11月5日，宜昌市生态环境局就湖北和远新材料有限公司扩建4500吨年电子级三氟化氮项目（一期）环境影响评价进行第一次公示。项目相关情况如下：

项目名称：扩建4500吨年电子级三氟化氮项目（一期）

建设单位：湖北和远新材料有限公司

建设地点：湖北省宜昌市姚家港化工园B区

项目投资：总投资 68371万元

项目性质：扩建

建设内容：项目于现有地块内扩建，本项目主要建设内容为3000吨/年三氟化氮生产线等主体工程，配套建设存储、充装系统及部分公辅工程、环保工程，其他公用工程、辅助工程、环保工程依托现有工程已建设施。项目建成后电子级三氟化氮总产能为4500吨/年。

三氟化氮：半导体制造不可替代的 “隐形关键材料”

三氟化氮（NF₃），在纯净状态下通常被认为是无色无味气体。在低温时呈现为不透明固体，温度上升到-216.54℃时变为透明，熔点为-206.79℃，沸点为-129.01℃，相对密度1.537（-129℃）。在高温下表现出良好的稳定性，可耐受高达627℃的温度。

通常用熔盐电解法制得，也可直接氟化氨化钠或氨气而获得。采用辉光放电法使氮气和氨气直接作用也能制备三氟化氮。

常被用作半导体制造工艺中的蚀刻气体， 也用作高能燃料和火箭推进剂中的氧化剂，还用作氟化剂和作为制备其它氮的氟化物的原料。

另外，高纯三氟化氮主要应用于大规模集成电路和显示面板等制造领域的清洗工艺，由于其良好的蚀刻速率，并具有选择性的特点，在化学气相沉积（CVD）腔体清洗工艺中得到广泛应用。

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文章来源：氟务在线整理

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