200吨/年六氟丁二烯扩建项目受理公示

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3月11日，淄博市生态环境局受理了山东齐芯气体有限公司六氟丁二烯扩建项目环境影响报告书并予以公示，项目相关情况如下： 项目名称：山东齐芯气体有限公司六氟丁二烯扩建项目； 建设单位：山东齐芯气体有限公司； 项目投资：1000万元； 建设地点：高青化工产业园； 项目性质：扩建； 建设内容：扩建后六氟丁二烯产能由30t/a扩增至200t/a；1,2-二氯六氟环丁烷产能由50t/a扩增至330t/a。 建设周期：3个月，预计*开通会员可解锁*投产 六氟丁二烯是一种全氟化双键化学品，分子式为C4F6，其作为新一代蚀刻气体，在刻蚀速率、刻蚀均匀性、刻蚀选择比等方面，具有显著的优势。其碳氟比更高，因而具有更高的选择性与精确性；具有更高的光阻和氮化硅选择比以及更高的蚀刻性能。此外，六氟丁二烯全球变暖潜能值(GWP)几乎为零，与其他蚀刻气体相比环保优势极其明显，是目前所有蚀刻气体中，唯一能够满足蚀刻要求且环境友好的蚀刻气体。 1,2-二氯六氟环丁烷(C4Cl2F6)是一种高氟化环丁烷衍生物，具有高热稳定性，低水溶性与高脂溶性，稳定的空间构型等优势，可以作为特种化工原料、医药中间体使用、制冷剂使用。 信息来源 ：淄博市生态环境局、氟化工 扫码加入中国半导体材料行业通讯录 与行业精英共同探讨未来趋势！ 关于我们 ACMI半导体材料公众号，由ACMI半导体高分子材料研究所团队精心运营，汇聚行业智慧，为您提供市场研究、咨询规划、标准申报、会议培训、媒体传播等专业服务。”

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