审批部门：广州市生态环境局联系电话：*开通会员可解锁*受理日期：*开通会员可解锁*项目名称：中微公司华南总部及半导体、泛半导体设备研发生产基地一期建设单位：中微半导体设备（广州）有限公司建设地点：广东广州增城区建设内容：占地面积 33333.33 平方米。本项目主要进行半导体设备的研发、生产。项目生产产品为 Gen8.5 代平板显示工艺设备（PECVD产品、刻蚀产品），设计生产能力为年产 12-15 台整机设备，本项目设备生产工艺较简单，主要进行零部件组装（零部件委外生产）、设备性能测试，测试合格后设备作为产品出厂。

环评单位：广州经济技术开发区怡地工程有限公司

附件1： 中微公司华南总部及半导体、泛半导体设备研发生产基地一期环境影响报告表.zip 86.6 MB , 下载次数 0

回复 点赞 收藏

评论 共0条评论

请先 登录 后发表评论

0/150

按热度排序

按时间排序