本源量子计算科技（合肥）股份有限公司

大规模量子芯片工艺与装备研发平台项目

（阶段性）竣工环境保护验收意见

*开通会员可解锁*，本源量子计算科技（合肥）股份有限公司大规模量子芯片工艺与装备研发平台项目（阶段性）竣工环境保护验收监测报告表严格依照国家有关法律法规、建设项目竣工环境保护验收技术规范、项目环境影响报告表和审批部门审批决定等要求对本项目工程进行验收，提出意见如下：

一、工程建设基本情况

（一）建设地点、规模、主要建设内容

本项目位于安徽省合肥高新技术产业开发区中安创谷科技园一期D8幢，D8幢紧邻均为中安创谷科技园周边建筑，其东侧为中安创谷科技园D7幢建筑（目前为空置），南侧为中安创谷科技园D5幢建筑（入驻C+咖啡，主要为服务型商业），西侧为中安创谷科技园D9幢建筑（入驻安徽荃鸿信息技术有限公司、合肥中健利普医疗科技有限公司以及安徽极玩云科技有限公司，均为研发以及软件开发企业，主要用途为研发办公楼），北侧为中安创谷科技园北侧围墙，隔围墙为云飞路，园区均无生产型企业入驻以及宿舍楼，均为研发类实验室以及办公场所。

（二） 建设过程及环保审批情况

本源量子计算科技（合肥）股份有限公司大规模量子芯片工艺与装备研发平台项目于*开通会员可解锁*经合肥高新技术产业开发区经贸发展局备案，项目代码：2406-34*开通会员可解锁*-744045。项目于*开通会员可解锁*经合肥市生态环境局以《关于对“本源量子计算科技（合肥）股份有限公司大规模量子芯片工艺与装备研发平台项目”环境影响报告表的批复》（环建审[2024]10036号）批复。

项目于*开通会员可解锁*底开工建设，*开通会员可解锁*完成阶段性建设，与项目生产线配套的环境保护设施也同期阶段性建设完成，并于*开通会员可解锁*开始调试。

（三）投资情况

项目实际总投资25000万元，其中环保投资22.01万元。

（四）验收范围

本次验收为阶段性验收，验收范围主要为2寸量子芯片1000片、4寸量子芯片400片、8寸量子芯片400片的研发能力以及其配套设施。

二、工程变动情况

本次验收为阶段性验收，实际键合工序、解键合工序委外进行；本项目实际曝光工序以及倒装焊接工序无废气产生。

三、环境保护设施建设情况

（一）废水

本项目实际产生的湿式研磨废水、划片废水经过沉淀后用与纯水制备浓排水、以及生活污水通过化粪池进入西部组团污水处理厂进行处理，处理达标后经截污导流管线进入蒋口河北干新河，最终排入巢湖。

（二）废气

1、手工清洗在通风橱内进行，匀胶、软烤、显影过程在通风橱内进行，实际曝光过程无废气产生；去胶过程产生的废气经过机器内部密闭空间上方管道进行收集，ALD沉积过程产生的非甲烷总烃经过内部空间密闭腔体进行收集，危废暂存间产生的废气经过密闭危废暂存间收集，收集后的废气汇合后一同进入楼顶水洗喷淋+干式过滤+两级活性炭吸附装置处理，处理后通过1根28m高排气筒排放（DA001，风机风量为8000m3/h）。

2、本项目临时键合工序未设置，实际为委外处理；干法刻蚀过程机干法刻蚀过程均在通风橱内进行，收集后的废气汇合后进入楼顶一套两级碱液喷淋装置进行处理，处理后通过1根28m高排气筒排放（DA002，风机风量为4200m3/h）。

（三）噪声

本项目的主要噪声源为风机、通风橱等设备，声级值约在70～90dB(A)，投入运行后室内的平均等效声级（LAeq）值约在80dB左右。通过建筑隔声、高噪声设备减振基座等，距离衰减等降噪措施后，项目的厂界噪声可以达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中2类标准要求。

（四）固废

本项目生活垃圾由市政环卫部门定期清运；一般工业固体废物主要包括纯水制备废活性炭、废离子交换树脂、废反渗透膜、废金属铌以及钽、废金属银、铟以及铂、研磨废渣、废金属铝、废钨钢针、废刀片、废激光发生器、划片废渣，收集后存放于一般工业固体废物存放区，定期委外处理；废化学试剂瓶、废包装材料、实验废液、纯水清洗废液、废UV灯管、废酸液、碱液喷淋塔废液以及水喷淋吸收废液。危险废物收集后存放于本项目负一楼危废暂存间（建筑面积为25m2），定期交予安徽浩悦生态科技有限责任公司处置。

（五）其他环境保护措施

本源量子计算科技（合肥）股份有限公司于*开通会员可解锁*取得排污许可证，排污许可证编号为91340100MA2P1E699C001W。

四、环境保护设施调试效果。

（一）污染物达标排放情况

根据安徽圣泰检测科技有限公司进行监测出具的检测报告，本项目污染物排放情况如下：

1. 废气

在*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*阶段性验收监测期间：DA001排气筒有组织非甲烷总烃最大出口浓度为5.87mg/m3，小于其标准限值50mg/m3，满足《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分：电子工业》（DB 34/ 4812.5—2024）中排放标准；异丙醇最大浓度为1.74mg/m3，小于其标准限值40mg/m3，满足《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分：电子工业》（DB 34/ 4812.5—2024）中排放标准；

DA002排气筒有组织氟化物最大排放浓度为2mg/m3；有组织氨最大排放浓度为0.31mg/m3；有组织磷酸雾未检出；有组织硝酸雾最大浓度为0.03mg/m3；均可以满足上海市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2023）中排放标准。有组织臭气浓度最大值为36（无量纲），有组织氨最大浓度为0.31mg/m3，均可以满足《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）中排放标准。有组织非甲烷总烃最大值为5.98mg/m3，满足《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分：电子工业》（DB 34/ 4812.5—2024）中排放标准。

综上本项目有组织废气均可以满足影响排放标准，达标排放。

在*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*阶段性验收监测期间，厂界无组织氨最大浓度为0.07mg/m3，臭气浓度未检出，均可以满足《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）中相关排放限值；厂界氟化物最大浓度为0.0022mg/m3，硝酸雾最大浓度为0.021mg/m3，磷酸雾最大浓度为0.021mg/m3，非甲烷总烃浓度为0.87mg/m3，均可以满足上海市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2023）及《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分：电子工业》（DB 34/ 4812.5—2024）中相关排放限值。

2.噪声

在*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*验收监测期间，厂界昼间噪声监测最大值为59dB（A），厂界昼间噪声监测符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）2类标准要求。

3.废水

本项目在*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*监测期间，厂区污水总排口监测浓度平均值可满足西部组团污水处理厂接管要求及《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准限值，属于达标排放。

五、工程建设对环境的影响

根据验收监测结果，项目排放的废气、废水、噪声均达到验收标准，工程建设对外环境的影响较小。

六、验收结论

本源量子计算科技（合肥）股份有限公司大规模量子芯片工艺与装备研发平台项目（阶段性）环境保护审查、审批手续完备，项目建设过程中总体按照环评及批复的要求落实了“三同时”污染防治措施，主要污染物达标排放，符合验收条件。验收工作组认为该项目工程满足竣工环境保护验收的要求，项目工程竣工环境保护验收合格。

七、进一步要求

1、加强对各类环保设施的维护、保养，确保各类污染物稳定达标排放。

2、加强项目区危废环保管理。

八、验收人员信息

见附件。

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附件1： 3、本源量子竣工环境保护验收监测报告表验收公示版.docx 31.3 MB , 下载次数 0

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