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项目名称:8吋深硅刻蚀设备采购项目 项目编号:0722-264YDZB11ZB2/04 招标范围:04包:采购全新8吋深硅刻蚀设备1套,用于8吋线干法刻蚀工序,为实现半导体集成电路8吋硅片制造流程中的深硅刻蚀工艺。(设备通过电感耦合方式产生高密度等离子体,和硅衬底发生化学和物理作用,以达到去除特定区域硅衬底而形成沟槽的目的)。 招标机构:中国远东国际招标有限公司 招标人:陕西电子芯业时代科技有限公司 开标时间:*开通会员可解锁* 09:30 公示时间:*开通会员可解锁* 17:17 - *开通会员可解锁* 23:59 中标结果公告时间:*开通会员可解锁* 13:29 中标人:北京北方华创微电子装备有限公司 制造商:北京北方华创微电子装备有限公司 制造商国家或地区:中国