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申购主题:镀膜仪真空系统
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备注说明:
| 序号 | 采购内容 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
| 1 | 镀膜仪真空系统 | 1.0 | 苏州光拓 | GT-400 | 镀膜仪高真空系统由基片架装置,真空系统等组成。 一、基片架结构 1. *可以固定1片135mm x 135 mm的基片,向下兼容,采用嵌入式结构。 2. 电机驱动实现连续旋转,最大转速可达30转/分钟,通过磁流体与基片托盘连接。 3. 配有二个挡板,气缸驱动,二个挡板组合使用,可遮挡范围135mm x 135 mm。 4. 腔体门板上安装有长条形观察窗,并附带挡板,通过磁流体打开与关闭。 二、真空室 1. 真空室由不锈钢制成,内部尺寸至少为400mm*400mm*560mm,装有基础结构和挡板的固定装置,以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置。 2. *真空腔体配备两个可以完全打开的门,前门为移门,通过与直线导轨,滑块等装置连接,可使前门左右开启与关闭,后期也可以连接手套箱,在手套箱内部操作前门开关,确保整个工作环境处于氮气或惰性气体氛围中;后门旋转门,通过旋转轴实现后门的开关,开启后腔体内部完全暴露在空气中,主要的目的为维护检修,并配一个长方形观察窗,配合腔体外部照明灯,方便观察腔体内部状况。 3. 腔体极限真空优于3.5*10-5pa,从常压到5*10-4pa不超过15min(充氮气保护) 4. 带有旁抽系统,可以在不关闭分子泵的条件下,打开腔室,进行样品及材料的更换。 5. 腔体内表面预留安装金属防污挡板接口,并配备金属防污挡板。 三、真空系统 1. 前级泵的抽速不低于24m ³/h。 2. 主泵采用抽速≥700l/s的分子泵。 3. *自动抽气控制,带安全互锁功能。 4. 真空室配真空计,测量范围为大气至10-5pa。 | 按行业标准提供服务 |