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12寸PECVD增加配件采购
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发布时间:
2026-08-11
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12寸PECVD增加配件采购

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截止时间:*开通会员可解锁* 09:00:00

基本信息:

申购主题:12寸PECVD增加配件采购

送货时间:合同签订后7天内送达

报价要求:

安装要求:免费上门安装(含材料费)

付款方式:货到验收合格后付款

收货地址:江苏省/无锡市/滨湖区/****

备注说明:

采购明细

序号 采购内容 数量/单位 预算单价 品牌 型号 规格参数 质保及售后服务 附件
1 化学品源瓶及处理装置 1.0 南大光电 NATA-IC180T 1:材料: 封头/桶身: 6mm厚 S31603不锈钢板 底裙: 10mm 316L 不锈钢 把手: ø12 316L 不锈钢管 阀门固定板: 6mm厚316L不锈钢板 2: 内部抛光处理: Ra≤0.1um;外部镜面抛光处理 3: 设计压力: 15bar; 测试压力20bar 4: 阀门: AP气动阀门。 5: 外观尺寸: 高度:614mm; 直径:238.5mm; 阀门高度: 进出口:71.6mm;1/4VCR;AP 气动阀 尺寸公差:± 1mm 7: 钢瓶具备优化吹扫功能以及配置独立的罐装阀。 8: 容器洁净度≥G4(UPSS/XL)等级 9:钢瓶处理洁净度标准:清洗金杂:总金杂≤1ppb;钢瓶漏率检测:外漏:≤1.0X10^-10Pa.m^3/s,内漏:≤1.0X10^-9Pa.m^3/s;钢瓶颗粒度:颗粒直径:0.5,0.3,0.2,0.15,0.1μm,最大数量分别≤2个/28.3L;钢瓶水含量:≤200ppb;钢瓶氧含量:≤200ppb 按行业标准提供服务
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