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一、项目名称:X射线光电子能谱仪
二、招标编号:S2025118
三、招标人:苏州大学采购与招投标管理中心
地址:江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室
邮编:215021 传真:*开通会员可解锁*
联系人:丁老师 电话:*开通会员可解锁*,67504359
电子邮箱:dingy@suda.edu.cn
技术联系人:吴老师 电话:*开通会员可解锁*
电子邮箱: wuhh@suda.edu.cn
四、招标货物品名、数量及主要性能参数要求
X射线光电子能谱仪 1套
(一)主要技术参数要求
主要用于粉末、薄膜、高分子等材料的表面几个原子层(1~10 纳米厚的表面) 的化学组成、价态,深度剖析及成像、功函数特性的分析与表征。将应用于分析无机化合物、合金、有机高分子化合物、能源电池材料、催化材料等。
1. 真空系统
1.1 分析室:μ金属制造,涡轮分子泵抽速不小于300升/秒,烘烤后真空度不低于7×10-8 Pa;
1.2 进样室:不锈钢制造,涡轮分子泵抽速不小于200升/秒,烘烤后真空度优于7×10-7 Pa;
1.3 烘烤系统:集成于系统,含有控制单元,软件控制,最高烘烤温度不低于120℃。
2. 进样室样品控制、观察和调整
2.1 进样方式:自动进样,具备水平放置的、可一次装入并存储3个样品条的多样品停放台,具备软件控制的全自动进样和样品交换功能;(提供水平放置3个样品台进样的操作界面截图等证明文件)
2.2 定位相机:进样室放置CCD相机,可在抽真空时对分析样品定位,真空度达到后转入分析室实施无人值守的全自动分析(包括全谱、高分辨谱和自动确定样品最佳分析高度);
3. 分析室样品控制、观察和调整
3.1 轴向:5轴样品台,即X、Y、Z移动,绕轴和绕样品面法线转动;
3.2 移动:X方向≥70mm,Y方向≥20mm,Z方向≥18mm;
3.3 绕轴转动:±90°;
3.4 绕样品法线转动:±180°
3.5 样品条面积不低于70mm×30mm;
3.6 控制:软件操控样品台,记忆和恢复分析位置以实现无人值守的自动分析;
4. Al Kα单色化X射线源
4.1 类型:水冷Al单色化阳极,至少可换8个Al阳极靶点,软件控制换点并调整校准;
4.2 功率:最大功率不小于400 W,最大加速电压不低于15 kV,在任意束斑下均可实现发射电流0mA~30mA可调以获得不同的功率。最大功率和最大束斑下,单位面积上的X射线功率不大于0.4mW/μm2,防止对有机高分子材料样品造成损伤;
4.3 单色器:水冷大背板石英晶体单色器,确保分光晶体的晶格常数不随环境温度发生变化;罗兰圆不小于500 mm,以获得本征宽度不大于0.25 eV的单色Al Kα的X射线;
4.4 Ag样品大束斑分析能量分辨率和灵敏度(Ag 3d5/2峰):半高宽≤0.45 eV时灵敏度≥160kcps;半高宽≤0.5 eV时灵敏度≥600kcps;半高宽≤0.6 eV时灵敏度≥2200kcps;
4.5 Ag样品最小束斑能量分辨和灵敏度(Ag 3d5/2峰):半高宽≤0.5 eV时灵敏度≥1.5kcps、半高宽≤0.6 eV时灵敏度≥6kcps,注明束斑大小;
4.6 平行成像XPS空间分辨率(锐利刀口样品信号强度80%~20%线宽度):≤ 2μm;
5. 高能单色化X射线源
5.1 类型:水冷高能(X射线光子能量>2800 eV)单色化X射线源,软件控制换点并调整校准;
5.2 功率:最大功率不小于400 W,最大加速电压不低于15 kV,在任意束斑下均可实现发射电流0mA~30 mA可调以获得不同的功率。最大功率和最大束斑下,单位面积上的X射线功率不大于0.4mW/μm2,防止对有机高分子材料样品造成损伤;
5.3 大束斑能量分辨和灵敏度:半高宽≤0.9 eV时灵敏度≥5kcps;
5.4 提供单色化高能X射线源(X射线光子能量>2800 eV)实用案例(已公开发表的文献)
6. 电子能谱能量分析器
6.1 类型:外罩为纯μ金属制造,180°半球扇形分析器;
6.2 平均半径:不小于160 mm;
6.3 平行成像电子能量分析器
6.4 类型:180°半球球镜分析器,独立于电子能谱能量分析器的第二能量分析器;
6.5 平均半径:不小于160 mm;
6.6 通过能(FAT/CAE模式):可满足XPS平行成像的不同能量分辨率和灵敏度的需要,确保能够区分同一元素的不同化学状态,不可使用FRR/CRR模式,防止傅立叶变换带来的能量分辨的变化和化学状态信息的丢失;
6.7 即可以分析电子,又可以分析离子;具有ISS分析功能。
7. 检测器
7.1 类型:可实现采谱及成像的单一的二维阵列检测器,具备双层不少于100个物理通道,包含置于真空中的双层不少于100个阳极、前置放大器及计数器,确保可同时记录光电子发射位置及其强度,可满足XPS采谱和成像XPS、微区XPS、深度剖析XPS、动态XPS工作需要;
7.2 工作模式:XPS模式下可实现“扫描”以及“拍照”等工作模式,以满足动态表面X射线光电子能谱分析的需求;
8. 荷电中和器
8.1 类型:与静电传输透镜同轴的超低能单电子源,避免离轴的电子源和离子源对粉末样品表面荷电中和时产生荷电阴影,并防止使用离子源时对样品表面产生损伤(化学状态还原、离子迁移等);
8.2 PET样品大束斑分析能量分辨率(O-C=O的C 1s峰)和灵敏度(C-C/C-H的C 1s峰):半高宽≤0.68 eV时灵敏度≥20kcps,半高宽≤0.82 eV时灵敏度≥70kcps;
9. 深度剖析离子枪
9.1 离子源类型:聚焦可扫描离子源,单个Ar原子和团簇Ar双模式;
9.2 可使用气体:Ar/Ar团簇(XPS深度剖析)/He(离子散射谱,ISS)
9.3 单Ar离子能量:0.5~5 keV;
9.4 团簇Ar离子能量≥15 kV;
9.5 团簇Ar离子团簇≥2500Ar
9.6 气体控制:软件控制,配套高精度进气阀门和差分真空抽气系统。
10. 紫外光电子能谱(UPS)
10.1 光源:He紫外光源;
10.2 能量分辨和灵敏度:Ag费米边20%~80%≤100meV时Ag 4d计数率≥1Mcps;
11. 离子散射谱(ISS)
11.1 离子源:深度剖析离子枪,使用He气作为离子源;
11.2 能量分辨和灵敏度:使用1 keV的He+离子入射到清洁的Au表面上,Au峰的能量分辨优于12 eV时,其灵敏度优于12kcps/nA;
12. 角分辨XPS 功能
12.1 角分辨 XPS 用精控步进马达样品托,角度分辨优于 1°;
12.2 内置角分辨 XPS 数据处理功能,并能实现膜厚计算等功能
13. 原位多电极控温充放电五轴自动样品台系统
13.1 电压范围:0 V~50V;
13.2 电流范围:0.01 A~1A;
14. 原位光激发附件
14.1 在XPS 分析室引入光纤,以进行原位光照状况下分析测试。纤芯直径 ≥1000μm,波长范围不窄于 200nm~1100nm
14.2 使用真空度≤1×10-10Torr,可耐≥120℃烘烤
14.3 通过CF16 法兰与 XPS 分析室连接
15. 惰性气体样品保护传递装置
15.1 工作方式:可抽真空,可充保护性气体;
15.2 安置位置:进样室专用法兰口连接;
16. 智能化谱仪控制和数据处理
16.1 谱仪控制:全部由计算机自动控制,包括真空系统的阀门开关、泵组运行和真空度显示,样品传递与交换和样品台移动、倾斜和旋转,CCD相机的放大倍率调节,X射线源的开关和功率设定,荷电中和器的开关和中和参数设置,分析束斑大小的设置,磁透镜的开关,通过能的设置,离子枪的加速电压和离子束流设置,检测器系统的倍增器电压设置;
16.2 数据采集及分析:软件采用最新的版本,对于未知的样品,软件智能识别所含元素并智能设定高分辨谱的采谱区间,同时可以删掉不关注的元素,也可以增加特别关注的、全谱扫描可能检测(识别)不出来的元素。根据已知样品的数据处理(解谱)结果,可将解谱模型套用到一系列的同类(类似)样品的数据上,一次性地批量处理(解谱)所有样品。
16.3 数据处理:数据处理系统工作站,预装数据采集和处理软件包,数据处理方法:定性分析、定量分析、曲线拟合等需具备本底扣除方法;
17. 冷却水系统
17.1 功率:满足阳极靶、涡轮分子泵、磁透镜和石英单色器冷却需要;
18. 备品备件
18.1 随机备件:保证仪器正常运行的三年随机备件及工具套包;
19. 不间断电源:保证仪器持续运行五小时的不间断电源;
(二)其它配件
1. 反光电子能谱附件 1套
2. 2612B数字源表 1套
3.Al/Ag双阳极单色器套件 3套
4.光纤套件 1套
5.原位充放电附件 1套
6.除主机标配以外的消耗品及备件,包括常规样品条 1套、组合型样品1套、X射线源灯丝2套、荷电中和器灯丝2套、订制样品台2套、备用冷水机1套、备用机械泵 1套
7.不低于32"显示器 1套
(三)服务要求
1. 提供现场免费安装、调试,进行操作试验,直至运行正常并出具检验证明;
2. 培训
2.1现场培训:至少三天的现场培训,保证操作人员熟练基本操作;
2.2高级应用培训:至少三天的用户现场的高级应用培训;
3. 仪器设备的免费保修期不少于3年,在保修期内,供货商在接到用户维修要求时,应在48小时之内给予答复,并派出维修人员在一周内到达用户现场进行维修服务。
五、投标单位资质要求
(一)具有独立承担民事责任的能力;
(二)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;
(三)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;
(四)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;
(五)近三年内,在经营活动中没有重大违法记录;
(六)本项目不接受联合体投标。
六、评分标准
本次招标采用综合评分法,总分为100分,具体内容如下:
(一)针对中小企业、残疾人福利企业和监狱企业的评审(加分):
根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》(财库〔2020〕46号)、《江苏省财政厅关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》(苏财购〔2022〕45号)、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》(财库〔2017〕141号)和《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》(财库〔2014〕68号)的有关规定,对于符合上述文件规定情形的小微企业、残疾人福利性单位及监狱企业报价给予10%的扣除,用扣除后的价格参与评审,如扣除后的价格为最低价的,则作为评标基准价,中标金额则以实际投标报价为准。残疾人福利性单位属于小型、微型企业的,不重复享受政策。
小微企业提供《中小企业声明函》;监狱企业提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局(含新疆生产建设兵团)出具的属于监狱企业的证明文件;残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》。
注:
①填报“中小企业声明函”需严格按“工信部联企业〔2011〕300号通知中的《中小企业划型标准规定》进行。
②若供应商提供的声明函或认定证明为虚假材料,按“政府采购法”相关规定处理并报请政府监管部门给予行政处罚。
根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》(财库〔2020〕46号)及《中小企业划型标准规定》(工信部联企业〔2011〕300号),本采购标的对应的中小企业划分标准所属行业为:工业。
(二)技术参数、配置及整体综合性能分(50分)
1.技术参数及配置(35分)
投标人需提供反映该产品技术参数的技术支持资料(测试报告或产品说明书)等作为评标依据,否则视为偏离。
(1)所投标产品多项不满足招标文件要求(偏离),或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的,经评标委员会评审可作为无效投标。
(2)所投标产品不满足招标文件技术要求的(偏离)、配置不详、技术参数不清或缺漏项的,每处扣3分。
2.综合性能情况(15分)
(1)所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况(评委会认为超出指标有意义的)(6分)。其中优于项,每处加2分。
(2)所投产品的市场反馈情况(9分)。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率(同行业为主)、现有用户的反馈情况、使用投标产品发表的学术论文情况等综合评定。
(三)价格分(35分)
1.评标基准价:满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价,评标基准价为满分35分;
2.其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算:投标报价得分=(评标基准价/投标报价)×35分。
(四)综合商务(15分)
1.投标人综合实力(2分)
根据投标人综合实力评定。
2.售后服务与培训情况等(10分)
(1)质保期(3分)。符合招标文件要求的,得1分,每增加一年质保期加1分。
(2)服务、技术支持与培训承诺情况(6分)。
根据投标文件的相关承诺,在服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。
3.其它优惠措施等(3分)。根据投标人提供的在招标文件要求范围以外,评标委员会认可的优惠措施综合评定。
七、本次招标采用一次性报价。报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。
八、投标文件的组成
(一)投标文件一
1、投标函
2、投标报价表
3、详细配置及分项报价清单
(二)投标文件二(文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价,否则作废标处理)
1、投标基本情况一览表
2、详细配置清单、技术规格偏离表和投标产品彩页
3、技术方案、服务承诺、培训承诺
4、资格证明文件
特别说明:
1、“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封,并加盖投标单位公章
2、“投标文件一”,正本一份,副本一份
“投标文件二”,正本一份,副本五份
3、相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行
九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求,按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。
十、各投标人在投标前,须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告,完全了解并接受其所有条款及要求,并在*开通会员可解锁*12:00前将报名函(格式见附件4)发送邮件至采购人处(dingy@suda.edu.cn)。
十一、递交投标文件相关事宜:
(一)顺丰快递邮寄方式(建议优先采用)
1.寄达时间:*开通会员可解锁*10:00前;
2.收件人信息:
收件人:丁老师
联系方式:*开通会员可解锁*
收件地址:江苏省苏州市东环路50号苏大东校区(采购与招投标管理中心)
(二)现场递交方式
1.递交时间:*开通会员可解锁*9:30~10:00
2.递交地点:江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门
十二、投标截止时间:*开通会员可解锁*10:00。
十三、开标时间:*开通会员可解锁*10:00。
招标附件.zip