*开通会员可解锁*，宁波润华全芯微电子设备有限公司（简称”全芯微“）于客户现场成功交付首台自主研发的12英寸前道ArF匀胶显影设备（Track），该设备正式投入客户生产线，这标志着公司在突破高端IC制程设备壁垒方面取得了重大进展。

匀胶显影设备是集成电路制造前道关键工艺设备之一，其技术与性能直接关系到光刻工艺的精细度和良率。长期以来，匀胶显影设备市场被东京电子等国际巨头所垄断，设备国产化率极低，其国产化突破是我国集成电路产业链自主可控的关键环节之一。

全芯微本次交付的12英寸ArF匀胶显影机系统突破了匀胶显影设备的多项关键技术，其集成了匀胶、显影、对中等模块化单元，通过机械手实现晶圆在各工艺模块间的自动化传输，有效保障了生产流程的效率和稳定性。设备配置的高精密陶瓷热盘单元和边缘曝光（WEE）单元，具备良好的温度控制均匀性和工艺一致性。该机型的成功开发，实现了公司在逻辑电路、存储芯片、CMOS射频电路、功率器件、驱动芯片和OLED等制造领域的应用突破。

姚商基金长期关注半导体产业投资，自2020年起，旗下多支基金持续投资全芯微。