深圳大学临界点微纳结构干燥仪意向公开
发布时间：
2026-05-07
发布于
广东深圳
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深圳大学临界点微纳结构干燥仪意向公开
| 采购单位: | 深圳大学 |
| 项目名称: | 临界点微纳结构干燥仪 |
| 预算金额（元）: | 1,600,000.000 |
| 采购品目: | 其他分离及干燥设备 |
| 采购需求概况: | 现计划采购一台临界点干燥设备，主要用于处理复杂结构的MEMS、晶圆、微纳材料、生物材料等材料的临界点干燥，保持样品的内部微观结构不坍塌，不变形，不破坏。 功能要求：设备全自动运行，满足6英寸及其以下尺寸的晶圆干燥处理，每次运行能处理多片6英寸晶圆以及适配6英寸以下晶圆及散片；确保干燥过后不存在颗粒污染样品；确保样品室内能快速降温达到临界点进行干燥。 |
| 预计采购时间: | 2026-6 |
| 联系人: | 刘老师 |
| 联系电话: | *开通会员可解锁* |
| 备注: | 无 |
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