苏美达国际技术贸易有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于
*开通会员可解锁*在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。 1、招标条件 项目概况:名称:金属刻蚀机 数量:1台 原理及用途:金属刻蚀机是在真空环境下,利用高频电场将反应气体(如Cl2、BCl3等)电离成等离子体,源功率用来提高反应腔体内的等离子体密度,偏置功率提供垂直的物理轰击,能够很好实现对腔室内等离子体密度的均匀控制,通过其中的物理离子轰击与活性自由基化学反应的双重作用,将金属原子转化成挥发性化合物由泵抽走,从而实现用于晶圆上Ti、TiN、Al、AlSiCu等金属的图形化刻蚀工艺。 资金到位或资金来源落实情况:已到位 项目已具备招标条件的说明:已具备 2、招标内容 招标项目编号:0664-2640SUMECA27/10 招标项目名称:金属刻蚀机 项目实施地点:中国安徽省 招标产品列表(主要设备):
| 序号 |
产品名称 |
数量 |
简要技术规格 |
备注 |
| 1 |
金属刻蚀机 |
1 |
该设备主要由寻边功能模块、上下晶圆模块、机械传输模块、EPD终点检测模块、工艺制程模块、晶圆温度控制器及控制管路等部分组成。其他参数详见第八章 |
无 |
3、投标人资格要求 投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业,提供企业法人营业执照或事业单位法人证书,如为境外企业提供企业注册登记证。 ②投标人可以是设备制造厂家,也可以是设备授权代理商,代理商需有设备原厂家的有效授权书。 ③投标人开户行开具的,出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。 ④投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力(提供相关证明材料或承诺书,承诺书格式自拟)。 ⑤单位负责人授权书原件。 是否接受联合体投标:不接受 未领购招标文件是否可以参加投标:不可以 4、招标文件的获取 招标文件领购开始时间:
*开通会员可解锁* 招标文件领购结束时间:
*开通会员可解锁* 是否在线售卖标书:否 获取招标文件方式:现场领购 招标文件领购地点:苏美达大厦9楼西侧(南京市长江路198号) 招标文件售价:¥2000/$275 其他说明:每天9:00—11:30,14:00—17:30(北京时间,节假日除外)不购买招标文件的不得参加投标。联系人邮箱:zhoucui@sumec.com.cn。 5、投标文件的递交 投标截止时间(开标时间):
*开通会员可解锁* 09:30 投标文件送达地点:安徽省蚌埠市龙子湖区凤安东路2025号办公楼4楼大会议室 开标地点:安徽省蚌埠市龙子湖区凤安东路2025号办公楼4楼大会议室 6、联系方式 招标人:安徽华鑫微纳集成电路有限公司 地址:安徽省蚌埠市龙子湖区凤安东路2025号 联系人:何经理 联系方式:
*开通会员可解锁* 招标代理机构:苏美达国际技术贸易有限公司 地址:南京长江路198号9楼 联系人:江岳峰/朱志云/周 翠 联系方式:
*开通会员可解锁*、
*开通会员可解锁* 7、汇款方式: 招标代理机构开户银行(人民币): 招标代理机构开户银行(美元): 账号(人民币): 账号(美元):