深圳大学多功能集成薄膜沉积设备意向公开
发布时间：
2026-05-06
发布于
广东深圳
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深圳大学多功能集成薄膜沉积设备意向公开
| 采购单位: | 深圳大学 |
| 项目名称: | 多功能集成薄膜沉积设备 |
| 预算金额（元）: | 1,980,000.000 |
| 采购品目: | 压片加工设备 |
| 采购需求概况: | 多功能集成薄膜沉积设备一台。该设备采用复合沉积方式，支持金属、介质/氧化物等多种薄膜材料制备。工艺腔具备高极限真空度，样品台可旋转并带水冷功能；配备高精度膜厚监控系统，可实现精准厚度与镀率控制，满足多层光学膜精密堆栈要求。设备设有独立进样腔及等离子体清洗功能。供应商需提供长期工艺指导及快速响应的维保服务。 |
| 预计采购时间: | 2026-6 |
| 联系人: | 陈老师 |
| 联系电话: | *开通会员可解锁* |
| 备注: | 无 |
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