电子束直写系统（第二次）评标结果公示公告
中标/成交
发布时间：
2026-06-16
发布于
浙江杭州
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项目名称：电子束直写系统（第二次）
招标项目编号：2947-264hs2026g03
招标范围：电子束直写系统 1套（含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）
招标机构：浙江豪圣建设项目管理有限公司
招标人：乾元国家实验室
开标时间：*开通会员可解锁* 09:30
公示开始时间：*开通会员可解锁* 13:05
评标公示截止时间：*开通会员可解锁* 23:59
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