深圳国际量子研究院PECVD配套特气设备采购项目意向公开
发布时间:
2026-09-17
发布于
广东深圳
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深圳国际量子研究院PECVD配套特气设备采购项目意向公开

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深圳国际量子研究院PECVD配套特气设备采购项目意向公开
采购单位: 深圳国际量子研究院
项目名称: PECVD配套特气设备采购项目
预算金额(元): 950,000.000
采购品目: 其他机械设备
采购需求概况: 拟为PECVD设备采购配套的二次配系统,主要包括特种气体供应设备(气柜/阀盘)、SS316L EP管道及接头、双套管及负压监控单元、特气泄漏侦测与报警系统,以及大宗气、CDA、冷却水、排风等厂务接口所需管材、阀门、仪表及安装辅材。供应商负责系统设计、设备供应、现场安装、保压氦检等五项测试、调试及竣工资料,满足SEMI S2及实验室安全规范。
预计采购时间: 2026-11
联系人: 田老师
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备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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