6英寸激光平面干涉仪（清采比选20260771号）采购公告

发布时间：*开通会员可解锁* 08:55:47

项目信息

采购项目名称：6英寸激光平面干涉仪

采购项目编号：清采比选20260771号

公告开始时间：*开通会员可解锁* 08:55:47

公告截止时间：*开通会员可解锁* 09:00:00

对外联系人：

联系电话：

签约时间要求：成交后7个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)

交货时间要求：签订合同后40个自然日内

采购单位：清华大学

最高限价：

国内合同付款方式：合同签订后50%，到货验收合格后50%

交货地址：北京市海淀区清华大学

供应商特殊资质要求：

物资名称：6英寸激光平面干涉仪

采购数量：1.0

计量单位：台

质保期：12个月

技术参数及配置要求

激光干涉仪主机 1）测试结构：菲索干涉卧式结构；2）相移方式：机械相移； 3）光源波长：λ=633nm；4）有效测试口径：≥Φ150mm； 5）相机分辨率：≥1.2K×1.2K；6）变焦：1X-5X光学变焦； 7）调焦范围：≥±2.0m；8）平面透射标准镜（TF）：有效口径≥Φ150mm，标准面精度PV≤λ/20； 9）系统精度：PV≤λ/15；10）系统重复性精度：RMS≤λ/2000； 11）五维调整架：三维平移，两维角度，五维调节，三爪卡盘，最大夹持口径Φ150mm 导轨及光栅尺 1）导轨长度：2m，包含安装底座；2）光栅尺：1um，数字显示。 基座隔振平台 1）平台尺寸：3000mm*1200mm；2）台面采用高导磁性不锈钢，抛亚光密迪纹理处理； 3）M6螺孔，孔距（25*25）mm；4）平面度：±0.1mm/m2； 5）表面粗糙度：≤1.6μm；6）采用（四）支撑基础； 7）固有频率：垂直1.0-2.0Hz，水平1.0-2.0Hz；8）平台调平方式：自动； 9）隔振方式：空气弹簧；10）调节高度：±10mm。