打印公告

上海交通大学*开通会员可解锁*政府采购意向

发布时间：*开通会员可解锁* 08:47:13阅读量：2 次

政府采购意向公告 上海交通大学上海交通大学 2025 年 10 月政府采购意向 政府采购意向 为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展 政府采购意向公开工作的通知》（财库〔 2020 〕 10 号）等有关规定 ， 现将上海交通大学 上海交通大学 2025 年 10 月政府采购意向采购意 向公开如下： 序 号 采购项目 名称 采购品目 采购需求概况 预算 金额 （万 元） 预计 采购 时间 备注 1 电子束曝 光机 A02109900 其他仪器仪 表 电子束曝光机， 2 台，电子束曝光机 要求为： 1 ）分辨率：≤ 50 nm ； 2 ） 加速电压： 1–100 kV ； 3 ）光斑尺 寸：≤ 16 nm ； 4 ）真空度： <10 ⁻⁶ Torr ； 5 ）定位精度：≤ 1 nm 。供货 期：签订合同之日起， 24 个月货到采 购人指定地点并安装验收完毕。具体 事宜由成交供应商按采购人指定地点 及时间安排要求执行。 3800 2025- 10

2 复合镀膜 系统 A02109900 其他仪器仪 表 含有电子束蒸镀腔、低温热蒸镀腔以 及磁控溅射腔三个主要腔室。电子束 蒸镀腔极限真空 &lt;1.0x10-6Pa ，含 有 4 个蒸发源。磁控溅射腔极限真空 &lt;1.0x10-7Pa ，含有 8 个靶枪，可 独立进气。热蒸发蒸镀室极限真空 &lt;1.0x10-6Pa ，样品台温度低于 10K ，热蒸发坩埚不少于 3 个，带有氦 气进气系统，配有高精度流量控制 仪。各腔室带有独立膜厚测量仪，膜 厚均匀性好于 ±5% 。 700 2025- 10 3 低温 SQUID 测量系统 A02109900 其他仪器仪 表 无 液 氦 制 冷 ， 制 冷 功 率 大 于 1.5W@4K ，变温范围：≤ 1.6K-325K ； 矢量磁体： 9-1-1T ；磁体电源： 6 V, 120 A ，四象限；样品腔内径不小 于 60mm ；带 2 套 SQUID 测量芯片及室 温电路；带频谱仪（频谱范围 DC- 200kHz ）；带温控仪及温度计；带主 动减震系统。 300 2025- 10 4 低温步进 与 扫 描 系 统 A02109900 其他仪器仪 表 液氦 杜瓦 体 积 不小于 150 L ，磁体为 9T-1T-1T ，冷 孔直 径不小于 100mm 。 磁体电流 &lt;120A ，磁 场稳 定性： &lt;50 pp m /h ；电流 引线 3 对 ，磁体 电源： 6 V, 120 A ，四象限。带液氦 闭循环 系统；带测 试插杆 套 件 ， 最 低 温度可 达 1.2K 。压电 扫描 器与步进 器： 扫描 范围 30x30 u m2 ，步进范 围： 5x5x5 mm ， 兼容 极低温 强 磁 场 。 扫描 控制系统：信号采 集 通 道 精度与 速率 18 bi t 1 M S /s ， 输入噪音 &lt; 150 nV /√ Hz@10 kHz, < 650 nV /√ Hz@10Hz ， 输入输出 电压范围： ± 10 V ； 输入 通 道 16 个， 输出 通 道 16 个。带主动减震系统。 400 2025- 10 5 湿 式 稀 释 制冷机 扫 描 探 针 显 微镜 系统 A02109900 其他仪器仪 表 1 、 稀 释 制 冷 机 ： 最 低 温 度 ： ≤ 20mK ； 稳 定度 0.1mK ，制冷功率 280 u W@100mK ；样品空间 直 径不小于 60mm ；同 轴线 通 道 不少于 40 个。 2 、 磁体为 9T-1T-1T ，冷 孔直 径不小于 100mm ， 杜瓦 体 积 不小于 150 L ；磁 1000 2025- 10

体电流 &lt;120A ，磁 场 稳 定性： &lt;50 pp m /h ；电流 引线 3 对 ；磁体 电源： 6 V, 120 A ，四象限。 3 、带 液氦 闭循环 系统。 4 、压电 扫描 器与 步进器： 扫描 范围 30 x 30 u m2 ，步 进范围： 5 x 5 x5 mm ， 兼容 极低温 强 磁 场 。 5 、 扫描 控制系统：信号采 集 通 道 精度与速率 18 bi t 1 M S /s ， 输 入 噪 音 &lt;150 nV /√ Hz@10 kHz, &lt;650 nV /√ Hz@10Hz ， 输入输出 电 压范围： ± 10 V ； 输 入 通 道 16 个， 输出 通 道 16 个；带 音叉振荡 控 制系统 和锁相环 。 6 、精 密 源表（可 输出 ±32V ） 4 台；高压精 密 源表（可 输出 ±100V ） 4 台，分辨率 1 p A / 100nV ；精 密锁相放 大器 8 台， 灵敏 度 区 间 1 nV 至 1 V 。 7 、带主动减震 系统。 8 、带定制 针架 / 样品 架 。 6 极低 噪 声 低温 恒 温 系统 A02109900 其他仪器仪 表 极低 噪声 低温 恒 温系统， 1 套，极低 噪声 低温 恒 温系统要求为： 1 ）等 效 噪声密 度≤ 5nV /√ Hz ； 2 ）无 负载基 础 温度：≤ 10mK ； 3 ） 20mK 时制冷功 功率： ≥ 12 μ W ； 100mK 时制冷功 率： ≥ 400 μ W ； 4 ）无热 负载 下 从 室 温（ ~ 300K ） 降 到 最 低温（≤ 10mK ） 花费 时间：≤ 40 小时； 5 ）无热 负载 下，可 在基础 温度下（≤ 15mK ） 持续 运 行时间： ≥ 30 天 。供货期：签订 合同之日起， 24 个月货到采购人指定 地点并安装验收完毕。具体事宜由成 交供应商按采购人指定地点及时间安 排要求执行。 530 2025- 10 7 离 子束 刻 蚀设 备 A02109900 其他仪器仪 表 离 子束 刻蚀设 备， 1 台， 离 子束 刻蚀 设 备要求为： 1 ） 离 子 能 量： 100– 2000 e V ； 2 ） 刻 蚀 速率： 1–100 nm / m i n ； 3 ）各向 异 性： & g t;90% ； 4 ）均匀性： ±4% (f or 4 i n ch) 。供 货期：签订合同之日起， 24 个月内货 到采购人指定地点并安装验收完毕。 具体事宜由成交供应商按采购人指定 地点及时间安排要求执行。 1200 2025- 10

8 真空 多 腔 体磁控溅 射系统 A02109900 其他仪器仪 表 真空 多 腔体磁控溅射系统， 1 台，真 空 多 腔体磁控溅射系统要求为： 1 ） 真空度：≤ 6.7 * 10 （ -5 ） Pa ； 2 ） 射频源功率： ≥ 500 W ； 3 ） 薄 膜均 匀性： ±5 % （ f or 4 i n ch ）； 4 ） 沉积 温度：室温 至 500 ° C 。供货期： 签订合同之日起， 24 个月内货到采购 人指定地点并安装验收完毕。具体事 宜由成交供应商按采购人指定地点及 时间安排要求执行。 390 2025- 10 9 深 硅 刻 蚀 设 备 A02109900 其他仪器仪 表 深硅刻蚀设 备， 1 台， 深硅刻蚀设 备 要求为： 1 ） 刻 蚀 深 度： 10–500 m μ ； 2 ） 深宽比 ： & g t;20 ： 1 ； 3 ） 刻 蚀 速率： 1–10 m / m i n μ ； 4 ） 侧壁垂 直 度： ≥ 89 ° 。供货期：签订合同 之日起， 24 个月货到采购人指定地点 并安装验收完毕。具体事宜由成交供 应商按采购人指定地点及时间安排要 求执行。 780 2025- 10 10 反 应 离 子 刻蚀设 备 A02109900 其他仪器仪 表 反 应 离 子 刻蚀设 备， 2 台， 反 应 离 子 刻蚀设 备要求为： 1 ）工作压 力 范 围： 1 Pa 至 10 Pa ； 2 ） 刻蚀 分辨 率：≤ 50 nm ； 3 ）射频功率范围： 100 W 至 1000 W ； 4 ） 支持基 片尺 寸： 150 mm ； 5 ） 刻蚀 均匀性：≤ ±3% 。供货期：签订合同之日起， 24 个月货到采购人指定地点并安装验收 完毕。具体事宜由成交供应商按采购 人指定地点及时间安排要求执行。 540 2025- 10

11 铁 基 纳 米 线 掩 膜 生 长 系统 A02052402 真空应 用设 备 掩 膜分子束 外延一 台。配套 八 个蒸发 源安装 法兰口 ，高 中 温源 3 个，低温 源 2 个，配套 15kV 反 射 式 高 能 电子 衍 射仪及其分 析软件 。供货期 : 签订合 同之日起， 24 个月货到采购人指定地 点并安装验收完毕。具体事宜由成交 供应商按采购人指定地点及时间安排 要求执行。 500 2025- 10 12 激 光 浮 区 炉 A02109900 其他仪器仪 表 激 光功率 2KW ，温度 & g t;2500 摄氏 度，无坩埚 生 长 ，温度 梯 度 &lt;1 度 / 1 c m ， 最 大 生 长 位 移 & g t;100 mm ，可 提 供 晶 体 生长所 需的 多种 气 氛 环境 。 510 2025- 10 本次 公开的采购意向 是本单 位政府采购工作的 初 步安排，具体 采购项目 情 况以 相 关采购公 告和 采购 文件 为 准 。 上海交通大学 *开通会员可解锁*