匀胶机

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基本信息：

申购主题：匀胶机

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安装要求：免费上门安装（含材料费）

付款方式：货到验收合格后付款

收货地址：教5-1****

备注说明：总计两台匀胶机，单价6.8万左右，总预算13.5万； 设备使用地点：教5-109； 时间：合同后7天； 匀胶机采购需求如下： 1、系统概述 1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全； 1.2 防腐装置； 1.3设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护； 1.4 通信接口，蓝牙连接 2、处理腔体 2.1 处理腔体内径不小于220毫米； 2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托； 2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质； 3、旋转马达 3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm， 3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec； 3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%； 4、控制系统 4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ，精度不超过0.1s； 4.2配有高精度PLC可编程的控制器，可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态； 5、配套泵浦 5.1 配套真空泵系统：无油型 220V，50Hz, 功率120W； 5.2 无油真空泵，真空度-660mmHg，流量50l/min； 6、系统附件 6.1 原装进口水平测试仪； 6.2 两袋密封圈； 6.3 配有两套可更换的废液接收单元；

采购明细