高性能气浮隔振光学平台
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发布时间:
2026-06-25
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申购主题:高性能气浮隔振光学平台

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申购单位:电子与信息工程学院(微电子学院)

商品名称 品牌 型号 数量 报价类型 售后服务 规格
高性能气浮隔振光学平台 晶萃光学/JCOPTiX TTAS-2015 5.0 需完成指定位置安装,并通过用户验收,不得有其他各种附加费用 台面尺寸:2000mm × 1500mm × 200mm,整体高度:800mm,隔振方式:气浮隔振,固有频率:≤1.5Hz,台面平面度:≤0.1mm/m²,台面粗糙度:0.8μm,隔振结构:三线摆杆、混合腔结构,振幅:<0.002,调节方式:自动定心,工作复位精度:±0.1mm,阻尼方式:微米级层流阻尼,气源:标配静音空气压缩机(噪音:52dB),顶部高度调节:±10mm,支撑腿数:4,自重432kg,载荷700kg
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