清华大学电子束曝光系统维修保养服务采购项目自行采购方式公示

一、采购人：清华大学

二、地址：北京市海淀区清华园

三、联系方式：王琦 sbcwq@tsinghua.edu.cn

四、项目名称：电子束曝光系统维修保养服务采购项目

项目编号：清采招第 20260091 号

五、采购内容：电子束曝光系统维修保养服务

六、采用自行采购方式原因及说明

设备包含一些易损部件，有电子枪、机械泵、激光器等等，这些零部件需要定期更换。

新更换的电子枪、激光器在投入使用之前，有复杂的调整校准工作，经过原厂培训的工程师

现场整机调试才能完成这些工作。

经过长时间的使用，设备各个部件也相继出现不同程度老化，设备出现故障的情况明显

增多，要及时维修或者更换配件，才能保证设备正常工作。设备大多数配件是为 JBX-6300

机型定制的，只能由原厂授权的公司负责更换维修。

温湿度等工作环境的变化会造成设备不可预期的扰动，需要调整光轴、重新定义原点等

工作，这些工作也要原厂培训过的工程师协助完成。

综合以上几点，只能从原厂授权的捷伊欧半导体贸易（上海）有限公司采购电子束曝光

系统维保服务，故采用自行采购维保服务的方式进行，本项目采一签三，此次采购为期一年。

在预算可保障的前提下，经考核合格后，双方协商一致可按原价原标准续签合同，总服务期

限不超过 3 年。

七、服务要求：

1）为清华大学纳米中心的电子束曝光设备提供维修保养服务，期限为 2026/07/01 至

2027/06/30 截止。

2）维修保养服务期间，设备出现工作异常情况，随时提供远程指导，排除故障。如果

必要及时到达用户现场，排除故障。（除紧急情况外，电话服务以及现场服务仅限定在法定

工作日的正常工作时间内）

3）远程故障响应时间为 1 个工作日，到场时间为 5 个工作日。

4）设备如果有部件损坏，提供维修或者更换服务。（故意损坏或操作错误或建筑物事

故以及自然灾害等原因导致损坏的部件除外）

不包含在本维修保养服务的项目有，消磁器、不间断电源、变压器、冷却循环水箱、工作站

系统。

5）维修保养服务期间，承担维修设备所产生的人工技术服务费和零部件更换费用。

八、供应商：捷伊欧半导体贸易（上海）有限公司

地址：上海市闵行区曲吴路 589 号中国梦谷产业园 3 号楼

九、征求意见期限从 2026 年 4 月 16 日至 2026 年 4 月 21 日止。

十、潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后 1 个工作日内将书面意见(包括：供

应商名称、联系人、联系电话、能够提供本政府采购项目的说明)反馈至清华大学(联系人：

王琦 62771946，邮箱：sbcwq@tsinghua.edu.cn)。