真空等离子清洗机

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申购主题：真空等离子清洗机

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备注说明：采购真空等离子清洗机用于柔性基底表面光刻胶残留及有机污染物的高效去除，解决纳米级残胶导致的器件电学性能劣化问题，同时提升电极亲水性和衬底粘附性，是保障高性能器件核心性能的关键工艺设备。需满足以下参数：1.设备主要应用于样品表面清洁、活化、键合、去胶、金属还原、简单刻蚀、表面有机物去除、镀膜前处理等，免维护，无需任何耗材。 2.触摸屏操作界面触摸屏+PLC控制，过程控制可采用自动与手动方式； 3.射频频率：13.56MHZ，电源功率300W (可调)； 4.气体路数：两种质量流量计，量程200SCCM； 5.外形尺寸：600×560×600 mm 6.内腔尺寸：250×320×250mm 7.载物规格：240×260（W×D）共4层； 8.腔体容积：20L 9.真空度:10-30pa 10.电源:220V 50/60hz； 11.可通入氩气、氧气、氮气、空气、氢+氮气(混合气体)等； 12.真空泵抽气速率:16m3/H 13.质保期：一年

采购结果