投标邀请 EBL电子束光刻设备项目已具备招标条件。资金情况已落实。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。 1. 招标范围 1.1 货物名称：EBL电子束光刻设备 1.2 招标编号：*开通会员可解锁*A045 1.3 项目概况 EBL电子束光刻设备通过电磁场精确控制电子束扫描，实现无掩膜加工，可直接完成微纳结构的高精度图形化，具备高分辨率、高灵活性及快速响应等特点，适用于小批量、多轮次迭代的研发场景。该设备将用于面向量子传感应用的光子芯片等器件快速研发，支撑结构设计与优化、新原理方案验证。 设备主要指标： （1）加速电压：≥100 kV； （2）最小线宽：≤50 nm； （3）套刻精度：≤±30 nm； （4）主场拼接精度：≤±30 nm； （5）最大主场尺寸：≥1000 μm* 1000 μm。 更多技术指标详见第八章。 1.4 数量：1套。 1.5 交货期：合同签订生效后6个月内到达用户现场。 1.6 项目现场：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所指定地点。 2. 对投标人的资格要求 2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。 2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。授权书包括制造商直接开具的；或制造商的独资公司开具的（同时须提供制造商与独资子公司的关系说明，并由双方签字或者盖章）。 2.3 投标人投标的同品牌同型号或同品牌相近规格（加速电压相同）设备，*开通会员可解锁*至今销售量≥2套，提供设备销售业绩证明。（有效的合同首页复印件、技术协议复印件、合同复印件对应的发票复印件或不低于20%的收款证明，同时提供合同

未在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后的在招标会员区根据招标公告的相应说明获取招标文件！ 咨询电话：*开通会员可解锁* 手 机：*开通会员可解锁* 联系人：李杨 QQ:1211306049 微信：Li*开通会员可解锁* 邮箱：1211306049@qq.com 来源：中国电力招标采购网 备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准，以招标业主的解答为准本。 编辑：365trade