高压氮化物激光脉冲沉积系统
中标/成交
发布时间：
2026-04-29
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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022高压氮化物激光脉冲沉积系统
发布时间：*开通会员可解锁* 14:04:22
截止时间：*开通会员可解锁* 14:13:44
基本信息：
申购主题：高压氮化物激光脉冲沉积系统
成交总额：*开通会员可解锁*.00 人民币
送货时间：合同签订后60天内送达
报价要求：
安装要求：免费上门安装（含材料费）
付款方式：货到验收合格后付款
收货地址：******
备注说明：进口设备请务必填写原产地，否则视为无效报价。
采购结果
| 序号 | 采购项 | 品牌/型号/厂家/产地 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 数量单位/单价 | 成交总价 | 成交供应商 |
| 1 | 高压氮化物激光脉冲沉积系统 | 品牌：珀菲特 型号：PLD-S35 厂家：珀菲特 产地：中国 |
1. 真空系统 • 316L材质不锈钢圆球形腔体，直径≥350 mm，表面电解抛光处理； • 配备分子泵（抽速≥280 l/s）和前级干泵（抽速≥11.4 m^3/h）； • 腔室与分子泵之间配备手动隔离的闸板阀； • 配备前级阀和粗抽阀； • 全量程真空计，测压范围：5 x 10^-9 mbar - 1 ATM； • 工艺真空计，测压范围；1 x 10^-4 mbar - 1 mbar； 2. 激光加热样品台 • 四维运动样品台，手动XYZ线性运动，其中X/Y方向行程±12.5mm，Z向⾏程50 mm；步进电机控制的样品台连续旋转运动；步进电机控制的样品台挡板开关； • 红外半导体激光器加热模块，波长940nm，激光功率300W，配有独立的水冷机； • 最大加热区域1英寸，最高加热温度：1100 ℃，温度稳定性：±1 ℃； • 配备直流加热程控电源和温度控制器； • 红外测温计测量样品加热温度，测温范围：250-1300℃； 3. 靶台 • 4个1寸靶位，可插拔式靶托，配备防止交叉污染的靶台保护罩； • 步进电机控制的靶位自转，转速0-30转可调； • 带编码器步进电机控制的靶位公转和靶位摇摆； 4. 气路 • 2个工艺管路，包括1个O2流量计（量程50sccm）和1个Ar流量计（量程50sccm）； • 每个流量计前面均配有气动截止阀； • 1个N2放气管路和气动截止阀，用于设备破真空； • 1个O2进气管路和气动截止阀，用于高氧压退火； 5. 准分子激光光路 • 铝型材准分子激光器支架、铝合金光路组件和亚克力激光辐射防护罩； • 1个45°248nm反射镜，2个22.5°248nm反射镜及配套镜架； • 1个长、宽方向连续可调的光阑； • 1套组合聚焦透镜及镜架； • 聚焦光斑尺寸≤1x3mm^2，能量密度≥4J/cm^2； 6. 电气控制 • 专用PLD控制软件； • 所有电气控制盒均集成到设备机架内； • 控制样品目标温度，升降温速度，样品台旋转，样品台挡板开关等； • 控制靶台的自转、公转、摆动等； • 控制准分子激光器的触发开关、脉冲频率、脉冲次数等 | 验收后质保1年 | 数量单位：1.0 单价：*开通会员可解锁*.00(人民币) |
*开通会员可解锁*.00(人民币) | 北京方隅科技有限公司 |
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