西南交通大学信息量子技术实验室采购离子束刻蚀机设备项目竞价公告

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项目名称	西南交通大学信息量子技术实验室采购离子束刻蚀机设备项目	项目编号	J-WSJJ-2026-046
公告发布日期	2026/09/10 08:51	公告截止日期	2026/09/15 08:51
发票类型	增值税专用发票	安装要求	免费上门安装（含材料费）
采购单位	西南交通大学	付款方式	货到经验收合格后付款
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系手机	中标后在我参与的项目中查看
是否本地化服务	否（注意：“本地”指采购单位所在省级行政区域；有售后服务网点的证明材料包括：参与竞价公司营业执照，当地某公司营业执照以及该当地公司与参与竞价公司之间签订的有效合作协议。本地供应商无需上传证明文件；外地供应商需上传当地服务网点证明文件压缩包）
是否需要踏勘	否
踏勘联系人		踏勘联系电话
踏勘地点		踏勘联系时间
采购预算	￥370,000.00
送货期限	合同生效之日起10日内
送货地址	成都市金牛区二环路北一段111号西南交大

采购清单

采购内容		是否进口	计量单位	采购数量	售后服务及其他要求
离子束刻蚀机IBE-150		否	台	1	IBE-150售后服务要求 1、质量保证：整机提供1年免费质保期，质保期内非人为损坏零部件免费更换，免费上门维修。 2、安装调试：设备到货后派工程师上门完成设备安装、调试直至设备验收合格。 3、技术培训：现场开展操作、日常点检、基础维护培训。 4、故障响应：质保期内，收到通知后在2小时内响应；72小时内到达现场，并尽快予以解决；一般故障1天内解决，重大故障3天内解决。 5、备件保障：设备终身备件供应，质保期外提供成本价备件；配套易损件清单，保障设备长期运行。 6、软件服务：设备控制软件终身免费版本升级。 7、后续服务：质保期满后，提供年度维保可选方案，持续提供工艺开发技术咨询。
参考品牌及型号	埃德万斯（IBE-150）
技术参数要求	IBE-150技术参数要求 ▲1、不锈钢真空腔，尺寸长400mm宽340mm高330mm（±10mm）；刻蚀样品台安装在真空腔室门板上，可旋出腔室方便样品拆装，离子源挡板，腔室有预留口，方便以后设备升级。 2、真空分子泵和前级泵系统。 3、极限真空度：≤8.5×10-5。 4、腔室压力测量系统 (真空测量系统，需提供量程从400Pa-9E-5Pa的测量范围，真空测量的部件，高低真空量程自动切换)。 ▲5、样品台台面为钛合金材料，直径为≥150mm, 样品台自转速率：0-20RPM。 ★6、样品台倾斜角度±90度可调节，自动调节，精确度≤±1度。 7、冷却水温度：5～25℃。 8、工艺气路及流量控制系统 (气体流量控制系统，1路工艺气体，一路N2用于阀门控制)。 ★9、设备配置口径为≥Φ150mm的考夫曼离子源，以阳极筒内经为准；有效束径≥Φ100mm，Φ100mm范围内均匀性≤±3%。【须提供产品彩页或原厂商的官方技术白皮书（或产品说明书）或原厂商所作的技术参数说明或原厂商网站链接及网站产品说明的截图等详细技术资料加盖投标人公章】 ▲10、离子能量可调范围：0-1000eV；离子束流可调范围：0-130mA；离子能量和束流自动匹配。 11、系统配置两套恒温水循环系统，一套用于分子泵和离子源室冷却，另一套专用于刻蚀工作台，按需调节和控制水温。 12、考夫曼离子源采用插装式安装，需方便拆装、清洗。 13、保修期内免费提供设备的技术服务，工艺支持和操作软件的升级维护服务。 14、采用计算机控制，具有设备的工艺控制（支持单工艺和多工艺组），故障的自诊断，及自动报警保护功能等方面功能，工艺控制包括用户管理、工艺编辑、气路控制、系统参数设置等模块，包含必要的安全互锁，高压保护和紧急停止系统（EMO）。