等离子体增强化学气相沉积设备项目已具备招标条件。资金情况已落实。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受西安飞行自动控制研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物名称：等离子体增强化学气相沉积设备

1.2 招标编号：*开通会员可解锁*A009

1.3 项目概况

设备通过感应耦合等离子体方式（ICP）产生高密度等离子体，在硅及化合物半导体等衬底上沉积高质量的介质薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。

设备主要指标：

（1）样品尺寸：最大6英寸直径晶圆、向下兼容更小的晶圆片或不规则碎片，不同尺寸样片之间的切换、无需反应腔室的开腔破真空；

（2）反应腔室本底真空≤ 1E-6 mbar，真空漏率≤ 2E-4 mbar·L/s；

（3）温度控制：采用背氦传热的动态温度控制系统，温度控制范围不小于 +30℃~+300℃，温度控制精度≤±1℃。

更多技术指标详见第八章。

1.4 数量：1套。

1.5 交货期：合同签订生效后8个月内到达用户现场。

1.6 项目现场：西安飞行自动控制研究所指定地点。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。

2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。授权书包括制造商直接开具的；或制造商的独资公司开具的（同时须提供制造商与独资子公司的关系说明，并由双方签字或者盖章）。

2.3投标人所投标设备*开通会员可解锁*至今同品牌同型号的销售量≥3套，提供设备销售业绩证明（提供有效合同首页，技术协议及验收报告等证明材料，证明材料需有双方盖章）

2.4本项目不接受联合体投标。

2.5投标人必须向招标代理机构

3. 招标文件获取

3.1 如有疑问，请致电中航工业电子采购平台服务热线400-890-0880。

3.2 招标文件售价人民币800元或112美元，售后款项不予退还。潜在投标人应通过本链接: k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招标文件费用，支付后请自行提交电子发票申请(需再次进入链接点击消费记录后填写开票信息)，电子发票将自动发 潜在投标人将付款凭证（形式不限）和发票上传交易平台，经招标人(代理机构)确认后，才能获得招标文件的下载权限。

3.3 投标人必须在中航工业电子采购平台注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见中航工业电子采购平台相关说明）。

4. 未在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后的在 招标会员 区根据招标公告的相应说明获取招标文件！ 咨询电话：*开通会员可解锁* 手 机：*开通会员可解锁* 联系人：李杨 QQ:1211306049 微信：Li*开通会员可解锁* 邮箱：1211306049@qq.com 来源：中国电力招标采购网 备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术及商务信息服务费后，查看项目业主，招标公告并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准。 编辑：hnjmrh.gov