设备名称

货物名称

技术性能参数

表面改性模块

微波加热分系统

1. ★该部分由微波发生器、波导与调谐系统、红外测温仪、以及安装调试的辅材（如法兰、密封件、吸波/隔热材料等）构成，该部分及控制系统可集成至真空舱（与其他模块联合完成布局及控制系统设计，确保不与其他模块冲突）且满足在该环境下正常工作；

2. 微波频率：2.45GHz；

3. ★加热温度：≥1000℃；

4. ●微波额定功率：≥1kW；

5. ●微波加热区域：坩埚尺寸≥φ30mm×3mm（单次处理量≥20g模拟月尘样品）；

6. ●红外测温仪测温覆盖范围：-40°C~1600°C。

低温冷却分系统

1. ●通过外置冷源的方式实现微波加热后样品的快速冷却，达到样品区域温度最低≤100K（配备相应的温度传感器实现低温监测），且不影响样品物性；

2. ★该部分及控制系统可集成至真空舱（与其他模块联合完成布局及控制系统设计，确保不与其他模块冲突）且满足在该环境下正常工作；

3. 由于低温冷却分系统与加热区域距离较近，解决热冲击与热负载匹配问题，保证样品组分和处理量不受干扰的情况下实现快速冷却（如果需要，应根据功能要求设计相应的机电控制模块）。