苏州大学关于柔性材料真空复合智能制备系统 招标公告

（招标编号：S2025103）

项目所在地区：江苏省/苏州市 一、招标条件

本柔性材料真空复合智能制备系统已由项目 审批/核准/备案机关批准，项目资

金来源为其他资金：2340.00000000 万元，招标人为苏州大学。本项目已具备招标条件，现招标方式为公开招标。 二、项目概况与招标范围

规模：柔性材料真空复合智能制备系统 1 套。 范围：本招标项目划分为 1 个标段，本次招标为其中的： 柔性材料真空复合智能制备系统

三、投标人资格要求

柔性材料真空复合智能制备系统： （一）具有独立承担民事责任的能力；

（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； （三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力； （四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录； （五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录； （六）本项目不接受联合体投标。

本项目

不允许联合体投标。

四、招标文件的获取

获取时间：2025 年 11 月 13 日 17 时 00 分到 2025 年 12 月 01 日 12 时 00 分 获取方式：网上自行下载：

https://zbzx.suda.edu.cn/66/dc/c9291a681692/page.htm 五、投标文件的递交

递交截止时间： 2025 年 12 月 04 日 14 时 00 分 递交方式：

六、开标时间及地点

开标时间：2025 年 12 月 04 日 14 时 00 分 开标地点：江苏省苏州市东环路 50 号凌云楼 0903 室

七、其他

一、项目名称：柔性材料真空复合智能制备系统

二、招标编号：S2025103 三、招标人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路 50 号凌云楼 0904 室 邮编：215021 传真：*开通会员可解锁* 联系人：丁老师 电话：*开通会员可解锁*，67504359 电子邮箱：dingy@suda.edu.cn 技术联系人：梁老师 电话：*开通会员可解锁*，*开通会员可解锁* 电子邮箱：zqliang@suda.edu.cn 四、招标货物品名、数量及主要性能参数要求 柔性材料真空复合智能制备系统 1 套 （一）主要技术参数及配置要求 1.真空腔体系统：采用不小于三个功能腔室的真空腔室系统；基材从放卷通过溅射源送到收卷，速度可调。 1.1 材料： SUS304 或 SUS316L ； 1.2 尺寸≥Φ3000 mm×2000 mm（可不规则形状）； 1.3 真空度：溅射腔内约 5×10-4Pa。泄漏率≤1×10-9 Torr·L/s； 1.4 腔体表面处理：内表面抛光，降低表面污染； 1.5 腔体辅助系统配置要求：多靶安装装置、卷对卷连续镀膜控制装置、真空度/镀膜速率自动控制装置、水冷系统、光学观测与记录系统； 2. 卷绕系统：真空腔室内实现由卷到卷连续式操作；卷绕系统应保证各辊间的相对位置和平行度，可满足≥1250mm 宽、6.5μm～15μm 厚 PET 或 7.5μm～25μm 厚 PI要求；镀膜后产品，无明显褶皱、破损、爆筋等现象。 2.1 具备主鼓偏压功能，以增强基膜与主鼓贴合，使基膜冷却更好； 2.2 具备单/双面镀膜功能，以满足不同工艺、不同用途薄膜制备； 2.3 卷绕系统的设计须便于膜材安全、快速更换、单/双面镀膜切换、系统清洁处理等需求。 2.4 卷膜速度：1.0 m/min 到 20 m/min 可调；镀膜厚度≥200nm。

2.5 速度控制精度：±0.5%； 2.6 卷绕直径：最大放卷直径 600mm，有效载荷≥200KG；最大收卷直径 900mm，载荷≥400KG。 2.7 张力控制：0N～300N，具有自动调整功能； 3. 溅射源系统 3.1 具备前处理系统； 3.2 平面磁控溅射源系统设计，提高镀膜均匀性，提高靶材利用率(Cu, Ag)≥ 30%～40%，降低温度和二次电子对膜层的影响。 3.3 镀膜材料：Al、Cu、Ag、ITO、Ge 等， 3.4 功率范围：单靶 0kW 至 60kW 可调；有效镀膜幅宽≥1250mm； 3.5 靶材更换工艺：多靶安装装置，高换靶效率。 4. 真空系统 4.1 无油真空系统； 4.2 每个室分别有独立的真空获得系统以获取所需要的工作真空度。 4.3 抽气速度≥1000 L/s； 4.4 自动控制：真空度监测和自动调节功能； 4.5 冷却：水冷或空气冷却系统，根据具体设备配置选择。 5. 冷媒系统 5.1 冷媒的温度范围：-25℃～+30℃； 5.2 流量≥ 5 L/min。 6. 气动系统：承受气压 2 公斤～6 公斤（洁净无水无油压缩空气）。 7. 前端控制系统 7.1 上位机采用高性能嵌入式控制器（如 NI 公司 PXI-8135 或西门子，同档次型号），

下位机采用高性能嵌入式控制器（如 Beckhoff 公司 CX5000 系列等同档次型号）。 7.2 控制方式：自动化 PLC 控制 +专用电脑终端； 7.3 数据监控：实时显示真空度、功率、温度、镀膜速率等参数。 8.智能化的故障诊断及生产过程自适应系统 8.1 构建实现 AI 驱动的多物理场耦合的柔性薄膜膜面模态智能体的物理接口，为实现高维低信息密度膜面数据的在线表征奠定硬件基础。 8.2 在线方阻测量范围：0.0Ω/sq～7Ω/sq 和 10Ω/sq～9999Ω/sq（可切换）； 8.3 数据记录：监测数据实时存储和历史数据查询。 9. 全自动控制系统 9.1 数据服务器和客户端工作站采用高性能商用计算机，主要配置：（工控机研华610L 或同档次型号；客户工作端电脑配置不低于 i7-12700，32G， 1T 固态 /独显 4，27 寸直面 2K 升降旋转壁挂显示器）。 并采用工业以太网作为各层次之间的连接方式，辅助以 Profibus 现场总线连接远程I/O 站、现场设备组成一个完整的自动化体系。 9.2 兼容性：支持与其他相关设备的接口协议； 9.3 软件要求：图形化操作界面，支持远程监控与控制； 9.4 安全性：具备数据备份与恢复功能。 10. 基座平台系统： 10.1 主体设备与电气控制设备应配备整体式基座平台，满足设备的承重、减震、自动化开启与闭合导轨安装要求； 10.2 基座平台配备自动化导轨，能实现主体溅射真空仓的自动开启与关闭控制，能实现安全预警、安全报警、运行数据记录； 10.3 基座平台应具有充分的操作人员安全保护装置，操作界面友好。 （二）服务要求

1. 提供现场免费安装、调试，进行操作试验，直至运行正常并出具检验证明，并通过用户单位组织的专家组进行验收； 2. 提供两名仪器操作人员免费线上操作及维护培训，并在每年组织不定期的设备升级与培训； 3. 仪器设备的免费保修期不少于 1 年，在保修期内，供货商在接到用户维修要求时，应在 48 小时之内给予答复，并派出维修人员在一周内到达用户现场进行维修服 务 。 （三）付款方式 1. 付款方式 1. 1 合同签订后，支付合同总额 65%的预付款，供应商提供等额的银行预付款保函； 1.2 供方发货至需方指定地点，设备在需方指定地点安装调试并验收合格后，支付合同总额 20%的终验收款； 1. 3 验收合格后稳定运行 1 年且产品无质量问题，支付合同总额 15%的尾款。 1.4 每次付款前，中标单位均须提供对应的等额增值税专用发票。 五、投标单位资质要求 （一）具有独立承担民事责任的能力； （二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； （三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力； （四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录； （五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录； （六）本项目不接受联合体投标。 六、评分标准 本次招标采用综合评分法，总分为 100 分，具体内容如下： （一）针对中小企业、残疾人福利企业和监狱企业的评审（加分）：

根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46 号）、《江苏省财政厅关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》（苏财购〔2022〕45 号）、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141 号）和《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库〔2014〕68 号）的有关规定，对于符合上述文件规定情形的小微企业、残疾人福利性单位及监狱企业报价给予 10%的扣除，用扣除后的价格参与评审，如扣除后的价格为最低价的，则作为评标基准价，中标金额则以实际投标报价为准。残疾人福利性单位属于小型、微型企业的，不重复享受政策。 小微企业提供《中小企业声明函》；监狱企业提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件；残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》。 注： ①填报“中小企业声明函”需严格按“工信部联企业〔2011〕300 号通知中的《中小企业划型标准规定》进行。 ②若供应商提供的声明函或认定证明为虚假材料，按“政府采购法”相关规定处理并报请政府监管部门给予行政处罚。 根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46 号）及《中小企业划型标准规定》（工信部联企业〔2011〕300 号），本采购标的对应的中小企业划分标准所属行业为：工业。 （二）技术参数、配置及整体综合性能分（55 分） 1．技术参数及配置（35 分） 投标人需提供反映该产品技术参数的技术支持资料（测试报告或产品说明书）等作为评标依据，否则视为偏离。 （1）所投标产品多项不满足招标文件要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效投标。 （2）所投标产品不满足招标文件技术要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣 3 分。 2．综合性能情况（20 分） （1）所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评委会认为超出指标有意义的）（10 分）。其中优于项，每处加 2 分。 （2）所投产品的市场反馈情况（10 分）。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率

（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用投标产品发表的学术论文情况等综合评定。 （三）价格分（30 分） 1．评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分 30 分； 2．其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×30 分。 （四）综合商务（15 分） 1．投标人综合实力（2 分） 根据投标人综合实力评定。 2．售后服务与培训情况等（10 分） （1）质保期（3 分）。符合招标文件要求的，得 1 分，每增加一年质保期加 1 分。 （2）服务、技术支持与培训承诺情况（7 分）。 根据投标文件的相关承诺，在服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。 3．其它优惠措施等（3 分）。根据投标人提供的在招标文件要求范围以外，评标委员会认可的优惠措施综合评定。 七、本次招标采用一次性报价。报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金（含美国产品被加征关税）、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。 八、投标文件的组成 （一）投标文件一 1、投标函 2、投标报价表 3、详细配置及分项报价清单 （二）投标文件二（文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处

理） 1、投标基本情况一览表 2、详细配置清单、技术规格偏离表和投标产品彩页 3、技术方案、服务承诺、培训承诺 4、资格证明文件 特别说明： 1、“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章 2、“投标文件一”，正本一份，副本一份 “投标文件二”，正本一份，副本五份 3、相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行 九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第 21 条中的要求执行。 十、招标文件价格：人民币 800 元（相关缴纳事宜详见附件 3），售后不退。 十一、各投标人在投标前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在 2025 年 12 月 1 日 12：00前将报名函（格式见附件 4）发送邮件至采购人处（dingy@suda.edu.cn）。 十二、递交投标文件相关事宜： （一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用） 1.寄达时间：2025 年 12 月 4 日 14:00 前； 2.收件人信息： 收件人：丁老师 联系方式：*开通会员可解锁* 收件地址：江苏省苏州市东环路 50 号苏大东校区（采购与招投标管理中心）

（二）现场递交方式 1.递交时间：2025 年 12 月 4 日 13:30～14:00 2.递交地点：江苏省苏州市东环路 50 号苏州大学东校区东大门 十三、投标截止时间：2025 年 12 月 4 日 14:00。 十四、开标时间：2025 年 12 月 4 日 14:00。 招标公告 附件.rar 八、监督部门

本招标项目的监督部门为江苏省财政厅

九、联系方式

招 标 人： 苏州大学 地 址： 江苏省苏州市东环路 50 号凌云楼 0904 室 联 系 人： 丁老师 电 话： *开通会员可解锁* 电 子 邮 件： dingy@suda.edu.cn

招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人） ： （签名）

招标人或其招标代理机构 ： （盖章）