（本网讯）9月5日，《滁州昶旭电子材料有限公司高纯电子气体新建项目环境影响报告书》批前公示。

据了解，项目位于全椒县化工集中区现有厂区内，投资10000万元，其中环保投资155.1万元，在现有厂房内增加设备提升产能后新增磷烷+氢/氮/氩/氦混合气26.7吨/年，乙硼烷+氢/氮/氩/氦混合气15.8吨/年，磷烷+氢管束式集装箱混合气97.2吨/年，超纯氩气40吨/年，三甲基硼+氢混合气0.11吨/年，二氧化碳+氩气混合气100吨/年，氧气+氩气混合气30吨/年，在现有厂区内建设充装站。

延伸阅读：高纯电子气体是半导体、集成电路、显示面板与光伏等电子工业领域中不可或缺的关键基础材料。该类气体的纯度通常需达到5N（99.999%）以上，部分特殊气体甚至要求6N或7N级别。在半导体制造过程中，高纯电子气体被广泛应用于刻蚀、离子注入、化学气相沉积（CVD）、外延生长、光刻胶剥离及氛围控制等多个核心工艺环节，直接影响器件的性能、良率与可靠性。高纯气体的制备、纯化、检测、储存与输送技术，已成为衡量一个国家电子产业发展水平的重要标志。随着半导体产业持续向更小制程、更高集成度及第三代半导体材料方向演进，对电子气体在纯度、稳定性和特殊功能方面的要求正在不断提升。未来，高纯电子气体的发展将更加依赖于材料纯化技术、分析检测能力与应用工艺三者之间的协同创新。其在半导体制造乃至更广泛的先进制造领域中的作用将持续增强。

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