半导体制备与表征测试手套箱竞价公告
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发布时间:
2026-09-15
发布于
湖南长沙
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半导体制备与表征测试手套箱竞价公告

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项目名称 半导体制备与表征测试手套箱 项目编号 J-2026177
项目编号 J-2026177
公告发布日期 2026/09/15 11:01 公告截止日期 2026/09/18 11:01
公告截止日期 2026/09/18 11:01
采购单位 湖南大学
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看
联系手机 中标后在我参与的项目中查看
采购预算 未公开 币种 RMB
币种 RMB
是否本地化服务 是否需要踏勘
是否需要踏勘
踏勘联系人 踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点 踏勘联系时间
踏勘联系时间
送货/施工/服务期限 合同签订后 45 天内到货
送货/施工/服务地址 湖南大学物理与微电子科学学院
售后服务 按行业标准执行
付款条款 国产设备:1.供应商在申请验收前,须先把合同总金额的()%作为质保金交到采购人指定账户,并开具合同金额100%发票;2.货到合同指定地点并安装调试验收合格后,凭验收报告在10个工作日内支付合同总金额的(100)%;3.在验收合格之日起的()年后无质量问题,经采购人认可,一次性将合同质保金无息退还供应商。

采购清单

1

采购内容 数量单位
半导体制备与表征测试手套箱 1(套)
参考品牌及型号 威格/FG3600/750TS-C
技术参数要求 一、主要技术性能指标: 1、使用99.999%的惰性气源,空箱运转,箱内水氧含量均小于1PPM。 2、PLC显示屏需显示实际水氧含量,当<1ppm之后显示屏上水氧含量数值需精确到小数点后两位。 二、技术参数: 1、箱体 1.1 两套不锈钢箱体,从左向右尺寸分别为:箱体一,1200mm(长)X300mm(宽)X900mm(高);箱体二,2400mm(长)X750mm(宽)X900mm(高),材质为SUS304不锈钢,厚度3mm,分箱式设计,两个箱体之间使用法兰连接。六个铝合金手套口,三副丁基橡胶手套。箱体二配置有三层不锈钢搁物架。 1.2 箱体二顶部安装千级除尘。 1.3 箱体二左侧箱体底部中间配备φ100mm法兰视窗。 1.4 箱体二背部配备液氮接口,连接外部液氮源,实现低温环境控制。 2、过渡舱 2.1 一个小过渡舱,焊接在箱体一左侧侧板,尺寸:直径150mm,长度300mm。 3、一套高效气体纯化系统。 3.1 氧气的吸附量60升;水的吸附量2公斤;一个循环风机流量≤60m3/h,大部分时间能耗小于50W;一套有机溶剂吸附柱。 4、控制系统 4.1 控制系统由PLC和7”彩色触摸屏组成,用户友好的中英文操作界面;可手动或自动监测泄漏率,对箱体的密封性进行检测并报告。 5、标准配件 5.1 一台进口品牌的真空泵:流量≥12m3/h,极限真空2x10-3毫巴。配油雾过滤器。 5.2 一台氧分析仪:材质为电化学燃料电池,不接受氧化锆材质探头,量程:0-1000ppm。 5.3 一台水分析仪/露点仪:材质为氧化铝膜探测器,不接受五氧化二磷材质探头,量程:-100℃到20℃(露点),水含量数值能在PLC显示屏上随时可切换成箱体内实测露点值。 6、其他配件 6.1 两个钢瓶减压阀、两根单管双阀真空通阀 6.2 一根箱内电源线,带多孔插座 6.3 一套手套箱备用工具、一份电子档说明书 6.4 备用真空泵油两瓶、活性炭两份及丁基橡胶手套两副

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