深圳国际量子研究院超高真空场发射电子显微镜系统意向公开
发布时间：
2026-03-25
发布于
广东深圳
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深圳国际量子研究院超高真空场发射电子显微镜系统意向公开
| 采购单位: | 深圳国际量子研究院 |
| 项目名称: | 超高真空场发射电子显微镜系统 |
| 预算金额（元）: | 3,000,000.000 |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 硅基原子量子计算课题组申请采购一套超高真空场发射电子显微镜系统，用于开发电子束氢掩模直写工艺，与高真空扫描隧道显微镜连用，提升氢掩膜直写的速度。要求设备满足以下参数：极限真空：小于 10-10 mbar； 电子发射方式：肖特基场发射； 加速电压：500 V-30 KV； 电子束电流范围：10 pA-100 nA； 最高烘烤温度：120 ℃； 电子束工作距离：12-45 mm； 探测器：带控制器的二次电子探测器； 镜筒组件：静电聚光透镜 、静电物镜 、静电束平直器、双八极偏转器与偏转器； 真空系统组件：气动阀用于源隔离 、差分抽气系统（1个离子吸气泵，55升/秒）配备12个光阑 附带电子控制器，包含高压电源、控制电路及扫描发生器 用户界面含PC及Pegasus软件、法拉第杯；配备静电beam blanker（束闸脉冲：30ns；束闸频率：1MHZ） |
| 预计采购时间: | 2026-5 |
| 联系人: | 田老师 |
| 联系电话: | *开通会员可解锁* |
| 备注: | 无 |
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