政府采购意向公告

上海交通大学上海交通大学 2026 年 10 月政府采购意向

政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展

政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10 号）等有关规定，

现将上海交通大学 上海交通大学 2026 年 10 月政府采购意向采购意

向公开如下：

序号

采购项目

名称

采购品目

采购需求概况

预算金额（万元）

预计采购时间

备注

1

分 子 束 外延系统

A02330300电子工业生产设备

拟购置的分子束外延系统 1 套，用于半导体超快芯片材料外延生长，设备具备极低背景杂质外延、精确束流控制和大尺寸、高均匀性生长能力，实现优于 5E-11Torr 的超高背景真空和优于±0.2℃的源炉温控能力，设备包括钛升华泵、冷凝泵、离子泵、分子泵等系列泵组，具备进样室、预处理室和生长室等多级生长腔室及多级真空系统，包含蒸发源炉、掺杂源炉和裂解源炉等 10 个，具备 RHEED 及专用温控测量系统，包含真空控制及互锁能力，配套不间断电源、全包围液氮冷屏、残余气体分析系统、泵车、水冷系统、红外测温系统、专用烘烤架、动态真空液氮循环系统及大容量液氮储罐，具备快速进样能力，可在3 英寸衬底上实现自动化程序生长。设备验收后质保期不低于 1 年，售后电话响应及人员到达时间 1 个工作日

785

2026-10

以内。

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体

采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

上海交通大学

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