年产1万吨电子特气项目（一期）环评公示

精细化工和新材料

（本网讯）近日，建滔（衡阳）实业有限公司年产1万吨含氯电子级特气项目（一期）环评在相关网站审批公示。

该项目位于湖南省衡阳市松木经开区，总投资约5000万元。项目在建滔厂内原电石渣浆压滤厂房和电石渣仓库上改建，项目一期建设1条产能为年产1000吨电子级液氯生产线，1条产能为1000吨电子级氯化氢和2000吨化学级氯化氢生产线，同时建设配套工程、环保工程等设施。二期工程建设规模为年产1000吨电子级氯化氢、4000吨化学级氯化氢及1000吨电子级液氯产能，二期工程尚未设计。

延伸阅读：

电子级氯化氢与电子级液氯是半导体及微电子制造领域中至关重要的高纯特种气体材料。电子级氯化氢通常以高压缩性气态形式应用，其纯度要求极为严苛，金属杂质含量需控制在十亿分之一（ppb）甚至万亿分之一（ppt）级别，主要用于芯片制造过程中的外延生长、刻蚀及表面清洗工序，尤其对硅基材料的精密加工起到决定性作用。电子级液氯是通过深度提纯并液化储存的高活性气体，在高温氧化、氮化硅刻蚀及部分金属布线工艺中展现出独特的选择性反应能力。由于具有剧毒、强腐蚀性及反应剧烈等特性，其生产、运输和使用环节必须遵循严格的安全规范与实时监控体系。随着集成电路线宽持续向原子尺度缩减，电子级氯化氢和液氯的纯度与稳定性直接决定了最终器件的良率与可靠性，是支撑高端信息技术产业发展的关键电子化学品之一。

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