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发布时间:*开通会员可解锁* 09:01:18
采购项目名称:离子溅射仪
采购项目编号:清采比选20260514号
公告开始时间:*开通会员可解锁* 08:25:11
公告截止时间:*开通会员可解锁* 10:00:00
对外联系人:
联系电话:
签约时间要求:成交后5个工作日内 (如不按时签订合同,采购单位有权取消或变更采购结果)
交货时间要求:签订合同后3个自然日内
采购单位:清华大学
最高限价:
国内合同付款方式:合同签订后一周内100%预付
交货地址:北京市清华大学
供应商特殊资质要求:
物资名称:离子溅射仪
采购数量:1.0
计量单位:台
质保期:12个月
技术参数及配置要求
泵组:真空旋片泵(可选品牌) 抽速:>4m2/h 极限真空:<1 Pa 工作气压:4-10 Pa ,可恒压控制 抽真空时间:<2 Min 真空规:皮拉尼真空计 腔室尺寸:~0135*120 mm 数显样品台:可偏转数显行星样品台,旋转转速:10-60RPM可调,偏转角度:0-40度可调,靶基距45-60mm可调 溅射靶材:靶材尺寸030*0.2-1 mm /2只,可实现单靶溅射、双靶共溅射、双靶交替溅射功能 溅射电源:恒功率磁控 DC 溅射电源 Max .20W, Max .100 mA ,0-800 V DC 操作方式:触摸屏控制,控制系统提供互锁保护功能 重量:主机~20kg 尺寸:~430mm长*407mm深*422mm高 电源:100-220V AC ,50/60Hz接地三脚插头 功耗:<500 W 冷却方式:风冷 质量保证:一年免费/终身维护