

备和工具、转移和交换、应急防护等。

●收集和转运作业人员应根据工作需要配备必要的个人防护装备。

2)贮存设施建设要求

企业新建一座

5m2 的危废仓库和一座 10m2 的一般固废仓库,危废暂存间设置应

按照《危险废物贮存污染控制标准》(

GB18597—2023)要求进行实施。包括但不限

于以下内容:

●贮存设施应根据危险废物的形态、物理化学性质、包装形式和污染物迁移途径,

采取必要的防风、防晒、防雨、防漏、防渗、防腐以及其他环境污染防治措施,不应

露天堆放危险废物。

● 贮存设施应根据危险废物的类别、数量、形态、物理化学性质和污染防治等要

求设置必要的贮存分区,避免不相容的危险废物接触、混合。贮存设施或贮存分区内

地面、墙面裙脚、堵截泄漏的围堰、接触危险废物的隔板和墙体等应采 用坚固的材

料建造,表面无裂缝。贮存设施地面与裙脚应采取表面防渗措施

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— 78 —

●危废暂存间地面须硬化防渗处理,设置泄漏液体的收集渠,然后自流至在最低

处设置的地下收集池

(容积由企业根据实际自定)。暂存间门口须有围堰(缓坡)或截留沟

防止仓库废物向外泄漏。仓库地面应保持干净整洁。

●容器和包装物材质、内衬应与盛装的危险废物相容。硬质容器和包装物及其支

护结构堆叠码放时不应有明显变形,无破损泄漏。危险废物必须进行包装

(袋装、桶装),

不得散装。容器应完好无损,产生气味或

VOC 的废物应实行密闭包装。

●危废暂存间、分区和危废包装容器上必须粘贴符合《危险废物识别标志设置技

术规范》

(HJ1276-2022)附录 A 所示的标签。

●企业须作好危险废物台账记录,记录上须注明危险废物的名称、来源、数量、

特性和包装容器的类别、存放日期等。

3)危险废物处置及日常管理要求

①危险废物处置。危险废物收集后委托有资质单位进行处置,对受托方的主体资

格和技术能力进行核实,依法签订书面合同,在合同中约定污染防治要求。

②日常管理要求。根据《建设项目危险废物环境影响评价指南》,本报告对危险

废物日常管理提出以下要求。

●要求企业履行申报的登记制度、建立危废管理台账制度,及时登记各种危废的

产生、转移、处置情况,台账至少保存

5 年。

●严格落实危险废物台帐管理制度,不同种类危废分别建立台帐。认真登记各类

危废的产生、贮存、转移量。

●根据《浙江省危险废物交换和转移办法》、《浙江省危险废物经营许可证管理

暂行办法》、《危险废物转移管理办法》等,落实好危废转移计划及转移联单制度,

并由专职管理人员进行危险废物管理。

●根据《浙江省生态环境厅关于印发深化危险废物闭环监管“一件事”改革方案的

通知》

(浙环发〔2021〕17 号),企业通过移动端(浙里办)、PC 端(省固废平台)、

现场端(智能磅秤)完成危废产生台账填报,形成浙固码危险废物标签,后续收集、

运输、处置单位实现固体废物全过程一码溯源管理。

●本项目危险废物的运输方式为汽车运输,危险废物运输应由具有从事危险废物

运输经营许可性的运输单位完成,运输过程严格按照《危险废物收集贮存运输技术规

范》(

HJ2025-2012)进行。

5、固体废物环境影响分析

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— 79 —

1)收集过程环境影响分析

本项目拟对各类固体废物按相关要求进行分类收集,根据各类固体废物的相容

性、反应性进行分类收集。采取分类收集后,可避免危险废物与一般工业固体废物、

生活垃圾等混合,从而避免收集过程的二次污染。其中,危险固废收集过程按照《危

险废物收集 贮存 运输技术规范》

(HJ2025-2012)进行。其收集过程可能因管理不善,

导致其泄漏、飞扬,对环境空气、周边水体、地下水等造成污染,或者因包装袋标签

标示不清,造成混放,带来交叉污染。

2)贮存过程环境影响分析

根据工程分析,本项目危险废物产生量最大约

81.6t/a,其中浓缩液 61t/a、废碱液

12.5t/a 采用吨桶在危废库进行暂存(每月进行转移),其他危废 8.1t/a 采用桶装或袋

装在危废库进行暂存。本项目危废暂存库面积为

10m2,危废暂存库有效暂存面积按总

面积的

80%计,则估算最大暂存能力约 8t,可以满足企业危废暂存要求(按照暂存周

期,项目最大暂存量约

7.4t),同时环评要求建设单位按照要求进行危废定期处置,

则企业危废库完全能够满足企业的危废暂存需要。贮存场所按《危险废物贮存污染控

制标准》(

GB18597-2023)的相关规定进行建设,按危废库建设要求进行施工防渗,

正常运行情况下,不会有危废泄漏情况发生,也不会对空气、地下水、土壤环境造成

影响。

4.5-5

危险废物贮存场所基本情况表

贮存场所名称

面积

危险废物名称

危险废物

类别

危险废物

代码

贮存方

贮存能

力(

t)

贮存周

危废库

~5m2

废石墨毡

HW49

900-041-49

袋装

≥4

1个月

废碱液

HW35

900-352-35

吨桶

1个月

废包装袋

HW49

900-041-49

袋装

≥4周

废过滤吸附材料

HW49

900-041-49

袋装

1个月

浓缩液

HW49

772-006-49

吨桶

1个月

废润滑油

HW08

900-217-08

桶装

≥4周

废油桶

HW08

900-249-08

桶装

≥4周

含油抹布

HW49

900-041-49

袋装

≥4周

综上所述,本项目产生的各类固废均能妥善落实处置途径;危险废物暂存场所严

格按照《危险废物贮存污染控制标准》(

GB18597-2023)、《危险废物收集 贮存 运

输技术规范》(

HJ2025-2012)要求进行建设,危险废物建立相应台帐制度,落实专

职管理人员对危险废物的产生、收集、暂存及委托处理等有详细的记录,并严格遵守

危险废物转移联单制度,对周边环境影响很小。

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— 80 —

4.6 营运期地下水、土壤环境影响分析1、地下水、土壤污染源污染物类型及污染途径

本项目生产车间进行硬化处理,无遗留环境污染问题,在做好车间内、危废暂存

库防腐防渗的前提下,正常情况下不会对地下水及土壤造成污染。

非正常工况下,本项目对土壤、地下水产生污染的途径主要是地面漫流和垂直入

渗,环境影响源及影响因子见表

4.6-1。

4.6-1

环境影响源及影响因子识别表

污染源

工艺流程

/

节点

污染途径

全部污染物指标

特征因子

备注

生产车

生产装置

大气沉降

氟化物、氯化氢、

非甲烷总烃等

氟化物、氯化氢、非甲

烷总烃等

正常、连续

地面漫流

石墨盘清洗废水、原辅料等液体物料

石墨盘清洗废水、原辅

料等液体物料

事故、间断

垂直入渗

事故、间断

废气处理装置

废气处理

大气沉降

氟化物、氯化氢、

非甲烷总烃等

氟化物、氯化氢、非甲

烷总烃等

正常、连续

污水处理系统

废水处理

地面漫流

CODcr、氨氮等

CODcr、氨氮等

事故、间断

垂直入渗

事故、间断

储存区

危化品储

地面漫流

危化品

危化品

事故、间断

垂直入渗

危化品

危化品

事故、间断

危废暂存

地面漫流

危险废物

危险废物

事故、间断

垂直入渗

危险废物

危险废物

事故、间断

2、防控措施

1)源头控制。主要包括在工艺、管道、设备、污水储存及处理构筑物采取相

应措施,防止和降低污染物跑、冒、滴、漏,将污染物泄漏的环境风险事故降到最低

程度;管线敷设尽量采用

“可视化”原则,即管道尽可能地上或架空敷设,做到污染物

“早发现、早处理”,减少由于埋地管道泄漏而造成的土壤和地下水污染。

2)末端控制措施。采取分区防渗,重点污染防治区、一般污染防治区和非污

染防治区防渗措施有区别的防渗原则。。

3)根据本项目物料性质、污染物泄漏的途径和生产功能单元所处的位置,将

本项目工程区划分为非污染区、一般污染防治区和重点污染防治区,具体见表

4.6-2

和图

4.6-1。

4.6-2

厂区防渗分区建议

分区类别

功能区域

防渗要求

重点防渗区

危废暂存间

渗透系数

≤10-7cm/s,等效黏土防渗层≥6m

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— 81 —

一般防渗区

生产车间其他区域、特气房

渗透系数

≤10-7cm/s,等效黏土防渗层≥1.5m

4.6-1

分区防渗图

只要建设单位切实落实好废水的收集、输送以及各类固体废物的贮存工作,做好

各类设施及地面的防腐、防渗措施,特别是对危废暂存库等设施的地面防渗工作,本

项目的建设对土壤、地下水的环境影响是可接受的。

4.7 环境风险环境影响和保护措施

1、风险调查

根据企业提供资料,并查阅《危险化学品名录(

2015 版)》,本项目风险源识别

具体见表

4.7-1。

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— 82 —

4.7-1

危化品储存情况汇总表

序号

物料名称

容器规格

成分及含量

最大储存

储存地点

1

一甲基三氯硅烷

250kg/桶

甲基三氯硅烷

0.25t

特气房

2

氢气

40L/瓶

高纯氢气

16 瓶

0.045t)

特气房

3

HCl(反应生成)

/

HCl

0.7kg

CVD 炉

4

F2(反应生成)

/

F2

0.18kg

纯化炉

5

润滑油

200kg/桶

矿物油

0.2t

辅助仓库

6

危险废物

/

废包装袋、

RO 膜、

废过滤材料、浓缩

液、废润滑油、废油

桶、含油抹布等

7.4t

危废仓库

+浓缩

液吨桶

+废碱液

吨桶

2、风险潜势初判

建设项目环境风险潜势划分为

I、II、III、IV/VI+级。

根据建设项目涉及的物质和工艺系统的危险性及其所在地的环境敏感程度,结合

事故情形下环境影响途径,对建设项目潜在环境危害程度进行概化分析,按照表

4.7-2

确定环境风险潜势。

4.7-2

建设项目环境风险潜势划分

环境敏感程度

(E)

危险物质及工艺系统危险性

(P)

极高危害

(P1)

高度危害

(P2)

中度危害

(P3)

轻度危害

(P4)

环境高度敏感程度

(E1)

IV+

IV

III

III

环境中度敏感程度

(E2)

IV

III

III

II

环境低度敏感程度

(E3)

III

III

II

I

注:

IV+为极高环境风险

项目涉及的危险物质总量与其临界量比值

Q 计算公式如下:

Q =

q1

Q1

+

q2

Q2

+ ⋯ +

qn

Qn

式中:

q1,q2…qn——每种危险物质的最大存在总量,t

Q1,Q2…Qn——每种危险物质的临界量,t。

Q<1 时,该项目环境风险潜势为 I。

Q≥1 时,将 Q 值划分为:(1)1≤Q<10;(2)10≤Q<100;(3)Q≥100。

项目涉及的危险物质量及其

Q 值的计算见表 4.7-3。

4.7-3

项目涉及的危险物质数量与临界量比值

序号

名称

位置

最大存在总量

qn/t 临界量Qn/t 该种危险物质Q值

1

一甲基三氯硅烷

特气房

0.25

2.5

0.10

2

氢气

特气房

0.045

10

0.0045

./tmp/ab28343a-69db-4b39-ab3d-85b927d1c230-html.html

— 83 —

3

HCl(反应生成)

CVD 炉

0.0007

2.5

0.00028

4

F2(反应生成)

纯化炉

0.00018

0.5

0.00036

5

润滑油

辅助仓库

0.2

2500

0.00008

6

危险废物

危废仓库

+浓

缩液吨桶

+废

碱液吨桶

7.4

50

0.148

7

合计

0.25

综上,项目

Q 值为 0.25<1,因此,项目的环境风险潜势为 I。

3、风险识别

对项目风险物质进行分析,项目环境风险识别情况见表

4.7-4。

4.7-4

项目环境风险识别情况表

序号

危险单元

风险源

主要危险

物质

环境风险

类型

环境影响途径

可能受影响的环境敏感

目标

1

生产车间

纯化炉、沉积炉

MTS、氢气

火灾爆

炸、泄露

1、泄露后流至地表水,渗透土壤,污染地下水;挥发至大气中;2、泄漏后氢气等遇明火发生火灾、爆炸,燃烧二次污染物进入大气;3、消防废水进入地表水体;

周边地表

水、地下水和大气环境

2

化学品运

输过程

车辆、管道

MTS、氢气

火灾爆

炸、泄露

1、泄露后流至地表水,渗透土壤,污染地下水;挥发至大气中;2、泄漏后氢气等遇明火发生火灾、爆炸,燃烧二次污染物进入大气;3、消防废水进入地表水体;

周边地表

水、地下水和大气环境

3

特气房

原料储存

MTS、氢气

火灾爆

炸、泄露

1、泄露后流至地表水,渗透土壤,污染地下水;挥发至大气中;2、泄漏后氢气等遇明火发生火灾、爆炸,燃烧二次污染物进入大气;3、消防废水进入地表水体;

周边地表

水、地下水和大气环境

4

危废暂存

危废包装桶等

废矿物油、

废吸附剂

火灾爆

炸、泄露

1、泄露后流至地表水,渗透土壤,污染地下水;2、遇明火发生火灾、爆炸,燃烧二次污染物进入大气;3、消防废水进入地表水体;

周边地表

水、地下水和大气环境

5

废气环保治理系统

废气处理设施

粉尘、氯化

氢等

超标排放

未经达标处理的废气进入大气中

周边大气环境

6

废水环保治理系统

废水治理设施

pH、CODCr

超标排

放、泄漏

未经达标处理的废水进入市政污水处理厂;泄露后流至地表水,渗透土壤,污染地下水;

污水处理厂及周边地表水、地下水

4、环境风险防范措施及应急要求

1)贮存单元风险防范措施

贮存过程事故风险主要是因原料泄漏而造成的火灾爆炸、物料泄漏等事故,是安

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— 84 —

全生产的重要方面。危险化学品必须按要求进行分类储存,危险化学品贮存的场所必

须是经公安消防部门审查批准设置的专门危险化学品中间仓库房;爆炸物品、遇湿燃

烧物品、剧毒物品和易燃物品不能露天堆放。要严格遵守有关贮存的安全规定,具体

包括《仓库防火安全管理规则》、《建筑设计防火规范》、《易燃易爆化学物品消防

安全监督管理办法》等。

2)生产单元风险防范措施

项目生产单元涉及甲基三氯硅烷、氢气的使用,在日常运输装卸过程中,应采取

以下风险防范措施:

●在装卸化学危险物品前,要预先做好准备工作,了解物品性质,检查装卸搬运

的工具是否牢固,不牢固的应子以更换或修理。如工具上曾被易燃物、有机物、酸、

碱等污染的,必须清洗后方可使用。

●操作人员应根据不同物资的危险特性,分别穿戴相应的防护用具。防护用具包

括工作服、橡皮围裙、橡皮袖罩、橡皮手套、长筒胶靴、防毒面具、滤毒口罩、纱口

罩、纱手套和护目镜等。操作前应由专人检查用具是否妥善,穿戴是否合适。操作后

应进行清洗或消毒,放在专用的箱柜中保管。

●化学危险物品撒落在地面、车板上时,应及时扫除,对易燃易爆物品应用松软

物经水浸湿后扫除。

●在装卸化学危险物品及回收介质时,不得饮酒、吸烟。工作完毕后根据工作情

况和危险品的性质,及时清洗手、脸、漱口或淋浴。必须保持现场空气流通,如果发

现恶心、头晕等中毒现象,应立即到新鲜空气处休息,脱去工作服和防护用具,清洗

皮肤沾染部分,重者送医院诊治。

3)环保设施事故防范措施

●废水。就本项目而言,在发生风险事故时产生的事故废水对周围水环境的影响

途径有两条:一是事故废水没有控制在厂区内,进入附近内河水体,污染内河水体水

质;二是事故废水虽然控制在厂区内,但是出现大量超标废水通过管网进入下游园区

污水处理厂,影响污水处理厂的正常运行,导致污水处理厂外排污水超标,间接污染

附近水环境水体水质。

事故废水应急收集暂存。企业应建设符合规范的事故应急池,事故应急池通过三

通阀与雨水管道相连通,并通过管道与污水处理预处理设施连接,确保消防废水和事

故废水均可得到妥善的收集暂存。

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— 85 —

事故废水的处理及外排。收集暂存的事故废水应首先进行水质分析,根据水质分

析结果和污水站的处理能力,分批次将事故废水泵入污水处理预处理设施或委托第三

方处置,防止事故废水对污水处理预处理设施形成负荷冲击,导致纳管废水超标。

●废气。各生产环节严格执行生产管理的有关规定,加强设备的检修及保养,提

高管理人员素质,并设置机器事故应急措施及管理制度,确保设备长期处于良好状态,

使设备达到预期的处理效果。

工作人员定时记录废气处理状况,如对废气处理设施的循环液系统、抽风机等设

备进行点检工作,并派专人巡视,遇不良工作状况立即停止车间相关作业,维修正常

后再开始作业,杜绝事故性废气直排,并及时呈报单位主管。待检修完毕再通知生产

车间相关工序。

根据《浙江省应急管理厅浙江省生态环境厅关于加强工业企业环保设施安全生产

工作的指导意见》(浙应急基础〔

2022〕143 号)“企业是各类环保设施建设、运行、

维护、拆除的责任主体,应对脱硫脱硝、挥发性有机物回收、污水处理、粉尘治理(指

易燃易爆的粉尘治理设施)、

RTO 焚烧炉等五类重点环保设施开展安全风险评估和隐

患排查治理,并将相关信息报送生态环境部门和相关行业主管部门,抄送应急管理部

门。应健全内部污染防治设施稳定运行和管理责任制度,严格依据标准规范建设环保

设施,确保环保设施安全、稳定、有效运行。应将环保设施纳入安全评价范围

”。

本项目涉及污水处理设施,企业应健全内部污染防治设施稳定运行和管理责任制

度,委托有相应资质的设计单位对建设项目重点环保设施进行设计,严格依据标准规

范建设环保设施,确保环保设施安全、稳定、有效运行,并将环保设施纳入安全评价

范围。

4)火灾爆炸事故防范措施

● 在 设 计 、 施 工 、 生 产 等 各 方 面 必 须 严 格 执 行 《 建 筑 设 计 防 火 规 范 》

GB50016-2014)、《消防给水及消火栓系统技术规范》(GB50974-2014)等标准、

规范要求。

●在日常运行管理中,须加强相关人员的培训与管理工作,提高人员素质,强化

安全意识,尽量避免人为因素引起事故。

5)事故应急池设置

根据《建设项目环境风险评价技术导则》(

HJ69-2018)要求,建设项目应设置

事故废水收集(尽可能以非动力自流方式)和应急储存设施,以满足事故状态下收集

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— 86 —

泄漏物料、污染消防水和污染雨水的需要。故本项目应设置事故应急池。参照《化工

建设项目环境保护设计规范》(

GB50483-2019)、《石化企业水体环境风险防控技术

要求》(

Q/SH 0729-2018)等相关技术规范,结合项目特点,经计算,项目事故应急

池设置容积建议值为:

V 总= (V1+ V2- V3)max + V4+ V5。

注:

(V1+ V2- V3) max 是指对收集系统范围内不同罐组或装置分别计算 V1+ V2-

V3,取其中最大值。

V1--收集系统范围内发生事故的一个罐组或一套装置的物料量;考虑废气喷淋浓

缩液泄露,

V1 取 2m3。

V2--发生事故的储罐或装置的消防水量;发生火灾时,消防废水产生量平均为

20L/s,消防时间取 1h,则消防废水产生量约为 72m3,因此 V2=72m3。

V3--发生事故时可以转输到其他储存或处理设施的物料量,m3;V4--发生事故时仍必须进入该收集系统的生产废水量,m3;本项目取 0。V5--发生事故时可能进入该收集系统的降雨量,m3;厂区集雨面积按 0.47ha 计,

当地年平均降水量为

1309 毫米。

V5=10qFq--降雨强度,mm;按平均日降雨量;q=qa/nqa--年平均降雨量,mm;n--年平均降雨日数,按 144 天。F--必须进入事故废水收集系统的雨水汇水面积,ha。经计算,V5=42.7m3。

综上,本项目事故废水产生情况计算结果见表

4.7-5。由表可知,本项目需设置容

积不小于

116.7m3 的事故应急池。

4.7-5

项目事故废水产生情况计算结果表(单位:

m3)

工程名称

V1

V2

V3

V4

V5

V= V1+ V2- V3+ V4+ V5

计算结果

2

72

0

0

42.7

116.7

为确 保泄漏物 料或事故 废水的 收集,本 报告要求 配备一 定容积( 建议容积

≥116.7m3)的收集池,并配泵、输送软管(泵的流量和输送软管要满足输送需求)和

相应的电气设施,确保事故发生时,可以及时将收集池中的物料或废水输送转移至不

锈钢水箱,将事故影响控制在车间内。

6)编制应急预案

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— 87 —

建设单位应根据《企业突发环境事件风险分级方法》(

HJ941-2018)等要求编制

突发环境污染事故应急预案,并到当地生态环境主管部门备案。此外,企业应根据应

急预案配备必要的应急物资,加强应急演练,加强本单位应急体系建设,提高应急人

员的应急能力。

4.7-6 建设项目环境风险简单分析表

项目名称

浙江华熔科技股份有限公司半导体关键元器件项目

建设地点

长兴县煤山镇南太湖青年科技创业园

地理坐标

119度72分24.321秒,31度11分73.401秒

主要危险物质及

分布

车间、特气房:

MTS、氢气等

危废暂存库:废矿物油、废吸附剂等

环境影响途径及

危害后果

(大气、

地表水、地下水

)

大气:废气处理措施失效导致废气未经处理排入大气、火灾爆炸引起的二次污染造成周边大气环境污染。地表水:化学品泄露、消防废水未能有效收集,漫流进入附近地表水,造成地表水环境污染;事故废水排入市政污水管网,影响污水处理厂的正常运行。地下水:地面防渗措施失效或泄露的化学品、消防废水未能有效收集,渗入土壤和地下水,造成污染。

风险防范措施

①强化风险意识、加强安全管理;②加强生产过程安全控制;③加强末端处理设施风险防范;④加强运输过程事故风险防范;⑤加强贮存过程事故风险防范;⑥编制环境应急预案⑦气体库、

CVD生产车间设置可燃气体报

警器。

填表说明(列出项目相关信息及评价说明):经识别,本项目环境风险潜势划分为

Ⅰ,主要环境风险为MTS等泄漏事故或火灾爆炸事故、废气

处理装置事故造成的废气事故性排放及废水处理设施事故排放情况。建设单位应通过实施各项防范措施和应急措施,防范风险事故发生。综上所述,本项目的风险水平属于可以接受的范畴。

4.8 生态环境影响和保护措施

根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类)(试行)》,产业

园区外建设项目新增用地且用地范围内含有生态环境保护目标的,应明确保护措施。

本项目在租赁厂房内实施扩建,无需新增土地,对生态环境影响较小。

4.9 电磁辐射

本项目不属于电磁辐射型项目。

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— 88 —

五、环境保护措施监督检查清单

内容

要素

排放口

(编

号、名称

)/

污染源

污染物项目

环境保护措施

执行标准

大气环境

DA001

氯化氢、非甲烷总

烃、颗粒物

各设备自带的冷凝

+过滤罐+二级碱

液喷淋塔(每级喷淋

塔均为

3 层旋流板)

《大气污染物综合排放标

准》(

GB16297-1996)表 2

新污染源大气污染物排放限

DA001(设备

维护)

颗粒物、氯化氢、

非甲烷总烃

车间级废气处理系

统(一级干式过滤

+

二级碱液喷淋塔)

(每级喷淋塔均为

2

层填料式塔)

DA002

氟化物、颗粒物

设备自带的

1 级过

滤罐后送新建的二

级碱液喷淋塔(每级

喷淋塔均为

2 层填

料式塔)

水环境

DW001

废水总排口

COD、NH3-N

生活废水经化粪池

处理后直接纳管

《电子工业水污染物排放标

准》(

GB39731-2020)中的

1 标准,其中氨氮执行《工

业企业废水氮、磷污染物间

接排放限值》

DB33/887-2013)

雨水排放口

/

/

/

声环境

厂界

噪声

建筑隔声、距离衰

减等措施

《工业企业厂界环境噪声排

放标准》(

GB12348-2008)

电磁辐射

/

/

/

/

固体废物

固体废物应有固定的专门存放场地,分类贮存、规范包装并应防止风吹、日晒、雨淋,

严禁乱堆乱放,严格执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》

(GB18599-2020)、《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)。日常管理中要履行申报登记制度、建立台账制度,危险固废处置应执行报批和转移联单等制度。

土壤及地

下水污染

防治措施

1、源头控制:主要包括在工艺、管道、设备等采取相应措施,防止和降低污染物跑、冒、滴、漏,将污染物泄漏的环境风险事故降到最低程度。

2、末端控制:主要包括厂内污染区地面的防渗措施和泄漏、渗漏污染物收集措施,即在污染区地面进行防渗处理,防止洒落地面的污染物渗入地下,并把滞留在地面的污

染物收集起来,集中送至危废暂存库;末端控制采取分区防渗,重点污染防治区、一

般污染防治区和非污染防治区防渗措施有区别的防渗原则。

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— 89 —

3、应急响应:一旦发现地下水污染情况,立即启动应急预案、采取应急措施控制地下水污染,并进行治理修复。

生态保护

措施

/

环境风险

防范措施

企业应强化风险管理意识,加强生产过程、运输过程、贮存过程、末端处置过程风险

防范,及时编制应急预案并备案,依照相应要求完善应急物资储备并定期组织应急演

练。

其他环境

管理要求

1、严格执行“三同时”制度

根据《建设项目环境保护管理条例》第十五条规定

“建设项目需要配套建设的环保

设施,必须与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用。

”。因此,本项目在筹备、

设计和施工、运行的不同阶段,应严格执行

“三同时”制度。

2、竣工环境保护验收要求

根据《建设项目环境保护管理条例》第十九条规定

“编制环境影响报告书、环境影

响报告表的建设项目,其配套建设的环境保护设施经验收合格,方可投入生产或者使

用;未经验收或者验收不合格的,不得投入生产或者使用。

”因此,项目竣工后,企业

应根据《建设项目竣工环境保护验收技术指南污染影响类》、环评文件及批复要求,

自主开展建设项目竣工环境保护验收工作。

3、根据《浙江省生态环境厅 浙江省应急管理厅关于加强工业企业环保设施安全

生产工艺的指导意见》(浙应急基础〔

2022〕143 号)的要求,废水污染防治设施设计

时应进行安全设计,并纳入安全评价范围。

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六、结论

浙江华熔科技股份有限公司半导体关键元器件项目拟建于长兴经济开发区绿色制

造产业园(新型材料产业园

-中部主园区),符合环境功能区划、土地利用规划和城乡

总体规划的要求;项目未涉及生态保护红线。本项目配套了有效的三废处理设施,本项

“三废”均能符合国家、省规定的污染物排放标准,排放的污染物总量可区域调剂解决,

项目实施后造成的环境影响符合项目所在地环境功能区划确定的环境质量要求,项目实

施不触及环境质量底线;项目具有较高的清洁生产水平,其资源利用不会突破区域的资

源利用上线;项目风险防范措施符合相应的要求。建设单位在项目实施过程中须严格执

“三同时”要求,认真执行本环评提出的各项环保措施,在此基础上项目实施对周围环

境及保护目标影响不大,并将产生较好的经济效益和社会效益。

因此,从环保角度而言,本项目在拟建地实施是可行的。

上述评价结果根据建设单位提供的生产规模、工艺、设备方案、车间布局等得出,

如建设单位在本项目批准后实施过程中存在《中华人民共和国环境影响评价法》第二十

四条所述变动,须按照相关环保要求重新申报。

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— 91 —

附表

1

建设项目污染物排放量汇总表

单位:

t/a

项目分类

污染物名称

现有工程排放量(固体废物产生

量)①

现有工程许可排放量②

在建工程排放量(固体废物产生

量)③

本项目排放量

(固体废物产生

量)④

以新带老削减量

(新建项目不填)

本项目建成后全厂

排放量(固体废物产

生量)⑥

变化量⑦

废气

颗粒物

4.847

4.847

/

0.058

/

4.905

+0.058

非甲烷总烃

0.932

0.932

/

0.024

/

0.956

+0.024

废水

废水量

10200

10200

/

382.5

/

10582.5

+382.5

COD

0.408

0.408

/

0.015

/

0.423

+0.015

氨氮

0.020

0.020

/

0.001

/

0.021

+0.001

一般工业固体废物

边角料、次品及收集的

粉尘

4200

/

/

7.5

/

4207.5

+

7.5

废一般包装材料

3.0

/

/

0.2

/

3.2

+

0.2

废滤筒及废膜

0.01

/

/

/

/

0.01

0

废气体纯化吸附剂

/

/

/

0.02

/

0.02

+

0.02

沉积残渣

/

/

/

0.64

/

0.64

+

0.64

废离子交换树脂

/

/

/

0.01

/

0.01

+

0.01

RO 膜

/

/

/

0.01

/

0.01

+

0.01

危险废物

废石墨毡

/

/

/

6

/

6

+

6

废环氧树脂

150

/

/

/

/

150

0

废包装桶

24

/

/

/

/

24

0

实验室废液

2.5

/

/

/

/

2.5

0

废活性炭

11.7

/

/

/

/

11.7

0

废过滤棉(废过滤吸附

材料)

1.2

/

/

1.44

/

2.64

+

1.44

废机油(废润滑油)

0.80

/

/

0.5

/

1.3

+

0.5

废油桶

0.20

/

/

0.06

/

0.26

+

0.06

含油抹布及劳保用品

1.0

/

/

0.05

/

1.05

+

0.05

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项目分类

污染物名称

现有工程排放量(固体废物产生

量)①

现有工程许可排放量②

在建工程排放量(固体废物产生

量)③

本项目排放量

(固体废物产生

量)④

以新带老削减量

(新建项目不填)

本项目建成后全厂

排放量(固体废物产

生量)⑥

变化量⑦

废碱液

/

/

/

12.5

/

12.5

+

12.5

废包装袋

/

/

/

0.01

/

0.01

+

0.01

浓缩液

/

/

/

61

/

61

+

61

/

生活垃圾

120

/

/

5.25

/

125.25

+

5.25

注:⑥

=①+③+④-⑤;⑦=⑥-①

合作机会