真空蒸发设备（清采比选20252143号）采购公告

发布时间：*开通会员可解锁* 21:21:09

项目信息

采购项目名称：真空蒸发设备

采购项目编号：清采比选20252143号

公告开始时间：*开通会员可解锁* 21:21:09

公告截止时间：*开通会员可解锁* 22:00:00

对外联系人：

联系电话：

签约时间要求：成交后5个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)

交货时间要求：签订合同后3个工作日内

采购单位：清华大学

最高限价：

国内合同付款方式：合同签订后50%，验收合格后50%

交货地址：北京市清华大学

供应商特殊资质要求：

物资名称：真空蒸发设备

采购数量：2.0

计量单位：台

质保期：

技术参数及配置要求

真空室腔体：1套 1) 外形：优质304不锈钢前、后开门真空室腔体1套，内部尺寸400*400mm，门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体。 2) 底部：蒸发源接口，航空插头4个（4芯），复合分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及水冷膜厚探头接口2套； 2、样品台系统：1套 1) 基片旋转：转速0～15转／分连续可调； 样品挂架：蒸发源距离样品台10-30cm可调，承载120*120mm基片1片 3、真空泵机组：1套 1）数显真空计1台（测量范围：1.0×105～1.0×10-5Pa） 2）极限真空：优于6×10-5Pa（手套箱环境），大气至6×10-4Pa时间小于35分钟（手套箱环境），关机12小时真空度≤10Pa，漏率：优于5×10－8Pa*L/S（国家标准）。 4、膜厚检测系统：1套 包括膜厚仪和膜厚探头 5、设备可与手套箱集成