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*开通会员可解锁* 10:17来源: 【打印】
| 采购单位: | 深圳职业技术大学 |
| 项目名称: | 半导体级金属刻蚀设备 |
| 预算金额(元): | 2,950,000.000 |
| 采购品目: | 教学仪器 |
| 采购需求概况: | 本项目所购置的半导体级金属刻蚀设备对于集成电路学院的教学有着重要的意义。在教学方面,其关联《集成电路制造技术》、《半导体制造设备运维》、《工艺优化与良率提升》等3 门核心课程,能提供不少于300 课时实训,助力学生掌握半导体器件制备中的金属材料刻蚀技术,当前学院无此类设备,限制教学使用和课程规划,购置可填补空白。于科研而言,是助力学生掌握金属材料刻蚀工艺及刻蚀形貌控制的关键,学校现有设备无法满足相关需求,购置能推动科研发展,提升学校在该领域竞争力。 |
| 联系人: | 谭老师 |
| 联系电话: | *开通会员可解锁* |
| 预计采购时间: | 2026-03 |
| 备注: | 无 |