芜湖智能传感器研究院有限公司离子束扫描电子显微镜等设备采购(二包)答疑公告
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发布时间:
2026-04-30
发布于
安徽芜湖
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各潜在投标人:

一、现将各潜在投标人对本项目“芜湖智能传感器研究院有限公司离子束扫描电子显微镜等设备采购(二包)”提出的有关疑问,回复如下:

疑问:本项目第三章采购需求一览表 序号10光刻机 27.支持键合对准包含如下夹具:b.支持6"晶圆对的键合对准,开窗尺寸5≥7mm×20mm,距中心≥11mm。开窗尺寸描述是否有误?

回复:b.支持6"晶圆对的键合对准,开窗尺寸≥57mm×20mm,距中心≥11mm。

注:此公告视同招标文件的组成部分,与招标文件具有同等法律效力。

招标人:芜湖智能传感器研究院有限公司

招标代理机构:安徽长江产权经纪有限公司

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芜湖智能传感器研究院有限公司离子束扫描电子显微镜等设备采购(二包)答疑澄清第1次20260430.pdf

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