序号

项目名称

建设地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

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山东芯明半导体有限公司-年产1200万芯片扩散片项目（一期）

山东省聊城市高唐县人和街道滨湖北路2号厂区 26号车间

山东芯明半导体有限公司

山东环岳项目咨询有限公司

该项目位于山东省聊城市高唐县人和街道滨湖北路2号厂区 26号车间，租赁高唐金诚百晟生物科技有限公司空置厂房进行建设，属新建项目，总投资3000万元，其中环保投资30万元。该项目已取得山东省建设项目备案证明，项目代码：2601-37*开通会员可解锁*-592086。本次一期项目购置芯片扩散片生产设备 40台（套）。项目建成后年产芯片扩散片240万片。

（一）严格落实废气污染防治措施。项目产生的废气主要为高温扩散废气、金扩废气、酸洗过程中酸性废气以及危废间废气。酸洗过程产生的酸性废气、铂扩过程中产生的少量 VOCs以及危废间废气经各自通风橱配套集气管道收集后经碱喷淋酸雾吸收塔处理后经15m高排气筒 DA001排放。喷砂过程产生的颗粒物经自带布袋除尘器处理后无组织排放。污水处理站产生的少量恶臭气体定期喷洒除臭剂。

有组织VOCs须满足《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）表1非重点行业标准要求。有组织氮氧化物须满足《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1重点控制区标准要求，有组织氯化氢、氟化物、硫酸雾须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准要求。

厂界无组织VOCs须满足《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）表2厂界监控点浓度限值要求。无组织氯化氢、氟化物、氮氧化物、颗粒物、硫酸雾须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2无组织排放监控浓度限值要求。无组织臭气浓度、氨、硫化氢须满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）二级新改扩建标准要求。

（二）严格落实废水污染防治措施。项目废水主要为生活污水、软水制备废水以及清洗废水。项目生活污水、清洗废水经厂区污水处理站处理后与软水制备废水排入高唐县清源净水科技有限责任公司深度处理后排放。

（三）严格落实噪声污染防治措施。项目噪声主要为通风橱、污水处理站机泵、超声清洗机、甩干机、电热鼓风干燥机、扩散炉、去离子水设备、喷砂机、螺杆式空气压缩机、涡旋式空气压缩机、环保风机等设备运行产生的噪声。选用低噪声设备，再经过基础减震、厂房隔声等降噪措施后，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准要求。

（四）严格按照有关规定以及报告表的要求，落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施。不合格硅片退回原厂家，原硅晶片包装、磷纸包装、硼纸包装、清洗剂桶、石英砂包装、PAC+PAM包装外售综合利用，喷砂产生的废石英砂经袋式除尘器收尘后经污水处理站污泥合理处置，软水制备产生的废锰砂、废石英砂、废活性炭、废反渗透膜由厂家回收，以上属于一般固废，须满足《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》中相关要求。生活垃圾委托环卫部门定期清运。废铂液瓶、异丙醇桶、氢氟酸桶、乙酸桶、硝酸桶、盐酸桶、混酸桶、双氧水桶，废混酸、废氢氟酸属于危险废物，暂存危废间，须有专人收集、管理，并委托有相应资质的单位进行处置，收集和储存须符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023），危险废物须建立台账并严格执行危险废物转移联单制度。

你单位须确保所有固体废物均得到妥善处置。

（五）加强环境风险防控。项目风险主要为异丙醇、氢氟酸、乙酸、硝酸、盐酸、混酸、硫酸泄漏引发火灾事故。你单位须按照报告表要求严格落实各项风险防范措施，开展安全风险辨识管理，健全内容管理制度，严格依据标准规范建设环保设施和项目。定期开展环境风险应急培训和演练，切实加强事故应急处理及防范能力，严防环境风险事故的发生。

（六）加强地下水、土壤污染防治。按照“源头控制、分区防治、污染监控、应急响应”的原则进行地下水和土壤污染防治，对重点污染防治区、一般污染防治区等采取分区防渗措施。加强危废暂存间、污水处理站等区域防渗措施的日常维护，防止对地下水和土壤环境造成不利影响。

（七）做好污染物总量控制。根据聊城市生态环境局高唐县分局出具的总量核准意见（GTZLHZ（2026）06号），该项目废气污染物排放须严格控制在有组织NOX 0.017t/a、VOCs 0.005t/a范围内。