高精密单面光刻机结果公告
中标/成交
发布时间:
2025-11-11
发布于
湖南长沙
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高精密单面光刻机结果公告

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中标信息

成交供应商: 长沙市岳麓区万鼎盛化玻璃产品商行
选择理由: 符合需求
质疑投诉说明: 如有质疑,请在三个工作日内将质疑说明文件递交至学校采购管理部门,逾期不予受理。
项目名称 高精密单面光刻机 项目编号 J-2025227
项目编号 J-2025227
公告发布日期 2025/11/06 10:28 公告截止日期 2025/11/10 10:28
公告截止日期 2025/11/10 10:28
采购单位 湖南大学
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看
联系手机 中标后在我参与的项目中查看
是否本地化服务 是否需要踏勘
是否需要踏勘
踏勘联系人 踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点 踏勘联系时间
踏勘联系时间
采购预算 ¥198,000.00 成交金额 ¥197,900.00
成交金额 ¥197,900.00
送货/施工/服务期限 合同签订后 30 天内到货
送货/施工/服务地址 两山一湖中四栋
售后服务 按行业标准执行
付款条款 国产设备:1.供应商在申请验收前,须先把合同总金额的(0)%作为质保金交到采购人指定账户,并开具合同金额100%发票;2.货到合同指定地点并安装调试验收合格后,凭验收报告在10个工作日内支付合同总金额的(100)%;3.在验收合格之日起的(1)年后无质量问题,经采购人认可,一次性将合同质保金无息退还供应商。

采购清单

1

采购内容 数量单位 分项报价
高精密单面光刻机 1(台) ¥197,900.00
是否进口
品牌及型号 成都鑫南光
技术参数要求 一.技术参数: 1、曝光类型:单面,接触式; 2、曝光面积:110×110mm; 3、曝光照度均匀性:≥98%; 4、曝光强度:0-40mw/cm2; 5、紫外光束角:≤2°; 6、紫外光中心波长:365nm(也可以配专用曝光头实现g线、h线、I线的组合); 7、光源质保期:1年; 8、曝光分辨率:0.8μm; 9、曝光模式:可选择一次曝光或套刻曝光; 10、显微镜扫描范围:X: 30mm Y: 30mm; 11、对准范围:X、Y:±5mm,Q:±5°; 12、套刻精度:1μm; 13、分离量;0~50μm可调; 14、接触-分离漂移:≤1μm; 15、曝光方式:密着曝光,可实现硬接触、软接触和微力接触曝光; 16、找平方式:三点式自动找平; 17、显微系统:双视场CCD系统,显微镜91X~570X连续变倍(物镜1.6X-10X连续变倍),双物镜距离可调范围42mm~100mm,计算机图像处理系统,19″液晶监视器; 18、掩模版尺寸:3″×3″、4″×4″、5″×5″; 19、基片尺寸:φ2″、φ3″、φ4″; 20、基片厚度:0.1~6mm; 21、曝光定时:0~999.9秒可调; 22、对准方式:手动; 23、曝光头转位:气动; 24、设备所需能源: 电源:单相AC220V 50HZ ,功耗≤1.5KW; 洁净空气压力:≥0.4MPa; 真空度:-0.07MPa~-0.09MPa; 25. 尺寸和重量: 尺寸:机体1000 mm(长)×720 mm(宽)×1700mm(高),重量:≤200Kg; 26、G-26D4型光刻机的组成: 由主机(含机体和工作台),对准用单筒显微镜,LED鹰眼曝光头组成; 27、附件如下: 主机附件:(出厂时安装到机器上) 显微镜组成 单筒显微镜二个 两个CCD 视频连接线 计算机和19"液晶监视器 二.配置: 1.曝光头: LED紫外曝光头一台。 2.CCD显微显示系统: 1)CCD数码摄像机二只; 2)可变倍显微镜二只; 3)计算机图像处理系统一套(含计算机一台、采集卡一件、19″液晶监视器一台、图像处理对位软件一套)。 4)焦距、物距调节台一套; 5)LED同轴照明光源二台。 3.对准工作台; 1)3″×3″、4″×4″、5″×5″版架各一件; 2)φ2″、φ3″、φ4″、承片台各一件; 3)三点自动找平机构一套; 4)高精度千分尺对位平台一套; 4.电气控制台: 1)PLC可编程控制器一台; 2)电磁阀及控制系统一套; 3)气动、真空仪表一套。 5.备附件: 1)真空软管(φ8mm)15m; 2)电磁阀七只; 3)紫外光强计一只; 4)无油静音真空泵一台; 5)无油静音空压机一台。 6.技术资料: 1)使用说明书;

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