激光光谱研究所可视化PECVD系统采购竞价公告

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项目名称	激光光谱研究所可视化PECVD系统采购	项目编号	CG20250678
项目编号	CG20250678
公告发布日期	2025/09/24 15:55	公告截止日期	2025/09/28 15:55
公告截止日期	2025/09/28 15:55
采购单位	山西大学	付款条款	货到验收合格后一次性支付全款
付款条款	货到验收合格后一次性支付全款
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系手机	中标后在我参与的项目中查看
联系手机	中标后在我参与的项目中查看
是否本地化服务	否	是否需要踏勘	否
是否需要踏勘	否
踏勘联系人		踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点		踏勘联系时间
踏勘联系时间
采购预算	￥165,000.00
送货/施工/服务期限	合同生效之日起150日内
送货/施工/服务地址	山西省太原市小店区坞城路92号山西大学激光光谱研究所
付款条款	货到验收合格后一次性支付全款
其他说明	1、货物服务类竞价项目，进口产品收取成交金额3%的履约保证金，国产收取成交金额5%的履约保证金，特殊情况另行约定。

采购清单

采购内容		是否进口	限定品牌	限定型号	计量单位	采购数量
可视化PECVD系统采购		否	基元科技	Micro-STS1200PE	台	1
售后服务	甲方收到产品之日起计算的12个月。在正常使用的情况下，质保期内产品出现质量问题，乙方提供维修服务。
技术参数要求	1. 可视化PECVD单温区热台，工作温度可达1050℃，带观察孔 2. 双温区智能温控箱，控温精度±0.5℃，温度显示精度±0.1℃ 3. 主动水冷系统 4. PECVD光学反应腔体，用于化学反应的独立可更换腔体 5. PECVD高温送料器 6. 多功能载物坩埚 7. PECVD单温区热台转接模 8. 相关控制软件系统 9. 3路气体流量控制系统