4英寸单面光刻机竞价公告

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项目名称	4英寸单面光刻机	项目编号	J-2025215
项目编号	J-2025215
公告发布日期	2025/10/29 17:16	公告截止日期	2025/11/02 17:16
公告截止日期	2025/11/02 17:16
采购单位	湖南大学
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系手机	中标后在我参与的项目中查看
联系手机	中标后在我参与的项目中查看
采购预算	未公开	币种	RMB
币种	RMB
是否本地化服务	否	是否需要踏勘	否
是否需要踏勘	否
踏勘联系人		踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点		踏勘联系时间
踏勘联系时间
送货/施工/服务期限	合同签订后 30 天内到货
送货/施工/服务地址	两山一湖中四栋
售后服务	按行业标准执行
付款条款	国产设备：1.供应商在申请验收前，须先把合同总金额的（0）%作为质保金交到采购人指定账户，并开具合同金额100%发票；2.货到合同指定地点并安装调试验收合格后，凭验收报告在10个工作日内支付合同总金额的（100）%；3.在验收合格之日起的（1）年后无质量问题，经采购人认可，一次性将合同质保金无息退还供应商。

采购清单

采购内容		数量单位
4英寸单面光刻机		1(台)
参考品牌及型号	鸿源鼎芯/H19-13型
技术参数要求	一、配置参数： 1．曝光类型：单面曝光； 2．曝光面积：110×110mm； 3．曝光照度不均匀性：≤3%； 4．曝光强度：0-40mw/cm2可调； 5．紫外光束角：≤2°； 6．紫外光中心波长：365nm： 7．紫外光源寿命：≥2万小时； 8．曝光分辨率：1μm； 9．曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光； 10．显微镜扫描范围： Y：±30mm； 11．对准范围：X、Y±5mm（移动精度0.5um），Q细调±5°（移动精度0.001°）粗调±15° 12．对准精度：正面1μm； 13．分离量；0～999μm可调； 14．接触－分离漂移：≤1μm； 15．曝光方式：硬接触、软接触和接近式曝光； 16．找平方式：气悬浮自动找平； 17．显微系统：视场CCD系统，显微镜45X～300X连续变倍（物镜1.1X～7.5X 连续变倍），双物镜距离可调范围11mm～100mm，扫描范围Y±40mmX±25mm，计算机图像处理对位软件，19″液晶监视器； 18．掩模版尺寸：3″×3″、4″×4″、5″×5″； 19．基片尺寸：φ2″、φ3″、φ4″； 20．基片厚度：0.1～6mm； 21．曝光定时：0～999.9秒可调； 22．对准方式：千分尺手动XYQ对位平台（精度0.1um） 23．镜头移动：电动； 24. 升降方式：电动（伺服） 25. 电源：单相AC220V 50HZ ，功耗≤1KW； 26．洁净空气压力：≥0.4MPa； 27．真空度：-0.07MPa~-0.09MPa； 28．尺寸： 920mm（长）×680mm（宽）×2000mm（高）。二．配置清单：本机由LED紫外曝光头、CCD显微显示系统、对准工作台、电气控制系统、备附件构成。 1．曝光头： LED紫外曝光头一台。 2．CCD显微显示系统： 1）CCD数码摄像机二只； 2）可变倍显微镜二只； 3）计算机图像处理系统一套（含计算机一台、采集卡一件、19″液晶监视器一台、图像处理对位软件一套）。 4）焦距、物距调节台一套； 5）扫描机构一套（电动）； 6）LED同轴照明光源二台。 3．对准工作台； 1）3″×3″、4″×4″、5″×5″版架各一件； 2）φ2″、φ3″、φ4″、承片台各一件； 3）气悬浮自动找平机构一套； 4）高精度千分尺对位平台一套； 5）高精度伺服升降装置一套; 4．电气控制台： 1）PLC可编程控制器一台； 2）电磁阀及控制系统一套； 3）气动、真空仪表一套。 5．备附件： 1）真空软管（φ8mm）15m； 2）电磁阀二只； 3）紫外光强计一只； 4）无油静音真空泵一台； 5）无油静音空压机一台。 6．技术资料： 1）使用说明书；