溅射镀膜仪设备采购公告

浙江亚通新材料股份有限公司科技创新中心就溅射镀膜仪设备采购项目进行公开询价采购，邀请各单位参加本项目采购活动。

一、采购编号：溅射镀膜仪设备 YTZC-20260320

二、采购内容及要求

1、采购预算限价(最高限价）：5.5万元（含税）。

2、采购范围：本次采购1套溅射镀膜仪设备，主要包括主机、真空系统、溅射电源及样品台等核心部件，支持Au/Pt/Ag/Cu/Pd等多种靶材，标配至少1片贵金属靶材（Pt/Au），主要功能为扫描电镜成像非导电样品镀膜。

3、采购要求：

（1）真空系统

• 真空泵类型：旋片式真空泵（双级直连/高性能旋片泵均可）

• 抽气速率：≥4 m3/h（≥1 L/s）

• 极限真空度：≤1 Pa

• 工作压强：1-20 Pa

（2）溅射系统

• 镀膜方式：磁控溅射镀膜

•溅射电流：1-50 mA 连续可调，控制精度≤1 mA

•溅射时间：0-9999s连续可调，控制精度≤1s

•工作气体：高纯氩气（纯度≥99.99%），支持氮气/空气选配，气体接口为4mm锁紧接口

• 放气功能：具备自动放气功能

（3）靶材系统

• 靶材直径：φ30-60 mm（支持中50mm标准靶材）

• 靶材厚度：0.1-1mm（支持0.1-2mm厚度）

• 靶材种类：支持Au/Pt/Ag/Cu/Pd等多种靶材，标配至少1片贵金属靶材（Pt/Au）

（4）样品室与样品台

• 腔体材质：石英/高强度玻璃腔体

•腔体尺寸：外径≥φ120mm，高度≥100mm

•样品台直径：φ60-80mm，可兼容SEM标准样品台

•样品台功能：支持旋转（0-60 RPM可调）、升降（工作距离20-70mm可调）

（5）控制与操作

•控制方式：微处理器/触摸屏程序控制

•操作界面：支持实时参数显示与调整，操作便捷

（6）电气与物理参数

• 输入电源：100-240 V AC，50/60 Hz（兼容220V标准供电）

（7）质保与服务

• 质保期：≥1年原厂质保

•标准配置：含主机、真空泵、标配靶材、电源线、密封圈等耗材备件

•文档资料：提供操作说明书、维护指南、合格证明等技术资料

4、供货期：30天。

5、项目实施地点：浙江省杭州市西湖区三墩镇金蓬街372号

6、质保期要求：

6、结算方式：

三、供应商资格要求

1、供应商应依法设立且满足如下要求：

（1）中华人民共和国境内注册的企业法人(需提供有效营业执照复印件并加盖公章）；

2、供应商不得存在下列情形之一：

（1）在“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn）中被列入政府采购严重违法失信行为记录名单；

（2）在“信用中国”（www.creditchina.gov.cn）中被列入严重失信主体名单；

（3）被列入杭钢集团供应商诚信档案，处于禁止投标处罚期内；

（4）不同响应人的单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的。

3、本次采购不接受联合体响应。

四、供应商所需提交的材料

1、商务技术响应文件（见附件2）；

2、报价响应文件（见附件3）。

五、评审办法

评审方法：经评审的最低价法，按含税总报价进行评审（若最低总报价相同，则相同供应商进行二次报价）。

六、响应文件及递交：纸质响应文件正本一份、副本两份，密封包装，封套上应载明项目名称、采购编号、供应商名称

响应文件递交截止时间为 2026年3月25日9时00分，请有意向供应商在截止时间前将响应文件递交给采购单位联系人。

七、评审时间和地点：评审时间同响应文件递交截止时间，地点为浙江亚通新材料股份有限公司。本次评审为非公开，不邀请各供应商参加，采购监督人员现场监督。

八、联系方式

1、采购单位：浙江亚通新材料股份有限公司科技创新中心

联系人：查女士 联系电话：*开通会员可解锁*

2、组织单位：浙江亚通新材料股份有限公司科技创新中心

联系人：查女士 联系电话：*开通会员可解锁*

邮寄地址：浙江省杭州市西湖区三墩镇金蓬街372号

3、监督部门：浙江亚通新材料股份有限公司内审风控部

联系人：何聪 电话： *开通会员可解锁*

浙江亚通新材料股份有限公司

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