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晶圆电镀挂具

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发布时间：

2025-09-23

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晶圆电镀挂具

发布时间：*开通会员可解锁* 09:31:24

截止时间：*开通会员可解锁* 08:10:53

基本信息：

申购主题：晶圆电镀挂具

送货时间：合同签订后30天内送达

报价要求：

安装要求：免费上门安装（含材料费）

付款方式：货到验收合格后付款

收货地址：******

备注说明：

采购明细

序号	采购内容	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件
1	12寸晶圆电镀挂具	1.0		苏科斯	12寸单面晶圆电镀挂具（镀铜/镍/锡银/金）	1、有效电镀面积：295mm 2、采用螺丝固定搭配扭力扳手 3、耐腐蚀塑料+耐腐蚀合金+耐腐蚀橡胶 4、性能维度：（1）机械性能：外形尺寸：挂具的长，宽，高具体尺寸公差±1mm（卡尺，三次元（CMM））；晶圆中心与挂具中心的偏差＜0.5mm（三次元（CMM））；支撑和导电的触点总数≥100；材料在高温下抵抗变形的能力95℃（热机械分析（TMA））；挂具主体可重复使用的次数2000次循环（视工艺苛刻程度而定）（循环测试与性能检测）（2）电气性能：单个触点与晶圆间的导通电阻＜20mΩ；所有触点间电阻的一致性差异＜±3%（四线开尔文测试）（3）化学性能：在药液中浸泡后的尺寸/重量稳定性：变化率＜±1%（浸泡实验后测量）；金属接触点在特定药液中的腐蚀失重＜0.1mm/年（浸泡失重法，SEM/EDS分析）；临界点蚀温度（CPT）：发生点蚀腐蚀的最低温度：工艺温度50℃，标准腐蚀测试（ASTMG48等）；密封泄露率：对于有中空密封结构的挂具，其气密性＜1X10-4mbar.L/s（氦检）氦质谱捡漏仪。（4）功能性能：机械缺陷率＜0.01%（晶圆缺陷扫描仪（Inspector））平均修复时间(MTTR)：挂具维护或更换所需平均时间1小时。需要提供实验测试数据证明。	1.质保1年； 2.紧急故障：响应时间：1-2 小时内（电话 / 视频远程排查）；现场支持：若远程无法解决，48 小时内派工程师到客户现场 3.一般故障：响应时间：4 小时内远程指导；解决方案：72 小时内提供维修方案或替换部件。 4.维修服务：质保期内：免费维修（含配件更换，如导电触点、定位夹具），往返物流费由供应商承担；质保期外：提供付费维修，明确维修报价（含配件费、工时费）。 5.培训服务：交付后免费提供 1-2 次操作培训（含挂具装卸、日常维护、故障排查）
2	8寸晶圆电镀挂具	1.0		苏科斯	8寸单面晶圆电镀挂具（镀铜/镍/锡银/金）	1、有效电镀面积：195mm 2、采用螺丝固定搭配扭力扳手 3、耐腐蚀塑料+耐腐蚀合金+耐腐蚀橡胶 4、性能维度：（1）机械性能：外形尺寸：挂具的长，宽，高具体尺寸公差±1mm（卡尺，三次元（CMM））；晶圆中心与挂具中心的偏差＜0.5mm（三次元（CMM））；支撑和导电的触点总数≥100；材料在高温下抵抗变形的能力95℃（热机械分析（TMA））；挂具主体可重复使用的次数2000次循环（视工艺苛刻程度而定）（循环测试与性能检测）（2）电气性能：单个触点与晶圆间的导通电阻＜20mΩ；所有触点间电阻的一致性差异＜±3%（四线开尔文测试）（3）化学性能：在药液中浸泡后的尺寸/重量稳定性：变化率＜±1%（浸泡实验后测量）；金属接触点在特定药液中的腐蚀失重＜0.1mm/年（浸泡失重法，SEM/EDS分析）；临界点蚀温度（CPT）：发生点蚀腐蚀的最低温度：工艺温度50℃，标准腐蚀测试（ASTMG48等）；密封泄露率：对于有中空密封结构的挂具，其气密性＜1X10-4mbar.L/s（氦检）氦质谱捡漏仪。（4）功能性能：机械缺陷率＜0.01%（晶圆缺陷扫描仪（Inspector））平均修复时间(MTTR)：挂具维护或更换所需平均时间1小时。需要提供实验数据证明。	1.质保1年； 2.紧急故障：响应时间：1-2 小时内（电话 / 视频远程排查）；现场支持：若远程无法解决，48 小时内派工程师到客户现场 3.一般故障：响应时间：4 小时内远程指导；解决方案：72 小时内提供维修方案或替换部件。 4.维修服务：质保期内：免费维修（含配件更换，如导电触点、定位夹具），往返物流费由供应商承担；质保期外：提供付费维修，明确维修报价（含配件费、工时费）。 5.培训服务：交付后免费提供 1-2 次操作培训（含挂具装卸、日常维护、故障排查）