8吋多晶硅刻蚀设备采购项目评标结果公示公告(1)
*开通会员可解锁* 机电产品招标投标电子交易平台 项目名称:8吋多晶硅刻蚀设备采购项目 招标项目编号:0722-264YDZB14ZB2/02 招标范围:02包:采购全新8吋多晶刻蚀设备1套,用于8吋线干法刻蚀工序,为实现半导体集成电路8吋硅片制造流程中的多晶硅刻蚀工艺。(设备通过电感耦合方式产生高密度等离子体,以达到去除特定区域硅衬,主要用于多晶硅硅栅(poly gate)、多晶硅回刻(poly etch back)、浅沟槽隔离(STI)和硅的金属钨化物(WSix)刻蚀工艺)。 招标机构:中国远东国际招标有限公司 招标人:陕西电子芯业时代科技有限公司 开标时间:
*开通会员可解锁* 09:30 公示开始时间:
*开通会员可解锁* 18:42 评标公示截止时间:
*开通会员可解锁* 23:59 中标候选人名单:
| 候选人排名 |
投标商名称 |
制造商 |
制造商国别及地区 |
| 1 |
北京北方华创微电子装备有限公司 |
北京北方华创微电子装备有限公司 |
中国 |