中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微股份公司”）成立于

2004 年 5 月，是一家研发、组装集成电路设备、泛半导体设备和其他微观加工设

备及环保设备的企业。公司厂址位于上海市浦东新区泰华路 188 号，属于金桥经

济技术开发区（南区）。

中微股份公司自 2004 年成立至今，经过一系列项目的建设，目前已形成年

产 Etch 设备 300 台、MOCVD 设备 50 台的生产规模，厂内同时进行 Etch 设备、

MOCVD 设备、Epi 设备、LPCVD 设备的研发。目前，除一个喷涂实验室建设中，

其他建设内容均已完成竣工环境保护验收。

随着业务发展需要，2020 年中微股份公司成立全资子公司中微半导体（上海）

有限公司（以下简称“中微公司”），在上海市浦东新区临港重装备产业区建立一

个临港半导体设备和材料产业基地，主要产品包括 Etch（刻蚀设备）、CVD（化

学气相沉积设备）、MOCVD（金属有机化合物化学气相沉积设备）、Epi（外延

设备）、全自动薄膜和关键尺寸光学测量设备、宏观缺陷检测设备、尾气处理设

备，研发范围包括 Etch、CVD、Epi、MOCVD、尾气处理设备等。

结合中微股份公司、中微公司的业务范围和市场发展需求，中微公司拟进行

二期改扩建，调整研发内容并对现有工程进行调整

附件1： 【报批前公示稿】中微金桥厂区技改项目10.14（全文）.pdf 18.0 MB , 下载次数 0

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